DLC薄膜

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PIAD成膜法的智能DLC薄膜——在燃料电池金属双极板领域的应用
《真空》2025年第2期68-76,共9页绪方洁 铃木泰雄 毕婷婷 
介绍了等离子注入成膜(PIAD)方式的原理和特征,即通过高频放电使原料气体离化而生成离子,然后将其注入到施有高压脉冲电压的基材中。描述了用PIAD方式成膜的类金刚石(DLC)薄膜的特征和应用案例,结果表明PIAD方式可以通过脉冲电压和其他...
关键词：DLC膜 燃料电池 金属双极板 薄膜涂层 
HiPIMS制备Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层对DLC薄膜结构及性能的影响
《表面技术》2025年第1期62-73,共12页滑利强 苏峰华 李吉 林松盛 
国家自然科学基金(52175168);广东省基础与应用基础研究基金(2023A1515240006)。
目的探究高功率脉冲磁控溅射功率制备Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层对DLC薄膜性能的影响,以制备具有优良结合强度、摩擦磨损性能和耐腐蚀性能的DLC薄膜。方法利用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)和直流磁控溅射(DCMS)在304不锈钢和YG6硬质合金...
关键词：HIPIMS DLC薄膜 摩擦学性能 过渡层 耐磨性 耐腐蚀性能 
TC4表面织构化DLC薄膜摩擦学特性研究
《表面技术》2025年第1期161-170,共10页崔坤杰 孙耀 陈祖亮 王涛 时礼平 李蒙 
国家自然科学基金(52205178);安徽高校协同创新项目(GXXT-2023-022);芜湖市科技计划项目(2023jc02);安徽省自然科学基金项目(2108085ME174,2108085QE228)。
目的研究TC4钛合金基体表面织构设计对类金刚石薄膜(DLC)的摩擦学性能影响。方法利用激光加工和物理气相沉积组合技术,在TC4钛合金表面制备凹坑织构阵列与DLC薄膜的复合结构,研究其在甘油溶液下的协同摩擦学性能。通过微观划痕和纳米压...
关键词：TI-6AL-4V 类金刚石薄膜 表面织构 复合处理 力学行为 摩擦磨损性能 
元素掺杂DLC薄膜在模拟油气田溶液中的耐蚀与耐磨性
《表面技术》2024年第11期35-44,共10页刘政宇 丛浩宇 牟成龙 曹学乾 张广安 薛群基 
国家自然科学基金区域创新发展联合基金(U21A20127);国家自然科学基金面上项目(52275221)。
目的沉积出在含有泥沙的模拟油气田溶液中具有优异耐蚀性与耐磨性的类金刚石碳基(DLC)薄膜来对油气开采时的管道进行保护。方法通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在SS304方形试样表面沉积H-DLC、F-HDLC、N-HDLC及Si-HDLC,通过电...
关键词：油气田 管道保护 DLC 耐蚀性 耐磨性 泥沙磨损 
油润滑下水含量对DLC薄膜摩擦学性能的影响
《材料保护》2024年第11期118-126,165,共10页马仲哲 耿中荣 王福 陈琳 
类金刚石(DLC)薄膜已被广泛应用于发动机核心部件的摩擦学防护。为了研究在发动机运行工况下水含量对DLC薄膜摩擦学性能的影响,本研究以水-PAO6混合乳液为润滑剂,考察了发动机中广泛使用的2种DLC薄膜(a-C薄膜和a-C:H薄膜)在不同温度下...
关键词：DLC薄膜 油水混合乳液 摩擦磨损性能 摩擦化学反应 
DLC薄膜在硼酸介质中的腐蚀和摩擦行为研究
《摩擦学学报(中英文)》2024年第11期1579-1591,共13页于博 吴有智 蒋成燕 王鹏 赵晓宇 张贝贝 严云峰 袁航空 柴利强 
国家重点研发项目(2022YFB3809000);国家自然科学基金项目(52005483,52205235);甘肃省青年科技基金项目(20JR10RA058);LICP青年创新联盟合作基金项目(HZJJ22-04)资助。
采用磁控溅射(MS)沉积技术在0Cr17Ni4Cu4Nb不锈钢(简称17-4 SS)基底上制备了DLC薄膜,利用电化学工作站对类金刚石薄膜(简称DLC薄膜)在不同浓度的硼酸介质下进行极化曲线测试,评判薄膜在硼酸溶液中的耐腐蚀性能.利用球盘式摩擦磨损试验机...
