化学气相沉积

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非层状二维γ-In_(2)Se_(3)的各向异性生长及其光学特性
《原子与分子物理学报》2025年第6期58-65,共8页雷子煊 张文婷 夏晓凤 王红艳 
国家自然科学基金青年科学基金(51902272);四川省科技厅计划项目(2021 YFG0228,2682021 GF007)。
非层状二维(2D)γ-In_(2)Se_(3)具有优异的光学和电学性能,在超薄柔性器件和光电探测领域具有广泛的应用前景.然而,相较于层状的类石墨烯材料,非层状材料固有的各向同性化学键,使得其二维各向异性生长面临较大的挑战.本研究构建了一种...
关键词：非层状材料 二维γ-In_(2)Se_(3) 化学气相沉积 各向异性生长 带隙 
碳化硅纤维表面热解碳涂层转化TiC-Ti_(2)AlC的行为研究
《宁波大学学报(理工版)》2025年第2期102-108,共7页王宇槐 李朋 黄庆 
浙江省重点研发计划(2022C01236);浙江省领军型创新创业团队项目(2019R01003);浙江省万人杰出项目(2022R51007).
界面层对于碳化硅纤维增强碳化硅陶瓷基复合材料性能具有重要影响.为此,采用化学气相沉积工艺,在碳化硅纤维表面制备热解碳(PyC)涂层作为反应源,通过熔盐化学原位反应将PyC转化为TiC-Ti_(2)AlC涂层.通过对物相、微观结构以及形貌表征分...
关键词：碳化硅纤维 界面层 化学气相沉积 热解碳 TiC-Ti_(2)AlC 
MPCVD柱形腔中电子密度分布特性数值模拟分析
《真空科学与技术学报》2025年第3期248-256,共9页祝铭辉 陈玉 徐曼曼 沈洁 李翔 周燕 
使用微波等离子体法沉积多晶金刚石薄膜过程中,工艺参数调整往往对等离子体球大小及均匀性影响较大。文章基于实验室自制的5 kW MPCVD柱形腔,通过耦合多物理场,在氢气放电环境下对不同工艺参数条件下钼板表面轴向及径向电子密度分布进...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 氢等离子体 数值模拟 均匀性 
基于电子场发射性能的高导电性金刚石/碳纳米墙薄膜的一步法制备
《表面技术》2025年第6期194-205,共12页徐戴 卢嘉琪 刘鲁生 杨越朝 关印 黄楠 姜辛 杨兵 
国家自然科学基金(52172056);辽宁省自然科学基金(2022MS009)。
目的 金刚石薄膜的电导率和薄膜/衬底界面电导率的提高对其场发射性能优化非常关键。通过一步法制备具有高导电性且无高电阻率中间层的金刚石/碳纳米墙(D/CNWs)薄膜,提高金刚石的场发射性能。方法 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)...
关键词：金刚石 石墨 复合薄膜 中间层 场致电子发射 化学气相沉积 
基于低气压CVD法的大面积真空镀膜均匀性控制机理研究
《真空科学与技术学报》2025年第3期205-214,共10页黄宇鹏 袁吉仁 黄海宾 
国家自然科学基金项目(No.11964018);江西省自然科学基金项目(20224BAB202032);赣鄱俊才支持计划项目(20232BCJ22026);中央引导地方科技发展资金项目(20231ZDE04023);江西省重点研发计划项目(20243BBG71022);山西省科技厅项目(202101060301016);吕梁市科技局项目(2022JBGS01)。
在热丝化学气相沉积法大面积均匀沉积非晶硅薄膜时,利用CFD流体仿真软件,对反应室腔体建立了精确的连续流体和传热模型。以常规工艺参数为基准,遵循单一控制变量原则,设计系列试验分析了不同热丝工艺参数对基底表面温度和气体流速的具...
