离子束辅助沉积

作品数：252被引量：635H指数：10
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2.5 m口径反射镜宽光谱高反射率反射膜的研究
《天文学报》2025年第2期53-61,共9页田杰 李新南 王晋峰 王俊 宗卫杰 谢多 路金豪 黄亚 
国家自然科学基金项目(11627804)资助。
为提高天文望远镜的观测能力,望远镜主镜口径不断增大,同时对其膜层要求也更为严格,要求反射波段更宽且反射率更高.基于国内天文望远镜的需求,研究了一种基于离子束辅助沉积技术的大口径镜面宽光谱高反射膜镀制技术.通过分析3.2 m镀膜...
关键词：仪器:宽光谱高反射膜 望远镜 技术:光谱 技术:离子束辅助沉积 
离子能量对 IBAD-MgO 双轴织构的影响
《上海大学学报(自然科学版)》2025年第1期115-121,共7页瞿天睿 韩超 高波 白传易 李敏娟 彭思思 周迪帆 蔡传兵 
国家重点研发计划资助项目(2022YFE03150200);国家自然科学基金资助项目(52172271,52307026,52477022);上海市科技创新行动计划资助项目(23511101600)。
采用离子束辅助沉积(ion beam-assisted deposition,IBAD)技术在非织构的金属基带上沉积双轴织构的MgO薄膜,研究了不同Ar^(+)离子束流能量对MgO双轴织构和表面形貌的影响.结果表明:在700∼1000 eV离子能量范围内,MgO薄膜的双轴织构随离...
关键词：离子束辅助沉积 离子能量 双轴织构 
灯丝型辅助离子源的设计及其对薄膜参数的改善研究
《电镀与精饰》2024年第7期99-106,共8页任翼 张殷 周亚东 金尚忠 
国家科学自然基金项目-表面等离激元增强效应模型建立及验证研究(22204154)。
为了以较低成本的技术提高磁控溅射沉积薄膜的纯度、致密性和均匀性,设计出一种可以活化氧气的双腔室直流加热灯丝型辅助离子源。通过实验改变辅助离子源的工作参数,探究其对磁控溅射镀膜机所沉积薄膜的光学参数的影响。通过对比不同工...
关键词：离子源 结构设计 离子束辅助沉积(IBAD) 光学薄膜 
离子束辅助沉积Ta/Zr薄膜及栅网应用研究被引量：1
《真空电子技术》2022年第3期69-74,91,共7页杨鹏云 张宏志 李文旭 邱立 
利用离子束辅助沉积方法在Si片上沉积Ta/Zr薄膜,研究辅源离子能量对薄膜表面形貌和粗糙度的影响,通过扫描电镜和光学表面轮廓仪对其表面形貌和粗糙度进行表征。实验结果表明:辅源离子能量对薄膜的生长有很大的影响。Ta/Zr薄膜的沉积速...
关键词：离子束辅助沉积 栅控脉冲行波管 Ta/Zr薄膜 栅网膜层 
激光/长波红外双谱段减反射薄膜设计与制备被引量：4
《红外与激光工程》2022年第3期408-414,共7页李子杨 刘华松 孙鹏 杨霄 白金林 徐颖 杨仕琪 季一勤 苏建忠 
国家自然科学基金(61775167,61975150);天津市自然科学基金(19 JCZDJC38400);国家拔尖青年人才支持计划;天津市人才发展专项支持计划高层次创新团队。
在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1 064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展...
关键词：光学薄膜 双谱段减反射 膜系设计 热蒸发离子束辅助沉积 
离子能量筛选器仿真设计
《光学与光电技术》2022年第1期108-114,共7页张骏林 苏俊宏(导师) 郭亮 李建超 万文博 
陕西省重点研发计划(2018KWZ-02)资助项目。
离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型后的微观结构和性能。针对目前国内外离子源普遍存在输出能谱过宽的缺点,以电磁场理论为基础,并对各能级...
关键词：离子源 离子能量 筛选器 离子束辅助沉积 有限元仿真 
化学溶液法涂层导体金属基带表面优化研究进展
《仪器仪表用户》2021年第2期19-22,18,共5页孙梅娟 韩修林 唐义甲 
安徽省高校自然科学重点项目(KJ2019A0522);光电材料科学与技术安徽省重点实验室开放课题(OMST201907)。
第二代高温超导YBCO带材具有优异的无损电传输性能,是当前实用化超导材料研究的热点之一。YBCO超导带材的关键是实现双轴织构,在常用的3种双轴织构技术中,IBAD(离子束辅助沉积技术)由于织构度高、金属基带成本低、生产效率高而被广泛使...
关键词：涂层导体 溶液沉积平整化 非晶氧化物薄膜 离子束辅助沉积 
Cu薄膜上热氧化法制备CuAl2O4薄膜
《真空科学与技术学报》2019年第11期1017-1020,共4页刘伟 王利双 
中科院超精密加工技术重点实验室资助(项目编号:ZD18001)
采用离子束辅助沉积方法在95%(质量比)Al2O3基板上制备Cu薄膜,利用热氧化法使Cu薄膜氧化,并与Al2O3基板反应,制备出CuAl2O4薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和X射线光电子能谱仪分别对CuAl2O4薄膜的结构、成分和微观形貌...
关键词：Cu薄膜 CuAl2O4薄膜 离子束辅助沉积 热氧化法 
短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜被引量：5
《红外与激光工程》2019年第10期205-210,共6页付秀华 张功 张静 刘冬梅 杨伟声 木锐 
“十三五”装备预研基金
短中波红外探测系统能够同时响应短波红外及中波红外两个波段,可以满足复杂探测环境的使用要求,在军用及民用方面获得了广泛应用。为提高红外探测器的精度,缩短响应时间,需要研制满足系统要求的宽波段高透过率薄膜。结合Baumesiter减反...
关键词：光学薄膜 减反射膜 离子束辅助沉积 水吸收峰 红外探测 
PVD表面工程技术被引量：2
《热处理》2018年第4期59-60,共2页薄鑫涛 
PVD（Physical Vapor Deposition）物理气相沉积是一种真空条件下采用物理方法,将固体或液体材料表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体（或等离子体）过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能薄膜的技术。主要方法包...
关键词：表面工程技术 空心阴极离子镀 磁控溅射离子镀 离子束辅助沉积 PVD 物理气相沉积 等离子体 加热方式 
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