类金刚石碳膜

作品数：149被引量：379H指数：10
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氩气流量对射频CVD法沉积类金刚石碳薄膜的影响
《超硬材料工程》2024年第6期11-16,共6页汤黎辉 肖长江 任瑛 张群飞 郑皓宇 栗正新 
工信部高质量发展专项(203ZS20230005);河南省重大科技专项高端超硬材料制品关键技术研究及产业化(221100230100)。
文章采用射频CVD沉积法,以甲烷和氢气为反应物,在硅(111)基底上沉积类金刚石碳薄膜,分析不同氩气流量对类金刚石碳薄膜性能的影响。利用激光拉曼光谱仪对类金刚石碳薄膜的结构特征进行分析,发现在1400~1700 cm^(-1)区间,有一个明显的宽G...
关键词：等离子增强化学气相沉积 类金刚石碳膜 拉曼光谱 
类金刚石碳膜导电材料设计与制备工艺技术研究
《传感器与微系统》2024年第8期60-63,共4页李涛 胡宇涵 徐冬 尹思淇 杨思远 
当传感器工作时,电刷与电阻体始终处于滑动接触和摩擦的状态,长期工作会导致涂覆的电阻薄膜磨损严重,直接影响传感器的使用寿命。为了提高传感器的可靠性,增强传感器电阻敏感元件的耐磨性,本文提出了一种类金刚石碳(DLC)膜导电材料设计...
关键词：传感器 工艺 双靶共溅射 类金刚石碳膜 氧化铝陶瓷 
磨料条件下DLC复合微织构表面的磨损机理被引量：2
《中国表面工程》2023年第6期100-107,共8页李星亮 岳文 康嘉杰 孟德忠 王成彪 
中国航空工业集团有限公司应用创新技术群(625012004);国家自然科学基金(51875537)资助项目。
钛及其合金具有优良的性能被广泛应用于武器装备领域,但在磨料条件下易黏着、不耐磨的特性限制了其使用。为了提高钛在磨料作用下的减摩抗磨性能,以TA2钛为研究对象,使用激光加工技术在TA2样品表面上制备点阵微织构,然后采用磁控溅射技...
关键词：磨料磨损 钛 微织构 类金刚石碳膜 磨损机理 
低电压电沉积类金刚石碳膜的研究被引量：1
《电化学》2022年第6期62-69,共8页王历 吴敏娴 李珺 陈艳丽 王文昌 陈智栋 
国家自然基金项目(No.51874050);常州市科技项目(No.CJ20210139,No.CZ20200038)资助
采用电化学沉积法,在较低电压下(4.0~8.0 V)以甲酸作为主要碳源,甲酸钠作为辅助碳源,二甲基亚砜与去离子水作为溶剂,在不锈钢表面制备了类金刚石碳薄膜,研究了沉积电压对碳膜形貌和成分的影响。电化学沉积含氢类金刚石碳薄膜致密、均匀...
关键词：低电压 电化学沉积 类金刚石碳膜 不锈钢 二甲基亚砜 
利用PECVD快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术被引量：2
《真空与低温》2020年第5期402-409,共8页魏徐兵 尚伦霖 鲁志斌 张广安 
国家基金委青年科学基金(11905273)。
汽车发动机、管道防腐蚀、航空航天领域的特殊应用要求类金刚石碳(DLC)膜的厚度达到10~50μm。虽然DLC膜层越厚,其耐磨耐腐蚀等性能越好,但内应力也随之增大,制备难度增加。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是制备DLC薄膜的主要手段之一...
关键词：等离子体增强化学气相沉积 超厚类金刚石碳膜 快速沉积 耐磨损 耐腐蚀 
磁控溅射WSx/W/DLC/W多层膜的微观结构及摩擦学性能被引量：8
《稀有金属材料与工程》2020年第4期1295-1300,共6页郑晓华 刘涛 杨烁妍 王贡启 杨芳儿 
浙江省自然科学基金(LY15E010007)。
采用磁控溅射技术在硅基底上交替沉积WSx、W以及DLC膜层制备WSx/W/DLC/W多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪等对多层膜的微观结构和力学性能进行了表征,使用球盘式摩擦磨损试验机测试了多层膜在大气中的摩擦学性能。结果表...
关键词：WS_x 类金刚石碳膜 W 多层膜 摩擦磨损 
DLC层厚度对CN_x/DLC多层膜结构及摩擦学性能的影响被引量：3
《硅酸盐学报》2019年第1期62-70,共9页杨芳儿 龚润泽 王贡启 杨烁妍 常新新 郑晓华 
浙江省自然科学基金资助项目(LY15E010007)
采用直流磁控溅射法在硅基底上交替沉积类金刚石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制备了不同DLC层厚度的CNx/DLC纳米多层膜。使用X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、X射线光电子谱、Raman光谱等测试手段表征了薄膜的微观组织形貌、化学成分和...
关键词：类金刚石碳膜 氮化碳薄膜 多层膜 硬度 耐磨性 
元素掺杂类金刚石碳膜降内应力研究综述被引量：10
《表面技术》2018年第6期95-103,共9页孙德恩 董洪铭 Sam Zhang 张晓民 
国家自然科学基金项目(51771037,51671153); 重庆市基础与前沿研究计划项目(cstc2015jcyj A70005); 材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金(2016CL13)~~
我国汽车行业与国际同行的差距主要在于发动机关键零部件的摩擦磨损。类金刚石(DLC)碳膜技术是解决发动机关键零部件摩擦磨损问题的有效途径,但传统的DLC碳膜在制备过程中会产生较高的内应力(可达10GPa),从而导致薄膜失效。首先分析了DL...
关键词：内应力 元素掺杂 类金刚石碳膜 纳米复合薄膜 摩擦学性能 
边缘修形织构化N、Si共掺杂类金刚石碳膜在空气中的摩擦磨损性能被引量：2
《上海交通大学学报》2018年第5期554-560,共7页吴行阳 葛宙 阮敬杰 杨义 牛浩之 陈腾 张建华 
采用激光加工和抛光方法,在镜面抛光的4Cr13不锈钢基板上制备了凸起面积密度分别为35%、44%和58%的边缘未修形和边缘经圆滑修形处理的圆柱凸起织构,并采用溅射和射频化学气相法在织构表面沉积N、Si共掺杂类金刚石碳(N-Si-DLC)膜;采用球...
关键词：类金刚石碳膜 边缘修形 织构 自润滑 接触应力 
多轮廓型腔结构件磁控溅射类金刚石碳膜附着机理研究
《精密制造与自动化》2017年第4期13-15,19,共4页王德山 胡兵兵 徐汇音 李奇亮 李卫国 
江苏省基础研究计划(自然科学基金)面上项目编号:BK20151220
多轮廓型腔结构件具有复杂的内腔,普通镀膜方法对工件内腔镀膜过程中存在膜基结合力差、靶材利用率低、薄膜厚度不均匀致密、内腔死角无法镀膜等诸多问题。针对这些问题,研究采用多靶头旋转式柱状磁控溅射靶,在镀膜机的不同位置安装多...
关键词：多轮廓型腔 磁控溅射 薄膜均匀性 DLC薄膜 附着机理 
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