关键词：热丝化学气相沉积 热流场 工艺参数 镀膜均匀性 
衬底温度对热丝CVD法沉积氧化钨的影响研究
《太阳能学报》2025年第3期335-341,共7页张旭 郭丛 陈涛 俞健 唐水花 
教育部“春晖计划”项目(HZKY-20220555);四川省科技计划项目(2023ZYD0163,2023YFG0098)。
通过热丝化学气相沉积法制备氧化钨(WOx)薄膜,并将其应用于无掺杂异质结太阳电池。研究表明,衬底温度在沉积过程中起着重要作用,衬底温度从室温升高到200℃,WOx薄膜的表面颗粒尺寸减小,薄膜更加致密;功函数先升高再迅速下降;透过率在15...
关键词：晶体硅太阳电池 钨化合物 薄膜 化学气相沉积 温度 衬底 
化学气相沉积铝化物涂层组织结构及形成机制
《中国材料进展》2025年第3期275-281,共7页孟国辉 齐浩雄 杜撰 刘梅军 杨冠军 吴勇 孙清云 夏思瑶 董雪 
国家重点研发计划项目(2020YFB2010403);湖北省重点研发计划项目(2021BAA210)。
提高铝化物涂层抗高温氧化和耐热腐蚀性能的关键在于明确铝化物涂层的微观组织结构及形成机制。采用化学气相沉积法在镍基高温合金Mar-M-247表面制备了铝化物涂层。结合材料热力学模拟软件JMatPro和扫描电子显微镜表征并分析了铝化物涂...
关键词：镍基高温合金 化学气相沉积 铝化物涂层 微观组织结构 热力学 
Cu-THQ薄膜的可控制备及其载流子迁移率调控
《高等学校化学学报》2025年第3期111-120,共10页王龙盛 李朝晖 何漩 李薇馨 陈辉 王大珩 方伟 杜星 赵雷 
国家自然科学基金(批准号:22105151,52305211);湖北省重点研发计划项目(批准号:2022BAA094);湖北省自然科学基金(批准号:2024AFB836,2023AFB626,2022CFB626)资助。
利用化学气相沉积(CVD)方法制备了具有不同表面粗糙度的Cu-THQ(THQ=四羟基-1,4-苯醌-水合物)薄膜,并研究了Cu-THQ薄膜的表面粗糙度、分子π-π堆积程度与载流子迁移率之间的内在联系,探索了CVD生长过程中温度对Cu-THQ薄膜载流子迁移率...
关键词：导电金属有机框架 化学气相沉积 配位方式 Π-Π堆积 霍尔效应载流子迁移率 
生物质硬碳负极材料表面改性研究
《电源技术》2025年第3期583-589,共7页陈冬 赵昊 张育红 陈建 涂江平 
硬碳因其资源丰富、成本低和工作电压平台低,被视为钠离子电池中最具潜力的商业负极材料。然而,常规硬碳材料由于高比表面积和大量微孔导致其初始库仑效率(ICE)较低,影响其在电池中应用。采用化学气相沉积(CVD)技术对硬碳负极表面进行改...
关键词：钠离子电池 硬碳负极 化学气相沉积包覆 表面改性 
沉积温度对MOCVD法在铁素体不锈钢表面制备Mn_(1.5)Co_(1.5)O_(4)涂层性能的影响
《武汉工程大学学报》2025年第1期37-43,共7页李华 马超 汤加杰 熊春艳 赵培 
湖北省教育厅科技计划指导项目(B2023041);湖北省重点研发项目(2024BCB074)。
为了研究在固体氧化物燃料电池阴极条件下Mn_(1.5)Co_(1.5)O_(4)涂层对连接体的保护效果,以三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)锰和双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)钴为前驱体,通过金属有机化学气相沉积法在SUS430铁素体不锈钢上成功制备了Mn...
关键词：固体氧化物燃料电池 Mn_(1.5)Co_(1.5)O_(4)涂层 高温抗氧化性 金属有机化学气相沉积 
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