关键词：DLC薄膜 硼酸介质 电化学腐蚀 摩擦磨损 润滑 
化学气相沉积Cr/DLC薄膜对Mg-Gd-Y合金耐蚀性能的改善
《材料保护》2024年第10期126-133,共8页何明格 刘文博 杨柳青 贺秋云 张明友 袁艺绮 杨川琴 何博 
Mg-Gd-Y合金作为一种优秀工程材料在石油天然气勘探开发中具有广泛应用。为了改善其在井下工作服役时的耐蚀性能,研究了以Cr为过渡层的类金刚石薄膜(DLC)对Mg-Gd-Y合金耐蚀性能的影响。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了以C...
关键词：镁合金 Cr/DLC膜层 耐蚀性能 PECVD 
玻璃表面化学蚀刻增强基板上类金刚石薄膜的结合力与透光率
《材料科学与工程学报》2024年第5期764-772,共9页刘源 熊春荣 贺建雄 周咏柳 姜宏 宋辉 
海南省重大科技计划项目(ZDKJ2021043);国家自然科学基金联合基金项目(U22A20124)。
本研究采用一种新方法来改善类金刚石(DLC)薄膜在玻璃表面结合力弱的问题。首先通过反胶束微乳液刻蚀法在玻璃表面蚀刻出致密连续的微米凹坑,然后采用磁控溅射依次镀制SiO_(2)、SiOC过渡膜及DLC膜。由于薄膜物质嵌在连续的微米凹坑里形...
关键词：反胶束微乳液 微米坑 DLC薄膜 磁控溅射 膜基结合力 可见光透光率 
N掺杂对Si-DLC薄膜的结构性能影响及摩擦机理研究
《摩擦学学报（中英文）》2024年第9期1266-1282,共17页魏徐兵 冯海燕 尹萍妹 陈赞 丁佳晴 卢诗琪 杜乃洲 李晓伟 张广安 
国家自然科学基金项目(52305237);中央高校基本科研业务费专项资金(2023QN1036);江苏省卓越博士后计划项目(2022ZB522);徐州市科技计划项目(KC21041)资助。
采用平板阴极等离子体增强化学气相沉积技术,通过调控N_(2)流量在GCr15基底上制备了系列硅氮共掺杂类金刚石碳基(Si/N-DLC)薄膜,分析探索N掺杂对于Si-DLC薄膜结构、力学性能和摩擦学行为的作用规律以及Si/NDLC薄膜的低摩擦磨损机理.结...
关键词：Si/N-DLC薄膜 摩擦磨损 润滑机理 GLC转移膜 滑动界面 
Ti-DLC薄膜压阻性能及载流子输运行为研究
《无机材料学报》2024年第8期879-886,I0001,I0002,共10页赵志翰 郭鹏 魏菁 崔丽 刘山泽 张文龙 陈仁德 汪爱英 
宁波市科技创新2025重大专项(2020Z023);国家自然科学基金(U20A20296,52205237);宁波市高新区重大技术创新项目(2021CCX050003)。
围绕压阻传感器领域对高性能类金刚石(Diamond Like Carbon,DLC)薄膜压阻敏感材料的需求,针对金属掺杂DLC存在的载流子输运行为和实际多工况(如温度、湿度等)下压阻性能不明的问题,本工作以Ti-石墨复合拼接靶为靶材,采用高功率脉冲磁控...
关键词：Ti掺杂 类金刚石薄膜 电学性能 可变湿度 压阻行为 
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