电子束物理气相沉积

作品数：169被引量：669H指数：14
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电子束物理气相沉积Yb掺杂Gd_(2)Zr_(2)O_(7)/8YSZ双陶瓷层热障涂层性能研究
《表面技术》2025年第6期134-142,共9页高栋 刘燚栋 张国栋 黄爱华 
目的 分析电子束物理气相沉积Yb掺杂Gd_(2)Zr_(2)O_(7)(简称为Yb-GZO)/8YSZ双陶瓷层涂层的关键性能,推动涂层工艺优化和质量提升。方法 采用镀铂渗铝在单晶合金试样表面制备金属黏结层,随后在黏结层上采用电子束物理气相沉积制备Yb-GZO/...
关键词：Yb-GZO/8YSZ双陶瓷层涂层 热循环 热导率 热稳定性 热腐蚀 
高频高压电极测温薄膜温度传感器的研制与应用
《中国计量》2025年第1期82-86,89,共6页霍海林 常蕾 朱昱 李雪松 房健 
针对电子束物理气相沉积(EB-PVD)系统高压带电极板的温度准确测量技术难题,文章结合EB-PVD系统中电极性能的需求研制模拟电极,设计了一种适用于高压电极测温的新型薄膜温度传感器,利用磁控溅射技术进行传感器镀制,利用表面温度校验仪进...
关键词：计量学 电子束物理气相沉积 EB-PVD 电极 薄膜温度传感器 
不同电子束流EB-PVD制备YSZ热障涂层的组织结构演变、热循环寿命与失效行为分析
《材料工程》2024年第12期44-52,共9页牟仁德 丁宁 刘冠熙 罗宇晴 戴建伟 
国家科技重大专项项目(J2019-Ⅶ-0010-0150);超高温耐蚀热障涂层技术项目(30204);国家自然科学基金项目(52202073)。
采用电子束物理气相沉积技术在不同电子束流下(1.2,1.8,2.4 A)制备YSZ热障涂层,分析表征不同电子束流下YSZ涂层的相结构和显微组织形貌变化,并对热障涂层进行了1150℃热循环寿命测试,同时通过微观组织结构演变对涂层失效行为进行分析。...
关键词：热障涂层 电子束物理气相沉积 显微结构 热循环 失效行为 
LaZrCeO热障涂层EB-PVD制备及失效机理
《材料工程》2024年第12期53-60,共8页罗宇晴 李子楠 朱石刚 何利民 宇波 王玉峰 
国家科技重大专项项目(J2019-Ⅶ-0010-0150);海装预研基金项目(30204);国家自然科学基金项目(52202073)。
热障涂层作为一种由金属黏结层、陶瓷面层和热生长氧化物组成的防护涂层,在航空发动机涡轮叶片上得到了广泛的应用。采用电子束物理气相沉积技术在Ni基高温合金基体上制备LaZrCeO/YSZ双陶瓷热障涂层。通过调控靶材的沉积能量,研究热障...
关键词：热障涂层 电子束物理气相沉积 相结构 元素含量 热循环寿命 失效机理 
Yb_(2)O_(3)改性Gd_(2)Zr_(2)O_(7)热障涂层的显微组织和热循环性能研究
《真空》2024年第5期21-29,共9页李婷玥 王鑫 甄真 李娜 许振华 
国家科技重大专项(J2019-Ⅶ-0010-0150)
(Yb_(0.1)Gd_(0.9))2Zr_(2)O_(7)(YbGdZrO)稀土复合氧化物是适用于更高温度的新型热障涂层(TBCs)候选材料之一。采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)工艺在单晶合金(Ni,Pt)Al粘结层表面分别制备了单陶瓷层YbGdZrO和双陶瓷层YbGdZrO/YSZ两种...
关键词：电子束物理气相沉积 热障涂层 改性锆酸钆 热循环 界面分离 
多元稀土掺杂YSZ热障涂层的热物理和热循环性能研究
《真空》2024年第2期1-9,共9页黄光宏 甄真 王鑫 牟仁德 何利民 许振华 
国家科技重大专项(J2019-Ⅶ-0010-0150)。
4.5wt.%Gd_(2)O_(3)-5.5wt.%Yb_(2)O_(3)-10.5wt.%Y_(2)O_(3)-79.5wt.%ZrO_(2)(GdYbYSZ)稀土复合氧化物陶瓷是一类适用于更高温度下潜在应用的新型热障涂层(TBCs)材料。采用高温固相合成法制备了GdYbYSZ陶瓷粉体和陶瓷块材,在1 100℃和1...
关键词：电子束物理气相沉积 热障涂层 热物理 热循环 剥落失效 
专利信息被引量：1
《有色金属材料与工程》2024年第2期88-88,共1页陈伟文 
专利名称:一种耐氧化抗冲刷NbSi2/ZrB2层状复合高温防护涂层及其制备方法专利申请号:2023117199810公布号:CN117702106A申请日:2023.12.14公开日:2024.03.15申请人:西北有色金属研究院本发明公开了一种耐氧化抗冲刷NbSi2/ZrB2层状复合...
关键词：电子束物理气相沉积 铌合金 热喷涂 高温防护涂层 氧化速率 专利信息 抗热震性能 制备方法专利 
电子束物理气相沉积热障涂层隔热性能的磷光寿命在线测量被引量：2
《上海交通大学学报》2023年第9期1186-1195,共10页刘郑红 余亚丽 程伟伦 李牧之 杨丽霞 赵晓峰 彭迪 牟仁德 刘德林 
国家自然科学基金(51905268)资助项目。
精确在线测量热障涂层(TBCs)在热梯度环境下的真实隔热效果对热障涂层的设计以及开发具有重要意义.采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)制备了含Eu掺杂的氧化钇部分稳定氧化锆(YSZ:Eu)表层、YSZ中间层与Dy掺杂YSZ(YSZ:Dy)底层的磷光传感热...
关键词：热障涂层 磷光在线测温 隔热效果 热导率 电子束物理气相沉积 
沉积入射角度对热障涂层形貌和性能的影响
《真空》2023年第3期5-11,共7页张彬 蔡妍 张涛 常振东 曾令玉 牟仁德 
国家科技重大专项(J2019-Ⅵ-0002-0115)
采用真空电弧镀(ARC)技术在DZ125合金基体上制备NiCrAlYSi(HY3)金属粘结层,然后采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术,分别以0°、20°、40°、60°和80°五种入射角度沉积氧化钇稳定氧化锆(6~8YSZ)陶瓷涂层,研究了入射角度对涂层形貌和...
关键词：入射角度 电子束物理气相沉积 热障涂层 结合强度 热冲击试验 
电子束物理气相沉积叶片热障涂层工艺稳定性提升技术研究被引量：2
《航空制造技术》2023年第1期40-45,52,共7页滕晓丹 彭徽 李刘合 郭洪波 宫声凯 
国家科技重大专项(2017-Ⅶ-0007-0100);国家自然科学基金(52071006)。
电子束物理气相沉积(EB-PVD)是航空发动机涡轮叶片涂层的先进制备技术。EB-PVD的工艺稳定性对于叶片涂层质量及批产一致性至关重要。本研究针对我国先进航空发动机对高性能热障涂层的应用需求,研制出了EB-PVD自动蒸发沉积技术和叶片多...
关键词：电子束物理气相沉积 热障涂层 工艺稳定性 微观组织 厚度均匀性 燃气热冲击 
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