云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 等离子体增强化学气相沉积

等离子体增强化学气相沉积: 作品数：201被引量：427H指数：8; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：亓钧雷冯吉才姜礼华肖婷向鹏更多>>; 相关机构：哈尔滨工业大学中国科学院浙江大学西安交通大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划辽宁省自然科学基金更多>>

氧气流量对等离子体增强化学气相沉积硅氧烷涂层的防原子氧性能的影响: 《硅酸盐学报》2025年第1期1-9,共9页王虎王兰喜周晖李学磊杨淼李坤倪壮李中华王志民左华平何延春; 国家重点研发计划(2022YFB3806300)。; 低轨环境下的原子氧是造成聚酰亚胺薄膜被剥蚀失效的关键因素,硅氧烷涂层是对聚酰亚胺薄膜进行空间原子氧防护的重要手段。利用等离子体增强化学气相沉积的方法在聚酰亚胺薄膜基材上在不同氧气流量下制备了硅氧烷涂层,研究了氧气流量对...; 关键词：氧气流量等离子体增强化学气相沉积硅氧烷涂层防原子氧

压强对HfO_(2)薄膜表面石墨烯合成的影响研究: 《稀有金属与硬质合金》2024年第6期75-81,共7页武海进王伟杨玉帅樊瑞祥; 河北省自然科学基金项目(F2019202377)。; 采用真空电子束蒸镀工艺制备HfO_(2)高K介质薄膜,并在HfO_(2)衬底表面使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺无转移制备石墨烯。通过GIXRD、AFM、阻抗分析仪和激光拉曼光谱仪等,研究了生长温度对HfO_(2)薄膜微观结构、表面形貌和介...; 关键词：HfO_(2) 石墨烯薄膜高K介质真空电子束蒸镀等离子体增强化学气相沉积生长温度压强

基于复合过渡层的DLC涂层残余热应力仿真分析: 《材料热处理学报》2024年第11期224-233,共10页黄珂顾德华邵思武乔自平李君安陈良贤刘金龙李成明魏俊俊; 利用ANSYS软件热固耦合模块对类金刚石(DLC)涂层的残余热应力进行有限元分析,模拟等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备DLC涂层从沉积温度150℃降温至22℃的过程,研究不同DLC厚度、过渡层(Cr、WC)结构及过渡层厚度对DLC涂层残余热应力...; 关键词：等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 类金刚石(DLC) 复合过渡层 ANSYS 残余热应力

CVD金刚石膜研究进展: 《真空科学与技术学报》2024年第10期841-852,共12页权乐; 江钻公司科研项目(JZ2022002-4)。; 金刚石由于其优异的声、光、电、热和力学性能,是重要的功能材料之一。金刚石的制备方法主要有高温高压方法和低压化学气相沉积方法。化学气相沉积法因制备得到的样品质量高、面积大,设备简单、可规模化等特性,是合成金刚石膜的重要方...; 关键词：金刚石膜化学气相沉积等离子体增强化学气相沉积热丝化学气相沉积燃烧火焰化学气相沉积

医用钛表面石墨烯薄膜的PECVD法制备及其性能: 《表面技术》2024年第8期156-162,190,共8页张宪明蔡丁森钱仕; 宁波市高层次人才和高端创业创新团队资助项目(2018A-09-C);国家自然科学基金面上项目(31971259)。; 目的在医用钛表面制备石墨烯薄膜,研究生长时间对石墨烯薄膜理化性能和生物学性能的影响。方法采用等离子体增强化学气相沉积设备,在医用钛表面制备石墨烯薄膜,控制石墨烯薄膜生长时间为5、10、30 min。通过拉曼光谱、扫描电子显微镜、...; 关键词：等离子体增强化学气相沉积医用钛石墨烯耐腐蚀性细胞相容性

