类金刚石薄膜

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磁控溅射类金刚石薄膜耐磨润滑性的研究综述
《材料保护》2025年第4期30-39,共10页王建刚 范宇星 张欣 王玉江 罗伟 王磊 汪晶晶 
石家庄市重大科技专项(246081487A)。
类金刚石薄膜(Diamond-Like Carbon,DLC)因其优异的润滑耐磨性能在多个领域备受关注。本文系统综述了磁控溅射技术在DLC薄膜制备中的研究进展,重点探讨了工艺参数及元素掺杂对薄膜性能的调控机制。首先,分析了气体流量比、偏置电压和电...
关键词：耐磨润滑 类金刚石薄膜 磁控溅射 沉积条件 掺杂 
荷能离子作用对氧化铝颗粒表面类金刚石薄膜生长特性的影响
《西安交通大学学报》2025年第3期189-200,共12页安政杰 赵军平 艾志军 吴治诚 张乔根 
国家自然科学基金资助项目(U2066216)。
为掌握表面改性氧化铝颗粒的过程中颗粒表面类金刚石薄膜形貌的调控方法,基于空心阴极放电等离子体表面沉积系统,研究了不同形式的外施电压作用下,生长在氧化铝颗粒表面的类金刚石膜层的形貌特征及不同膜层形貌的形成机制。通过对在不...
关键词：类金刚石薄膜 空心阴极放电 外施电压作用 形貌特征 岛状结构 
TC4表面织构化DLC薄膜摩擦学特性研究
《表面技术》2025年第1期161-170,共10页崔坤杰 孙耀 陈祖亮 王涛 时礼平 李蒙 
国家自然科学基金(52205178);安徽高校协同创新项目(GXXT-2023-022);芜湖市科技计划项目(2023jc02);安徽省自然科学基金项目(2108085ME174,2108085QE228)。
目的研究TC4钛合金基体表面织构设计对类金刚石薄膜(DLC)的摩擦学性能影响。方法利用激光加工和物理气相沉积组合技术,在TC4钛合金表面制备凹坑织构阵列与DLC薄膜的复合结构,研究其在甘油溶液下的协同摩擦学性能。通过微观划痕和纳米压...
关键词：TI-6AL-4V 类金刚石薄膜 表面织构 复合处理 力学行为 摩擦磨损性能 
聚酰亚胺柔性基底红外隔热和保护膜的制备及性能分析
《吉林大学学报（理学版）》2024年第6期1464-1470,共7页李卓霖 杨金也 付秀华 张静 董所涛 韩阳 
国家自然科学基金(批准号:11973040);中山市引进创新团队项目(批准号:CXTD2023008).
针对聚酰亚胺具有抗高温、易弯折可贴敷、良好的机械延展性和拉伸强度等特性,在125μm厚的柔性聚酰亚胺材料上制备红外隔热和保护膜.在制备过程中,通过对离子源的能量调控可提高柔性基底表面膜层的附着力,根据最小二乘法原理构建薄膜材...
关键词：红外薄膜 聚酰亚胺 柔性基底 类金刚石薄膜 制备工艺 
聚醚醚酮表面W掺杂类金刚石薄膜结构及其摩擦性能
《中国表面工程》2024年第6期271-282,共12页崔丽 邱慧 周小卉 朱邵超 郭鹏 陈仁德 汪爱英 西村一仁 
国家自然科学基金(U20A20296,52127803);宁波市重点研发计划(2023Z021);宁波市高新区重大技术创新项目(2021CCX050003)。
聚醚醚酮(PEEK)广泛应用于航空航天领域,因其本征粘弹性和低硬度,PEEK极易发生磨损失效。为解决此难题,一般采用表面沉积类金刚石(DLC)薄膜的方法。利用线性离子束复合直流磁控溅射技术,调控Ar/C_(2)H_(2)气流比(68/12~62/18),在PEEK表...
