化学气相沉积

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非层状二维γ-In_(2)Se_(3)的各向异性生长及其光学特性
《原子与分子物理学报》2025年第6期58-65,共8页雷子煊 张文婷 夏晓凤 王红艳 
国家自然科学基金青年科学基金(51902272);四川省科技厅计划项目(2021 YFG0228,2682021 GF007)。
非层状二维(2D)γ-In_(2)Se_(3)具有优异的光学和电学性能,在超薄柔性器件和光电探测领域具有广泛的应用前景.然而,相较于层状的类石墨烯材料,非层状材料固有的各向同性化学键,使得其二维各向异性生长面临较大的挑战.本研究构建了一种...
关键词：非层状材料 二维γ-In_(2)Se_(3) 化学气相沉积 各向异性生长 带隙 
碳化硅纤维表面热解碳涂层转化TiC-Ti_(2)AlC的行为研究
《宁波大学学报(理工版)》2025年第2期102-108,共7页王宇槐 李朋 黄庆 
浙江省重点研发计划(2022C01236);浙江省领军型创新创业团队项目(2019R01003);浙江省万人杰出项目(2022R51007).
界面层对于碳化硅纤维增强碳化硅陶瓷基复合材料性能具有重要影响.为此,采用化学气相沉积工艺,在碳化硅纤维表面制备热解碳(PyC)涂层作为反应源,通过熔盐化学原位反应将PyC转化为TiC-Ti_(2)AlC涂层.通过对物相、微观结构以及形貌表征分...
关键词：碳化硅纤维 界面层 化学气相沉积 热解碳 TiC-Ti_(2)AlC 
垂直热壁CVD反应器中C/Si比对SiC高速同质外延生长的影响研究
《人工晶体学报》2025年第4期569-580,共12页陈丹莹 闫龙 罗稼昊 郑振宇 姜勇 张凯 周宁 廖宸梓 郭世平 
上海市浦江人才计划(22PJ1423600)。
本文结合计算流体力学(CFD)实验与模拟,对垂直热壁晶圆高速旋转CVD设备中SiC的同质外延生长机制进行研究,探讨了晶圆表面C/Si比对外延生长速率及载流子掺杂浓度的影响。结果表明晶圆表面上方碳原子对硅原子的摩尔比(记为有效C/Si比)与...
关键词：碳化硅 同质外延 化学气相沉积 C/Si比 CFD模拟仿真 
MPCVD柱形腔中电子密度分布特性数值模拟分析
《真空科学与技术学报》2025年第3期248-256,共9页祝铭辉 陈玉 徐曼曼 沈洁 李翔 周燕 
使用微波等离子体法沉积多晶金刚石薄膜过程中,工艺参数调整往往对等离子体球大小及均匀性影响较大。文章基于实验室自制的5 kW MPCVD柱形腔,通过耦合多物理场,在氢气放电环境下对不同工艺参数条件下钼板表面轴向及径向电子密度分布进...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 氢等离子体 数值模拟 均匀性 
双生长腔互联MOCVD外延生长氧化镓异质结构及其紫外光电探测器件的研究
《人工晶体学报》2025年第3期426-437,共12页王月飞 高冲 吴哲 李炳生 刘益春 
科技部重点研发计划(2019YFA0705202);国家自然科学基金(62274027,62404039);松山湖材料实验室开放研究基金(2023SLABFK03)。
本文报道了利用氮化物-氧化物双生长腔互联金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统外延生长氧化镓/氮化物薄膜异质结构并制备了高性能紫外光电探测器件。通过X射线衍射仪、原子力显微镜对不同衬底与不同缓冲层材料的薄膜结晶质量和表面形貌进...