异质a-C:H/a-C:H:F配副的摩擦学行为研究被引量：2: 《表面技术》2024年第7期107-115,共9页唐诗琪邢朝阳王圆圆张俊彦张斌; 甘肃省重点研发计划国际合作专项(20YF8WA006)。; 目的研究F元素掺杂非晶碳基薄膜与a-C:H薄膜摩擦配副的摩擦学行为机制。方法利用PECVD法在Si基底上制备a-C:H:F薄膜,与直径为6.0mm的a-C:H薄膜摩擦对偶球组成摩擦配副体系,使用往复模式的CSMTRB3摩擦机研究a-C:H:F薄膜的摩擦学特性,频率...; 关键词：摩擦学性能 F元素掺杂改性类金刚石薄膜等离子体增强化学气相沉积

管式PECVD工艺对“SE+PERC”晶体硅太阳电池镀膜均匀性的影响及改善研究被引量：1: 《太阳能》2024年第6期41-50,共10页张福庆张若凡王贵梅胡明强张鹏程; 针对在“SE+PERC”晶体硅太阳电池制备过程中,采用管式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺沉积正面钝化介质膜后,硅片正面会出现角部发红色差,即镀膜均匀性异常的问题,通过实验,对硅片厚度、工器具状态、背面膜层结构、正面钝化介质...; 关键词：管式等离子体增强化学气相沉积 “SE+PERC”太阳电池硅片沉积工艺薄膜应力石墨舟射频功率色差

烧结NdFeB磁体表面Zn-Al/T8超疏水复合涂层的显微组织及耐蚀性: 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》2024年第5期1606-1617,共12页张晓虎罗军明徐吉林陈金黄俊马永存薛名山; National Natural Science Foundation of China(No.52161040);Major Science and Technology Research and Development Project of Jiangxi Province(No.20203ABC28W006);Natural Science Foundation of Jiangxi Province,China,(No.20202ACBL214011);Key Project of"Science and Technology to Promote Mongolian Development",China(No.XM2021BT03)。; 为提升烧结NdFeB磁体的耐蚀性,采用旋涂法和等离子体增强化学气相沉积技术在其表面制备Zn-Al/T8(2-全氟辛基乙基丙烯酸酯)超疏水复合涂层。结果表明,Zn-Al涂层主要由片层状的Zn和Al相组成,厚度大约为28μm。Zn-Al/T8复合涂层的接触角达...; 关键词：显微组织耐蚀性烧结NDFEB磁体 Zn-Al涂层超疏水表面旋涂法等离子体增强化学气相沉积

基于PECVD技术的石墨烯可控制备与应用:现状与展望被引量：4: 《科学通报》2024年第14期1893-1905,共13页郝朝旭王雪东何燕慈海娜; 国家自然科学基金(52202038);山东省自然科学基金(ZR2022QE081);山东省泰山学者项目(ts20190937)资助。; 石墨烯因其优异的物理/化学特性,在众多领域有着广泛的应用前景.为了推动石墨烯材料的实际应用,需要寻找稳定可靠、可扩展和低成本的石墨烯材料制备方法.等离子体增强化学气相沉积(plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD)...; 关键词：等离子体增强化学气相沉积二维石墨烯薄膜三维石墨烯纳米片储能散热光热转化

氮硅共掺对类金刚石薄膜组织及性能影响: 《辽宁科技大学学报》2024年第2期96-104,共9页金佳莹郭阳阳陈东旭周艳文; 国家自然科学基金资助项目(52371066);辽宁省教育厅项目(LJKZ0286)。; 为了研究不同掺杂元素对类金刚石(DLC)薄膜改性的协同影响,利用等离子体增强化学气相沉积技术在2024铝合金表面制备N、Si共掺的DLC薄膜,研究N_(2)与TMS流量比对N/Si-DLC薄膜结构和性能的影响规律及相应机制。结果表明,随着N_(2)与TMS流...; 关键词：2024铝合金类金刚石薄膜等离子体增强化学气相沉积元素掺杂

等离子体增强化学气相沉积