类金刚石

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磁控溅射类金刚石薄膜耐磨润滑性的研究综述
《材料保护》2025年第4期30-39,共10页王建刚 范宇星 张欣 王玉江 罗伟 王磊 汪晶晶 
石家庄市重大科技专项(246081487A)。
类金刚石薄膜(Diamond-Like Carbon,DLC)因其优异的润滑耐磨性能在多个领域备受关注。本文系统综述了磁控溅射技术在DLC薄膜制备中的研究进展,重点探讨了工艺参数及元素掺杂对薄膜性能的调控机制。首先,分析了气体流量比、偏置电压和电...
关键词：耐磨润滑 类金刚石薄膜 磁控溅射 沉积条件 掺杂 
荷能离子作用对氧化铝颗粒表面类金刚石薄膜生长特性的影响
《西安交通大学学报》2025年第3期189-200,共12页安政杰 赵军平 艾志军 吴治诚 张乔根 
国家自然科学基金资助项目(U2066216)。
为掌握表面改性氧化铝颗粒的过程中颗粒表面类金刚石薄膜形貌的调控方法,基于空心阴极放电等离子体表面沉积系统,研究了不同形式的外施电压作用下,生长在氧化铝颗粒表面的类金刚石膜层的形貌特征及不同膜层形貌的形成机制。通过对在不...
关键词：类金刚石薄膜 空心阴极放电 外施电压作用 形貌特征 岛状结构 
DLC薄膜固体超滑机理及影响因素研究进展
《中国表面工程》2025年第1期1-22,共22页于卿源 陈新春 张晨辉 
国家重点研发计划(2020YFA0711003);国家自然科学基金(52405204,51925506,52222506,52335004,51975314);中国博士后科学基金(BX20240197,2024M761633)。
类金刚石碳基(Diamond-like carbon,DLC)薄膜可在干燥固体接触工况下表现出0.001量级的极低摩擦因数(固体超滑),为解决真空、高应力及宽温域等极端工况下的摩擦学问题提供新的技术路线,近年来引起学界的广泛关注。然而,DLC的制备工艺路...
关键词：类金刚石碳基(DLC)薄膜 固体超滑 极端工况 结构演化 
TC4表面织构化DLC薄膜摩擦学特性研究
《表面技术》2025年第1期161-170,共10页崔坤杰 孙耀 陈祖亮 王涛 时礼平 李蒙 
国家自然科学基金(52205178);安徽高校协同创新项目(GXXT-2023-022);芜湖市科技计划项目(2023jc02);安徽省自然科学基金项目(2108085ME174,2108085QE228)。
目的研究TC4钛合金基体表面织构设计对类金刚石薄膜(DLC)的摩擦学性能影响。方法利用激光加工和物理气相沉积组合技术,在TC4钛合金表面制备凹坑织构阵列与DLC薄膜的复合结构,研究其在甘油溶液下的协同摩擦学性能。通过微观划痕和纳米压...
关键词：TI-6AL-4V 类金刚石薄膜 表面织构 复合处理 力学行为 摩擦磨损性能 
氩气流量对射频CVD法沉积类金刚石碳薄膜的影响
《超硬材料工程》2024年第6期11-16,共6页汤黎辉 肖长江 任瑛 张群飞 郑皓宇 栗正新 
工信部高质量发展专项(203ZS20230005);河南省重大科技专项高端超硬材料制品关键技术研究及产业化(221100230100)。
文章采用射频CVD沉积法,以甲烷和氢气为反应物,在硅(111)基底上沉积类金刚石碳薄膜,分析不同氩气流量对类金刚石碳薄膜性能的影响。利用激光拉曼光谱仪对类金刚石碳薄膜的结构特征进行分析,发现在1400~1700 cm^(-1)区间,有一个明显的宽G...