关键词：聚醚醚酮(PEEK) 类金刚石薄膜 金属掺杂 微观结构 摩擦性能 
类金刚石薄膜的残余应力调控研究进展
《中国表面工程》2024年第5期238-252,共15页杜乃洲 付志民 冯存傲 郭鹏 李晓伟 
国家自然科学基金(52175204);徐州市科技计划(KC21041);中国矿业大学材料科学与工程学科引导基金(CUMTMS202211);宁波市科技创新2025重大专项(2020Z023)。
类金刚石薄膜(Diamond-like carbon,DLC)由于其优异的性能而在诸多领域显示出广阔的应用前景。然而,DLC薄膜中存在的高残余应力,削弱了膜基结合力,导致薄膜开裂或剥落,严重限制了其使用寿命和可靠性,成为DLC薄膜研究领域中亟需解决的关...
关键词：类金刚石薄膜 残余应力 元素掺杂 过渡层 工艺参数 
Ti掺杂类金刚石薄膜的制备及其高温摩擦学性能研究
《润滑与密封》2024年第10期44-54,共11页刘怡飞 李助军 陈泽达 苏峰华 
国家自然科学基金项目(52175168);2020年度普通高校重点科研项目(2020ZDZX2089);广州市基础研究计划基础与应用基础研究项目(202201011595);广东省自然科学基金项目(2022B1515250003);173项目(2021-JJ-0175)。
为探究金属Ti掺杂DLC薄膜在高温环境下的摩擦磨损行为,通过射频磁控溅射和直流磁控溅射混合的沉积系统制备不同Ti含量的Ti-DLC薄膜,利用SEM、XRD、Raman、纳米压痕和摩擦试验机等分析Ti含量对Ti-DLC薄膜的微观结构、力学性能及不同温度...
关键词：类金刚石薄膜 磁控溅射 元素掺杂 力学性能 高温摩擦 
类金刚石薄膜的摩擦腐蚀性能研究进展
《真空与低温》2024年第5期512-521,共10页杨景圆 刘黎 陈丽 
国家自然科学基金(52265026)。
类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)碳膜具有硬度高、摩擦系数低、磨损率低、耐腐蚀性强等特点,自80年代以来备受关注,现已得到了广泛应用。但其摩擦腐蚀性能受微观结构、组分和环境介质影响较大,限制了实际应用范围。讨论了氢含量、掺...
关键词：类金刚石薄膜 摩擦腐蚀 微观结构 环境介质 
钽掺杂含量对类金刚石薄膜力学性能及生物相容性的影响
《表面技术》2024年第20期208-222,共15页李东昕 王静静 宓保森 马迅 陈天驹 刘平 李伟 
国家自然科学基金(51971148)。
目的探索钽(Ta)掺杂类金刚石(DLC)薄膜的结构转变规律,并提升其力学性能、摩擦性能及生物相容性能。方法采用非平衡性磁控溅射镀膜技术,在0~0.5 kW功率下,制备了不同Ta掺杂含量的DLC薄膜。对其微观形貌、组织成分、摩擦性能、力学性能...
关键词：类金刚石薄膜 磁控溅射 钽掺杂 摩擦磨损性能 生物相容性 
玻璃表面化学蚀刻增强基板上类金刚石薄膜的结合力与透光率
《材料科学与工程学报》2024年第5期764-772,共9页刘源 熊春荣 贺建雄 周咏柳 姜宏 宋辉 
海南省重大科技计划项目(ZDKJ2021043);国家自然科学基金联合基金项目(U22A20124)。
本研究采用一种新方法来改善类金刚石(DLC)薄膜在玻璃表面结合力弱的问题。首先通过反胶束微乳液刻蚀法在玻璃表面蚀刻出致密连续的微米凹坑,然后采用磁控溅射依次镀制SiO_(2)、SiOC过渡膜及DLC膜。由于薄膜物质嵌在连续的微米凹坑里形...
关键词：反胶束微乳液 微米坑 DLC薄膜 磁控溅射 膜基结合力 可见光透光率 
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