磁控溅射离子镀

作品数：31被引量：84H指数：5
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磁控溅射离子镀金装饰膜的研究被引量：2
《合成材料老化与应用》2020年第3期59-61,共3页孔晶 陈正件 袁菊懋 刘凌雯 余明远 廖雅 张嘉恒 
采用磁控溅射离子镀技术在316不锈钢表面制备TiN层和Au层,TiN层的厚度分别为0.620μm、0.997μm和1.389μm,反应沉积时间分别为60min、100min和140min,Au层的厚度均为0.13μm左右。测试了镀金层的镀层表面形貌、色泽、耐腐蚀性能和耐磨...
关键词：磁控溅射 装饰膜 表面形貌 色度值 耐腐蚀性能 耐摩擦性能 
不同比例钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响被引量：1
《陶瓷学报》2019年第2期175-180,共6页张而耕 张致富 周琼 黄彪 陈强 施舒扬 韩明 
上海市科委重点支撑计划(170905038000)
为研究钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响,采用磁控溅射制备不同比例钛掺杂类金刚石膜,并通过扫描电镜(SEM)、X-ray光电子谱仪、拉曼光谱仪(Roman)以及洛氏硬度压痕仪等设备对类金刚石薄膜的微观形貌、厚度、sp^2-C与sp^3-C比例、结合强...
关键词：类金刚石膜 磁控溅射离子镀 结合力 内应力 钛掺杂 
PVD表面工程技术被引量：2
《热处理》2018年第4期59-60,共2页薄鑫涛 
PVD（Physical Vapor Deposition）物理气相沉积是一种真空条件下采用物理方法,将固体或液体材料表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体（或等离子体）过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能薄膜的技术。主要方法包...
关键词：表面工程技术 空心阴极离子镀 磁控溅射离子镀 离子束辅助沉积 PVD 物理气相沉积 等离子体 加热方式 
不同Al含量的Ti/Al合金靶对磁控溅射离子镀TiAlN薄膜力学性能的影响被引量：1
《西华大学学报（自然科学版）》2017年第5期97-101,共5页程玺儒 赵广彬 
国家科技重大专项(2009ZX04012-023)
采用不同Al含量的Ti/Al合金靶材在硬质合金刀具上沉积TiAlN薄膜,研究靶材中不同的Al含量对TiAlN薄膜表面粗糙度、硬度以及膜基结合力等性能的影响,通过显微硬度仪、划痕仪、金相显微镜和XRD等仪器分别对薄膜的硬度、结合力、组织结构等...
关键词：Ti/Al合金靶JAIN薄膜 磁控溅射离子镀 力学性能 
磁控溅射阴极靶的伏安特性对Ti薄膜结构及性能影响被引量：1
《金属热处理》2017年第9期183-186,共4页王迪 蒋百灵 杨超 黄蓓 
国家自然科学基金(51271144)
通过在不同的磁控溅射阴极靶电源供给模式下制备纯Ti薄膜,并采用扫描电镜、X射线衍射、纳米压痕仪及微划痕试验等表征方法对比研究了阴极靶在不同电场模式下对Ti薄膜微观结构、相组成、显微硬度及膜基结合强度的影响。结果表明:相对于...
关键词：磁控溅射离子镀 热电子发射 离化率 双脉冲电场 
正反欧姆区间伏安特性对镀层均匀性及膜/基结合强度的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2016年第9期2458-2461,共4页冯林 蒋百灵 杨超 郝娟 张彤晖 
国家自然科学基金(51271144)
将靶材与真空腔之间的伏安特性引入正-反欧姆过渡区间,采用脉冲控制模式研究不同靶电流密度对镀层均匀性和膜/基结合强度的影响规律。实验发现,当靶面放电区电流密度(Id)由0.083 A/cm^2增加至0.175 A/cm^2时,靶电压随靶电流密度的增大...
关键词：磁控溅射离子镀 伏安特性 反欧姆区 离化率 
靶面放电特性对沉积粒子离化率及沉积行为的影响被引量：6
《金属学报》2015年第12期1523-1530,共8页杨超 蒋百灵 冯林 郝娟 
国家自然科学基金资助项目51271144~~
依据气体放电等离子体物理学知识,通过增加靶材的电流密度将靶面气体放电引入至辉光与弧光放电之间的辉弧放电过渡区.借助Ar+轰击靶面的碰撞动能和电子传输所产生的Joule热能,共同诱发靶面电子与原子克服表面逸出功的自发射.由此获得高...
关键词：磁控溅射离子镀 气体放电伏安特性 热发射 离化率 
磁控溅射离子镀新型硬黑铬镀层的制备与性能被引量：2
《电镀与涂饰》2014年第12期503-505,543,共3页刘海华 王永宁 吴昌 郭新刚 
采用磁控溅射离子镀技术在316不锈钢上制备了一种新型硬黑铬镀层。研究了该硬黑铬镀层的外观、组成、硬度、耐蚀和耐磨性。结果表明,该新型硬黑铬镀层呈靓丽的枪黑色,镀层组成为Cr 73.62%、O 15.05%及C 11.33%,具有优良的耐蚀、耐磨性...
关键词：铬 磁控溅射离子镀 硬度 耐蚀性 耐磨性 环保 
金属铀表面Cr／CrN多层膜的制备与性能研究
《中国工程物理研究院科技年报》2012年第1期118-120,共3页
金属铀的化学性质十分活泼，在高湿和盐雾环境中极易遭受腐蚀，解决铀的易腐蚀问题已成为其应用的关键]一程技术之一。早在20世纪60年代，Bland等采用蒸发镀、磁控溅射离子镀技术在铀表丽获得了铝镀层。
关键词：金属铀 CRN 多层膜 磁控溅射离子镀 性能 制备 表面 腐蚀问题 
磁控溅射微纳米梯度镀层对45钢及40Cr钢弹性变形性能的影响被引量：3
《机械工程学报》2011年第4期32-36,共5页白力静 蒋百灵 乔亮 李艳 殷鹏 
国家重点基础研究发展计划(973计划;2009CB724406);西安理工大学基金(210802)资助项目
利用磁控溅射离子镀技术在屈强比不同的45钢及40Cr钢基体上制备Cr、类石墨碳(Graphite-like-carbon,GLC)及CrTiAlN微纳米梯度镀层,通过考察镀层/金属复合体系弹性模量和屈服强度的变化来研究镀层对基体弹性变形行为的影响。研究结果表明...
关键词：磁控溅射离子镀 梯度镀层 弹性变形 弹性模量 
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