高频高压电极测温薄膜温度传感器的研制与应用  

作　　者：霍海林 常蕾 朱昱[1] 李雪松[1] 房健 

机构地区：[1]核工业理化工程研究院 [2]北京长城计量测试技术研究所

出　　处：《中国计量》2025年第1期82-86,89,共6页China Metrology

摘　　要：针对电子束物理气相沉积(EB-PVD)系统高压带电极板的温度准确测量技术难题,文章结合EB-PVD系统中电极性能的需求研制模拟电极,设计了一种适用于高压电极测温的新型薄膜温度传感器,利用磁控溅射技术进行传感器镀制,利用表面温度校验仪进行传感器标定。试验验证表明:薄膜温度传感器可用于高压电极温度的精确测量,最优测量精度MPE为±1.8℃,为高压电极测温提供了一个新的技术手段。

关 键 词：计量学 电子束物理气相沉积 EB-PVD 电极 薄膜温度传感器 

分 类 号：TP212.11[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]