HIPIMS

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相关领域:金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者:汪爱英田修波巩春志李刘合柯培玲更多>>
相关机构:哈尔滨工业大学中国科学院宁波材料技术与工程研究所北京印刷学院广东工业大学更多>>
相关期刊:《Journal of Materials Science & Technology》《中国表面工程》《材料热处理学报》《哈尔滨工业大学学报》更多>>
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HiPIMS溅射AlCrN涂层结构对抗铝黏着性能的影响
《中国表面工程》2025年第1期216-227,共12页秦亚东 高方圆 许亿 夏原 
国家重点研发计划(022YFB3404203);吉林省、长春市重大科技专项(20210301017GX)。
一体化压铸模具在汽车产业轻量化和节能环保政策的背景下应时而生,在服役过程中受到高温、高速铝液冷热交替作用,传统的表面处理技术不能满足如此苛刻的服役条件,采用Hi PIMS技术制备Al Cr N涂层是提升一体化压铸模具表面抗铝黏着性能...
关键词:HIPIMS AlCrN涂层 氮氩流量比 光学发射光谱 铝液腐蚀 
HiPIMS制备Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层对DLC薄膜结构及性能的影响
《表面技术》2025年第1期62-73,共12页滑利强 苏峰华 李吉 林松盛 
国家自然科学基金(52175168);广东省基础与应用基础研究基金(2023A1515240006)。
目的探究高功率脉冲磁控溅射功率制备Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层对DLC薄膜性能的影响,以制备具有优良结合强度、摩擦磨损性能和耐腐蚀性能的DLC薄膜。方法利用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)和直流磁控溅射(DCMS)在304不锈钢和YG6硬质合金...
关键词:HIPIMS DLC薄膜 摩擦学性能 过渡层 耐磨性 耐腐蚀性能 
偏压对AEG辅助离子渗氮+HiPIMS沉积TiAlSiN涂层组织和力学性能的影响
《材料热处理学报》2025年第1期154-163,共10页曾琨 成永健 李志荣 胡树兵 罗志明 刘纪元 
国家科技重大专项(2024ZD14047-05);国家重点研发计划(2020YFB2010304)。
采用AEG(Arc electronic generator)弧光电子发生器辅助渗氮技术在H13(4Cr5MoSiV1)钢表面进行真空离子渗氮,通过X射线衍射仪、扫描电镜和维氏硬度计分析了偏压对渗氮层的微观组织和性能的影响。结果表明:渗氮层的物相主要为含氮马氏体α...
关键词:离子渗氮 AEG 偏压 HIPIMS TiAlSiN 力学性能 
氧等离子体处理对HiPIMS制备Cr涂层耐蚀性能的影响
《中国表面工程》2024年第6期236-246,共11页张美琪 董宇峰 程勇 谭诗瑶 王丽 王应泉 柯培玲 王振玉 汪爱英 
宁波市科技计划项目(2023QL049,2023Z110);中国科学院青年创新促进会会员(2023312)。
金属Cr涂层因抗氧化、耐腐蚀、抗磨损、色泽明亮等,在严苛环境防护和功能装饰领域应用广泛。但物理气相沉积(PVD)技术沉积的Cr涂层多以贯穿性柱状晶生长,耐腐蚀性能差,是科学界与产业界共同关注的难点挑战。与现有异质多层结构优化不同...
关键词:Cr涂层 高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS) 盐雾腐蚀 电化学腐蚀 
Cr掺杂对MoN涂层力学及摩擦学性能的影响
《中国表面工程》2024年第6期297-310,共14页程勇 王振玉 王振东 毕健浩男 张美琪 柯培玲 汪爱英 
国家自然科学基金(U22A20111,52171090);宁波市科技计划项目(2023QL049,2022Z011,2023Z022)。
优异的力学和摩擦学性能使MoN涂层在箔片空气轴承防护上应用潜力较大,但MoO_(3)在500℃以上环境下的强挥发性严重影响了其服役寿命。Cr元素掺杂在提高MoN涂层抗氧化性能方面优势显著,然而Cr元素掺杂对MoN涂层的力学性能、组织结构和中...
