微波等离子体化学气相沉积

作品数：154被引量：354H指数：9
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MPCVD柱形腔中电子密度分布特性数值模拟分析
《真空科学与技术学报》2025年第3期248-256,共9页祝铭辉 陈玉 徐曼曼 沈洁 李翔 周燕 
使用微波等离子体法沉积多晶金刚石薄膜过程中,工艺参数调整往往对等离子体球大小及均匀性影响较大。文章基于实验室自制的5 kW MPCVD柱形腔,通过耦合多物理场,在氢气放电环境下对不同工艺参数条件下钼板表面轴向及径向电子密度分布进...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 氢等离子体 数值模拟 均匀性 
调节生长环境 单晶金刚石可转变成超导态
《超硬材料工程》2024年第6期50-50,共1页无 
9月16日,记者从浙江大学获悉,该校信息与电子工程学院林时胜教授团队,利用自制的微波等离子体化学气相沉积系统,成功制备出硼氮共掺杂的块体单晶金刚石半导体,并成功通过迁移率调控,实现了金刚石的超导态和金属态,部分证实了激子超导机...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 单晶金刚石 国际学术期刊 超导态 电子工程学院 金属态 高温超导 硼氮共掺杂 
多晶金刚石散热片制备工艺研究
《固体电子学研究与进展》2024年第6期556-560,共5页郝晓斌 李一村 孔霞 吕继磊 成楚飞 代兵 郭怀新 朱嘉琦 
中央高校基本科研业务费专项资金资助(HIT.OCEF.2022048);国家自然科学基金国际(地区)合作与交流项目(52261135545);国家重点研发计划变革性技术项目(2020YFA0709700)。
通过微波等离子体化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)方法制备了不同工艺条件下的多晶金刚石散热片,并对其热导率、翘曲、表面形貌、晶体取向和拉曼光谱进行测试和分析。结果表明,甲烷浓度和生长温度对金...
关键词：金刚石 微波等离子体化学气相沉积 散热 
硅氧共掺DLC薄膜的制备及阻隔性能研究
《包装工程》2024年第19期171-178,共8页印莲华 刘忠伟 
上海市教育发展基金会和上海市教育委员会“晨光计划”项目(19CGB11)。
目的研究硅(Si)、氧(O)元素掺杂对类金刚石(Diamond like Carbon,DLC)薄膜沉积、结构、表面形貌以及阻隔性能的影响,为高效制备高阻隔硅氧共掺类金刚石(Si and O Incorporated DLC,Si/O-DLC)薄膜提供新的思路参考。方法利用微波等离子...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 类金刚石 聚对苯二甲酸乙二醇酯 阻隔性能 元素掺杂 
纳米金刚石膜/{100}晶面多晶金刚石膜台阶法快速生长研究
《应用技术学报》2024年第2期133-139,共7页唐春玖 侯海虹 陈维霞 江学范 
国家自然科学基金项目(51972035)资助。
通过高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)以及台阶式基底排列方法,可以在一次沉积过程中同时沉积纳米晶粒及<100>取向的{100}面多晶金刚石薄膜。详细比较在同一次沉积中同时制备的多种不同类别的金刚石产物的生长速率。采用台阶法并...
关键词：纳米金刚石膜 {100}晶面 台阶法 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 
SiC基GaN上多晶金刚石散热膜生长及其影响
《半导体技术》2024年第5期455-460,共6页盛百城 刘庆彬 何泽召 李鹏雨 蔚翠 冯志红 
国家重点研发计划(2022YFB3404304,2022YFB3608603)。
通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法,在SiC基GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)异质结构材料上生长多晶金刚石散热膜,采用光学显微镜(OM)、拉曼光谱、非接触霍尔测试系统、X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对生长样品进行表征,研究...
关键词：多晶金刚石 散热膜 氮化镓 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法 电性能 应力 孔洞缺陷 
MPCVD法生长曲面多晶金刚石薄膜研究被引量：1
《冶金与材料》2024年第3期1-3,共3页许坤 吕思远 
河南省高等学校重点科研项目基础专项项目(项目编号:22ZX012);河南省重点研发与推广专项(科技攻关)项目(项目编号:212102210271);河南省高等学校重点科研项目(项目编号:21B140010);河南省高校科技创新团队项目(项目编号:22IRTSTHN004);航空科学基金项目(项目编号:ASFC-2019ZF055002)。
金刚石振膜具有高保真、声传播速率快、弹性模量高、声阻尼特性好、优异的高频响应特性,是高保真扬声器高音单元喇叭膜的理想材料。目前微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法生长单晶金刚石以及平面多晶金刚石薄膜技术都较为成熟,实现了...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 谐振腔 有限元分析 曲面多晶金刚石薄膜 
新型KTN衬底上生长金刚石及其光催化性能研究
《金刚石与磨料磨具工程》2024年第1期9-14,共6页栾玉翰 李天蔚 王旭平 郝建新 赵洪阳 付秋明 陶洪 高登 马志斌 
采用微波等离子体化学气相沉积技术,以钽铌酸钾(KTa1-xNbxO3,简称KTN)作为衬底,生长高质量金刚石薄膜。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和拉曼光谱仪观察并分析金刚石薄膜的表面形貌和微观结构,并研究样品的光催化性能。结果表明:金刚石...
关键词：金刚石 铌酸钽钾 光催化 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 
基于金属催化等离子体刻蚀的MPCVD单晶金刚石生长缺陷调控被引量：1
《硅酸盐学报》2023年第6期1374-1380,共7页李一村 文东岳 郝晓斌 代兵 刘本建 朱嘉琦 韩杰才 
国家自然科学基金(52072087);黑龙江省自然科学基金(YQ2020E008)资助。
单晶金刚石作为一种性能优异的半导体材料,在功率器件、深空探测等领域具有广阔的应用前景。然而采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备的单晶金刚石通常含有大量的缺陷,尤其是位错,严重限制了其电学性能的发挥。横向外延生长是半...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 单晶金刚石 横向外延 缺陷调控 
单晶金刚石异质外延用铱复合衬底研究现状
《人工晶体学报》2023年第5期857-877,共21页屈鹏霏 金鹏 周广迪 王镇 许敦洲 吴巨 郑红军 王占国 
国家重点研发计划(2022YFB3608602);北京市科技计划(Z181100004418009);国家自然科学基金(61927806)。
金刚石优异的物理性质使其成为下一代最有发展潜力的半导体材料之一。目前来看,基于微波等离子体化学气相沉积的异质外延可能是未来制备大尺寸单晶金刚石的最佳方法。在过去的三十年间,铱复合衬底上异质外延生长单晶金刚石取得了一定进...
关键词：金刚石 铱复合衬底 半导体 异质外延 偏压增强成核 微波等离子体化学气相沉积 
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