离子辅助沉积

作品数：103被引量：348H指数：12
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第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术
《真空》2025年第1期86-88,共3页张以忱 
(接2024年第6期88页)电荷双层对来自阴极的电子起到加速和聚焦的作用,强化了这一区域的电离,实现了对等离子体的第一次压缩。被“第一电荷双层”聚成一束的电子流,通过中间电极孔进入阳极区域。该区域在中间电极和磁感应线圈的作用下形...
关键词：离子辅助沉积 非均匀磁场 等离子体密度 离子注入 电极孔 强磁场 电子流 电荷 
第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术
《真空》2024年第6期85-88,共4页张以忱 
(接2024年第5期112页)图3给出了气体离子注入设备的基本结构。它包括:离子源、聚焦系统、加速系统、分析磁铁、扫描装置和靶室等。离子源的基本作用是产生正离子,其电离室由不锈钢制成,电离室外套有一个电磁线圈。
关键词：离子辅助沉积 电磁线圈 电离室 聚焦系统 扫描装置 离子注入 分析磁铁 离子源 
第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术
《真空》2024年第5期110-112,共3页张以忱 
本讲主要内容:了解离子注入技术的基础理论、设备和工艺必备条件;了解各种离子源的结构及工作原理;了解半导体离子掺杂工艺与热扩散的差异;了解真空离子辅助沉积技术的原理和应用特点;了解离子辅助沉积技术与真空离子镀膜技术的各自特...
关键词：离子辅助沉积 离子注入技术 镀膜技术 热扩散 工艺过程 离子掺杂 真空离子镀膜 基础理论 
基于基因荧光检测的长波通滤光片研制被引量：1
《光电技术应用》2024年第3期36-41,共6页林亦心 董新康 杨宁 辛亚武 祝晗 彭永超 熊仕富 
光学滤光片是滤去杂质光干扰的重要光学器件,不同波段的滤光片在基因检测得到广泛应用。基于膜系设计理论与薄膜制备工艺,利用电子束蒸发离子辅助沉积技术,以Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)为镀膜材料,在JGS1基底玻璃上设计并制备了一种截止中心...
关键词：光学薄膜 长波通滤光片 膜堆周期 离子辅助沉积 
基于DBR结构的蓝光及白光GaN LED的制备及光学性能改善被引量：1
《半导体技术》2023年第1期18-24,共7页胡涛 朱友华 钟岱山 王美玉 李毅 
国家自然科学基金面上项目(61874168);江苏省产学研项目(BY2022236);企业横向项目(21ZH626,22ZH003)。
为改善GaN基发光二极管(LED)的光学性能,设计并制备了具有高反射率与宽反射带宽的SiO_(2)/Ti3O5分布式布拉格反射镜(DBR)结构的蓝光和白光GaN LED。制备了具有不同周期数的DBR结构,其中,17周期DBR结构在400~660 nm波长内平均反射率超过9...
关键词：GaN发光二极管(LED) 离子辅助沉积 分布式布拉格反射镜(DBR) 光输出功率 平均反射率 
射频离子辅助沉积对ITO薄膜光电性能的影响被引量：2
《长春理工大学学报（自然科学版）》2020年第5期83-88,共6页刘文成 刘冬梅 付秀华 张静 
吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX)。
为了制备光电性能高的氧化铟锡(ITO)薄膜,利用电子束和射频离子源辅助沉积技术,在玻璃基底上制备了ITO透明半导体薄膜,从ITO薄膜的半导体物理学理论出发,研究分析了未使用离子源辅助沉积ITO薄膜的光电性能,以及使用离子源辅助沉积之后,...
关键词：光学薄膜 ITO薄膜 电子束蒸发 离子源辅助沉积 
太阳光谱金属-介质干涉型强吸收膜的研究被引量：3
《中国激光》2017年第8期153-159,共7页付秀华 郭凯 张静 熊仕富 姜洪妍 孙兵 
吉林省重大科技攻关专项(20140203002GX)
随着军事隐形、太阳能转换以及激光热处理等技术研究的日益深入,对表面吸收膜的技术要求不断提高。为满足太阳光谱吸收的要求,研制了一种在400~2500nm波段具有强吸收作用、适应多种基底的光学薄膜。通过分析吸收理论,建立吸收结构模型,...
关键词：光谱学 吸收膜 太阳光谱 材料特性 离子辅助沉积 分步沉积 
反中波透长波红外分束膜的设计与制备研究
《光学与光电技术》2017年第3期61-64,73,共5页孙义可 何光宗 熊长新 
国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ290489)资助项目
设计了45°入射反中波透长波分束膜系,并进行了误差仿真分析。选用"Ge+ZnS"和"ZnS+YF3"两组高、低折射率材料,采用离子辅助电子束蒸发技术,经过大量的镀制实验与工艺改进,解决了薄膜应力累积、不牢固、波长易偏移等问题,获得了45°入射...
关键词：红外 分束膜 离子辅助沉积 环境试验 
离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响被引量：2
《激光与光电子学进展》2017年第10期457-462,共6页冯毅东 秦杨 于天燕 
对不同离子束密度条件下辅助沉积的ZnS薄膜进行了物理及光学特性研究。研究结果表明,在离子束辅助沉积ZnS薄膜时会出现非均匀生长现象,且非均匀性和折射率会随着离子束密度的增加而增大,薄膜结晶程度也增加。薄膜的非均匀性增加了薄膜...
关键词：薄膜 光学特性 离子束辅助沉积 硫化锌薄膜 非均匀性 折射率 
离子辅助沉积TiO_2/SiO_2多层膜雾度分析的研究
《科技风》2017年第5期247-248,共2页王昆 
氧化钛膜层具有较高的折射率和出色的紫外吸收特性,广泛应用于UV/IR Cut滤光片的制备中。但是在TiO_2/SiO_2多层膜的制备中常常遇到雾度偏高的困扰,本文采用离子辅助沉积技术制备TiO_2/SiO_2多层膜,研究分析了相关工艺参数对沉积膜层雾...
关键词：氧化钛 滤光片 离子辅助沉积 雾度 
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