关键词：氧化镓 宽禁带半导体 金属有机化学气相沉积 外延生长 异质结 紫外光电探测 
衬底晶面对MOCVD同质外延生长n-Ga_(2)O_(3)薄膜性质的影响研究
《人工晶体学报》2025年第3期438-444,I0003,共8页韩宇 焦腾 于含 赛青林 陈端阳 李震 李轶涵 张钊 董鑫 
国家重点研发计划(2022YFB3605500)。
本文采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺,在Fe掺杂的(001)、(010)和(201)晶面的氧化镓(Ga_(2)O_(3))衬底上实现了Si掺杂n型β-Ga_(2)O_(3)薄膜的同质外延生长,系统研究了衬底晶面对生长的薄膜晶体质量、生长速度及电学性能的影响。研...
关键词：氧化镓 金属有机化学气相沉积 同质外延 掺杂 迁移率 生长速率 
基于电子场发射性能的高导电性金刚石/碳纳米墙薄膜的一步法制备
《表面技术》2025年第6期194-205,共12页徐戴 卢嘉琪 刘鲁生 杨越朝 关印 黄楠 姜辛 杨兵 
国家自然科学基金(52172056);辽宁省自然科学基金(2022MS009)。
目的 金刚石薄膜的电导率和薄膜/衬底界面电导率的提高对其场发射性能优化非常关键。通过一步法制备具有高导电性且无高电阻率中间层的金刚石/碳纳米墙(D/CNWs)薄膜,提高金刚石的场发射性能。方法 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)...
关键词：金刚石 石墨 复合薄膜 中间层 场致电子发射 化学气相沉积 
基于低气压CVD法的大面积真空镀膜均匀性控制机理研究
《真空科学与技术学报》2025年第3期205-214,共10页黄宇鹏 袁吉仁 黄海宾 
国家自然科学基金项目(No.11964018);江西省自然科学基金项目(20224BAB202032);赣鄱俊才支持计划项目(20232BCJ22026);中央引导地方科技发展资金项目(20231ZDE04023);江西省重点研发计划项目(20243BBG71022);山西省科技厅项目(202101060301016);吕梁市科技局项目(2022JBGS01)。
在热丝化学气相沉积法大面积均匀沉积非晶硅薄膜时,利用CFD流体仿真软件,对反应室腔体建立了精确的连续流体和传热模型。以常规工艺参数为基准,遵循单一控制变量原则,设计系列试验分析了不同热丝工艺参数对基底表面温度和气体流速的具...
关键词：热丝化学气相沉积 热流场 工艺参数 镀膜均匀性 
衬底温度对热丝CVD法沉积氧化钨的影响研究
《太阳能学报》2025年第3期335-341,共7页张旭 郭丛 陈涛 俞健 唐水花 
教育部“春晖计划”项目(HZKY-20220555);四川省科技计划项目(2023ZYD0163,2023YFG0098)。
通过热丝化学气相沉积法制备氧化钨(WOx)薄膜,并将其应用于无掺杂异质结太阳电池。研究表明,衬底温度在沉积过程中起着重要作用,衬底温度从室温升高到200℃,WOx薄膜的表面颗粒尺寸减小,薄膜更加致密;功函数先升高再迅速下降;透过率在15...
关键词：晶体硅太阳电池 钨化合物 薄膜 化学气相沉积 温度 衬底 
化学气相沉积铝化物涂层组织结构及形成机制
《中国材料进展》2025年第3期275-281,共7页孟国辉 齐浩雄 杜撰 刘梅军 杨冠军 吴勇 孙清云 夏思瑶 董雪 
国家重点研发计划项目(2020YFB2010403);湖北省重点研发计划项目(2021BAA210)。
提高铝化物涂层抗高温氧化和耐热腐蚀性能的关键在于明确铝化物涂层的微观组织结构及形成机制。采用化学气相沉积法在镍基高温合金Mar-M-247表面制备了铝化物涂层。结合材料热力学模拟软件JMatPro和扫描电子显微镜表征并分析了铝化物涂...
关键词：镍基高温合金 化学气相沉积 铝化物涂层 微观组织结构 热力学 
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