关键词:MoCrN涂层 高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS) 微观组织 力学性能 摩擦学性能 
晶面取向对TiN涂层导电性能的影响研究
《表面技术》2024年第24期197-205,共9页赵蒙 周晖 何延春 张凯锋 贵宾华 汪科良 蒋钊 
甘肃省青年科技基金资助项目(22JR5RA786);甘肃省自然科学基金资助项目(23JRRA1353)。
目的TiN涂层的晶面择优生长取向对其性能有显著影响,当前TiN涂层晶面取向对其导电性能的影响机理尚未明确。因此,将模拟计算与实验研究相结合,开展晶面取向对涂层导电性能影响的研究。方法采用第一性原理计算研究了晶面取向对TiN表面能...
关键词:质子交换膜燃料电池 双极板 TIN涂层 HIPIMS 晶面取向 导电性能 
Influence of Microstructure and Stress State on Service Performance of TiN Coatings Deposited by Dual-Stage HIPIMS
《稀有金属材料与工程》2024年第12期3299-3305,共7页Hao Juan Wang Baichuan Ding Yuhang Yang Chao Jiang Bailing Wang Ziyi Wang Donghong Dong Dan 
Xi'an Science and Technology Plan Project(23GXFW0055);Shaanxi Provincial Natural Science Basic Research Program Project(2024JC-YBQN-0525);National Natural Science Foundation of China(52001251)。
TiN coatings were prepared by the novel dual-stage high power impulse magnetron sputtering(HIPIMS)technique under different deposition time conditions,and the effects of microstructure and stress state at different co...
关键词:dual-stage HIPIMS TiN coatings STRESS service performance 
退火温度对HiPIMS沉积铂热电阻薄膜TCR系数的影响
《传感器世界》2024年第10期1-6,共6页何晓韬 罗筠龙 潘子常 王启民 吴正涛 
传统直流磁控溅射(DC Magnetron Sputtering,DCMS)沉积金属薄膜时离化率较低,随着薄膜科学技术以及市场对薄膜材料质量的需求提高,对材料沉积时的离化率要求也更加高。高功率脉冲磁控溅射(High Power Impulse Magnetron Sputtering,HiPI...
关键词:HIPIMS 铂薄膜 热电阻 电阻温度系数 
HiPIMS制备Cr/CrCN多层涂层的结构及耐腐蚀性能研究
《材料保护》2024年第7期43-51,共9页谭诗瑶 王丽 张美琪 王振玉 王应泉 汪爱英 柯培玲 
宁波市重点研发计划(2023Z110,2022Z011,2023Z022)。
PVD方法沉积的Cr涂层因耐腐蚀性能较差而难以大规模应用,利用复合多层膜层结构设计能打断贯穿性柱状晶生长,减小孔隙率,提高PVD沉积Cr涂层的耐蚀性。采用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)耦合同步脉冲偏压技术,在316L不锈钢基体表面沉积Cr/C...
关键词:Cr/CrCN HIPIMS 复合多层涂层 耐腐蚀性 
偏压对HiPIMS制备TiAlSiN涂层结构与性能的影响
《材料保护》2024年第7期30-42,共13页杜建融 陶冠羽 陈辉 易娟 万洪 刘书洋 张钰 
装备制造基础通用国际标准研究(2021YFF0601702);湖北省重点研发计划项目(2021BAA210);国家自然科学基金面上基金项目(52175182);湖北省自然科学基金计划项目(2022CFB936)。
为了探究偏压对高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)制备TiAlSiN涂层的成分结构、力学性能与摩擦学性能的影响与机制,利用HiPIMS技术,通过调控基体偏压(0~-200 V)在YG8硬质合金与N型单晶(111)Si上沉积TiAlSiN涂层。采用扫描电子显微镜(SEM)、X...
关键词:TiAlSiN涂层 高功率脉冲磁控溅射 基体偏压 微观结构 力学性能 
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