物理气相沉积

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阴极碳靶电流对物理气相沉积制备ta-C薄膜性能的影响
《材料导报》2025年第10期138-142,共5页温鑫 李多生 叶寅 徐锋 郎文昌 刘俊红 于爽爽 余欣秀 
国家自然科学基金(51562027;52375441);江西省重点研发计划重点项目(20201BBE51001);江苏省重点研发计划(产业前瞻与关键核心技术)(BE2021055)。
采用物理气相沉积的方法,利用真空阴极离子沉积系统,通过改变阴极碳靶电流在硬质合金表面沉积四面体非晶碳膜(ta-C)薄膜。通过改变阴极碳靶电流(55~95 A),探究电流对ta-C薄膜综合性能的影响,并对ta-C薄膜的表面形态、化学结构、力学性...
关键词：阴极碳靶电流 ta-C薄膜 sp^(3)杂化键含量 摩擦性能 力学性能 
钛合金表面耐磨损PVD涂层及制备技术研究进展
《机械工程材料》2025年第4期8-19,共12页李聪 刘健招 周立波 陈维 陈汪林 陈荐 
湖南省自然科学基金资助项目(2022JJ30597)。
为提高钛合金表面的硬度及耐磨性能,常采用物理气相沉积(PVD)技术在其表面制备涂层。介绍了类金刚石涂层、改性氮化物涂层、复合氮化物涂层、梯度涂层等常见的PVD涂层,系统阐述了磁控溅射技术、离子镀技术、离子束辅助沉积技术、真空蒸...
关键词：钛合金 物理气相沉积 耐磨涂层 工艺参数 
电子束物理气相沉积Yb掺杂Gd_(2)Zr_(2)O_(7)/8YSZ双陶瓷层热障涂层性能研究
《表面技术》2025年第6期134-142,共9页高栋 刘燚栋 张国栋 黄爱华 
目的 分析电子束物理气相沉积Yb掺杂Gd_(2)Zr_(2)O_(7)(简称为Yb-GZO)/8YSZ双陶瓷层涂层的关键性能,推动涂层工艺优化和质量提升。方法 采用镀铂渗铝在单晶合金试样表面制备金属黏结层,随后在黏结层上采用电子束物理气相沉积制备Yb-GZO/...
关键词：Yb-GZO/8YSZ双陶瓷层涂层 热循环 热导率 热稳定性 热腐蚀 
PS-PVD双陶瓷层热障涂层热循环性能研究
《热喷涂技术》2025年第1期119-129,共11页李信瑜 李建超 张雨生 李新慧 由晓明 何箐 
下一代超高温热障涂层多以双陶瓷层结构存在,针对具有优良热力学性能、低热导率和高温相稳定的锆酸钆涂层材料,采用等离子物理气相沉积工艺制备了YSZ单陶瓷层和YSZ/(Gd_(0.9)Yb_(0.1))_(2)Zr_(2)O_(7)(YSZ/GYbZ)双陶瓷层热障涂层,对涂层...
关键词：热障涂层 等离子喷涂-物理气相沉积 锆酸钆 热循环 
氮化镍薄膜的制备及应用
《印刷与数字媒体技术研究》2025年第1期1-13,27,共14页方弘历 任家轩 严建军 刘博文 桑利军 刘忠伟 
国家自然科学基金面上项目(No.12475255);北京印刷学院校级项目(No.Eb202401)。
氮化镍薄膜是一种具有良好导电性和化学稳定性的功能材料,在催化、电化学储能、传感器等领域具有广泛的应用前景。制备氮化镍薄膜的方法主要包括物理气相沉积法(PVD)、化学气相沉积法(CVD)、溶液凝胶法(Sol-Gel)以及热分解法等。氮化镍...
关键词：氮化镍 化学气相沉积 物理气相沉积 
基于YSZ的电镀Pt复合涂层红外发射率探究
《材料研究与应用》2025年第1期171-179,共9页张景钦 杨文超 湛永钟 侯振宁 张小锋 
红外隐身性能是新一代战斗机高温部件设计中的关键指标。高温部件通常采用热障涂层作为面层,通过表面涂覆红外低发射率涂层实现红外隐身。研究了不同涂层制备工艺对复合涂层性能的影响。采用等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)技术和大气...
关键词：大气等离子喷涂 等离子喷涂-物理气相沉积 热障涂层 氧化钇稳定氧化锆 电镀 红外发射率 显微结构 结合强度 
316L不锈钢离子渗氮/PVD复合改性层的组织与性能
《金属热处理》2025年第1期299-307,共9页曹驰 张翔 陈志林 陈东升 张琢 
甘肃省科技计划项目(20YF8GA058);温州市工业科技项目(ZG20211003)。
为了提高不锈钢表面硬度、耐磨性和耐蚀性能,研究了单一离子渗氮和离子渗氮/物理气相沉积(PVD)复合处理工艺对316L奥氏体不锈钢组织、硬度、摩擦磨损及耐蚀性能的影响。结果表明,经单一离子渗氮处理的试样表面形成厚度约20μm、硬度约80...
关键词：316L不锈钢 离子渗氮 物理气相沉积 组织 硬度 耐磨性 耐蚀性 
火炮身管材料表面TiAlYN镀层组织及摩擦行为研究
《装备环境工程》2025年第1期21-30,共10页武晨阳 郭巧琴 杨忠 齐源昊 
陕西省教育厅“发动机关键部件材料研发及应用”创新团队(K20220185);西安市科技计划项目(23GXFW0036)。
目的针对火炮身管内膛磨损严重的问题,采用物理气相沉积技术进行涂层制备,延长身管服役寿命。方法采用磁控溅射/多弧离子镀复合处理工艺,通过改变氮气与氩气流量比,在身管材料表面制备TiAlYN涂层,研究Y元素含量对涂层组织及性能的影响...
关键词：火炮身管 物理气相沉积 磁控溅射 多弧离子镀 气体流量 TiAlYN涂层 摩擦行为 
连续物理气相沉积带钢涂镀研究进展与应用现状
《材料导报》2025年第2期147-155,共9页赵兴源 刘昕 刘秋元 邱肖盼 张子月 江社明 张启富 
农机装备材料生产应用示范平台(TC200H01X-5)。
随着“碳达峰、碳中和”成为全球共识,新一代高强钢因在实现钢铁行业节能减排和汽车轻量化战略中扮演的关键角色受到了广泛的关注,但传统镀层技术电镀锌因氢脆危害和环保要求以及热镀锌的可镀性差等问题,已越来越难以满足其表面防护需...
关键词：物理气相沉积 带钢涂镀 锌及锌合金 耐腐蚀性 
高频高压电极测温薄膜温度传感器的研制与应用
《中国计量》2025年第1期82-86,89,共6页霍海林 常蕾 朱昱 李雪松 房健 
针对电子束物理气相沉积(EB-PVD)系统高压带电极板的温度准确测量技术难题,文章结合EB-PVD系统中电极性能的需求研制模拟电极,设计了一种适用于高压电极测温的新型薄膜温度传感器,利用磁控溅射技术进行传感器镀制,利用表面温度校验仪进...
关键词：计量学 电子束物理气相沉积 EB-PVD 电极 薄膜温度传感器 
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