第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术  

No.23:Ion Implantation and Ion Assisted Deposition Technology

作　　者：张以忱[1] ZHANG Yichen

机构地区：[1]东北大学,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空》2025年第1期86-88,共3页Vacuum

摘　　要：(接2024年第6期88页)电荷双层对来自阴极的电子起到加速和聚焦的作用,强化了这一区域的电离,实现了对等离子体的第一次压缩。被“第一电荷双层”聚成一束的电子流,通过中间电极孔进入阳极区域。该区域在中间电极和磁感应线圈的作用下形成非均匀磁场,通过强磁场的压缩,阳极孔形成的等离子体密度比“等离子体泡”更强,即又形成了一个电荷双层。我们把它叫做第二电荷双层区。

关 键 词：离子辅助沉积 非均匀磁场 等离子体密度 离子注入 电极孔 强磁场 电子流 电荷 

分 类 号：O484[理学—固体物理] TB43[理学—物理]