关键词：等离子增强化学气相沉积 类金刚石碳膜 拉曼光谱 
聚酰亚胺柔性基底红外隔热和保护膜的制备及性能分析
《吉林大学学报（理学版）》2024年第6期1464-1470,共7页李卓霖 杨金也 付秀华 张静 董所涛 韩阳 
国家自然科学基金(批准号:11973040);中山市引进创新团队项目(批准号:CXTD2023008).
针对聚酰亚胺具有抗高温、易弯折可贴敷、良好的机械延展性和拉伸强度等特性,在125μm厚的柔性聚酰亚胺材料上制备红外隔热和保护膜.在制备过程中,通过对离子源的能量调控可提高柔性基底表面膜层的附着力,根据最小二乘法原理构建薄膜材...
关键词：红外薄膜 聚酰亚胺 柔性基底 类金刚石薄膜 制备工艺 
聚醚醚酮表面W掺杂类金刚石薄膜结构及其摩擦性能
《中国表面工程》2024年第6期271-282,共12页崔丽 邱慧 周小卉 朱邵超 郭鹏 陈仁德 汪爱英 西村一仁 
国家自然科学基金(U20A20296,52127803);宁波市重点研发计划(2023Z021);宁波市高新区重大技术创新项目(2021CCX050003)。
聚醚醚酮(PEEK)广泛应用于航空航天领域,因其本征粘弹性和低硬度,PEEK极易发生磨损失效。为解决此难题,一般采用表面沉积类金刚石(DLC)薄膜的方法。利用线性离子束复合直流磁控溅射技术,调控Ar/C_(2)H_(2)气流比(68/12~62/18),在PEEK表...
关键词：聚醚醚酮(PEEK) 类金刚石薄膜 金属掺杂 微观结构 摩擦性能 
微波PECVD技术制备高阻隔PET复合薄膜研究
《真空科学与技术学报》2024年第11期976-984,共9页印莲华 刘忠伟 
上海市教育发展基金会和上海市教育委员会“晨光计划”项目(19CGB11)。
文章通过在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)基底表面沉积一定厚度的高阻隔薄膜,改善PET材料阻隔性能。采用微波等离子体化学气相沉积(PECVD)技术在PET基底上沉积氧化硅(SiO_(x))和类金刚石(DLC)阻隔薄膜,研究不同单体比例制备的薄膜结构、微...
关键词：微波等离子体增强化学气相沉积 阻隔性能 氧化硅 类金刚石 聚对苯二甲酸乙二醇酯 
基于复合过渡层的DLC涂层残余热应力仿真分析
《材料热处理学报》2024年第11期224-233,共10页黄珂 顾德华 邵思武 乔自平 李君安 陈良贤 刘金龙 李成明 魏俊俊 
利用ANSYS软件热固耦合模块对类金刚石(DLC)涂层的残余热应力进行有限元分析,模拟等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备DLC涂层从沉积温度150℃降温至22℃的过程,研究不同DLC厚度、过渡层(Cr、WC)结构及过渡层厚度对DLC涂层残余热应力...
关键词：等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 类金刚石(DLC) 复合过渡层 ANSYS 残余热应力 
类金刚石薄膜的残余应力调控研究进展
《中国表面工程》2024年第5期238-252,共15页杜乃洲 付志民 冯存傲 郭鹏 李晓伟 
国家自然科学基金(52175204);徐州市科技计划(KC21041);中国矿业大学材料科学与工程学科引导基金(CUMTMS202211);宁波市科技创新2025重大专项(2020Z023)。
类金刚石薄膜(Diamond-like carbon,DLC)由于其优异的性能而在诸多领域显示出广阔的应用前景。然而,DLC薄膜中存在的高残余应力,削弱了膜基结合力,导致薄膜开裂或剥落,严重限制了其使用寿命和可靠性,成为DLC薄膜研究领域中亟需解决的关...
关键词：类金刚石薄膜 残余应力 元素掺杂 过渡层 工艺参数 
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