薄膜应力

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石英挠性加速度计摆片纳米级应变原位测量
《清华大学学报(自然科学版)》2025年第2期376-384,共9页王之昂 尹文浩 李慧 周述军 赵乾 孟永钢 邵天敏 
国家重点研发计划项目(2023YFB3811400);国家自然科学基金面上项目(52273296)。
石英摆片两侧金镀膜的应力及其对称性直接影响石英挠性加速度计的零位和精度,应力分布的建模仿真与原位测量表征显得尤为重要。该文建立了石英摆片的有限元模型,计算了石英摆片的基本模态,分析了石英摆片两侧应力差值对摆片变形及电容...
关键词：石英挠性加速度计 摆片变形测量 薄膜应力 
基于ANSYS的罐式集装箱结构性能分析
《机械工程与自动化》2024年第5期72-74,77,共4页张正国 瞿绘军 訾云龙 夏欣 韦源源 
江苏省科技项目(BZ2022048)。
罐式集装箱在众多工程行业都有着广泛应用。以某罐式集装箱作为研究对象,利用三维建模软件搭建该罐式集装箱的整体模型,并对其主要分析结构进行简化,再将其导入到有限元分析软件ANSYS中基于已确定的典型工况对其进行结构静力学分析。基...
关键词：罐式集装箱 有限元分析 结构应力分析 薄膜应力 
管式PECVD工艺对“SE+PERC”晶体硅太阳电池镀膜均匀性的影响及改善研究被引量：1
《太阳能》2024年第6期41-50,共10页张福庆 张若凡 王贵梅 胡明强 张鹏程 
针对在“SE+PERC”晶体硅太阳电池制备过程中,采用管式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺沉积正面钝化介质膜后,硅片正面会出现角部发红色差,即镀膜均匀性异常的问题,通过实验,对硅片厚度、工器具状态、背面膜层结构、正面钝化介质...
关键词：管式等离子体增强化学气相沉积 “SE+PERC”太阳电池 硅片 沉积工艺 薄膜应力 石墨舟 射频功率 色差 
锑掺杂对柔性Cu_(2)ZnSn(S,Se)_(4)薄膜应力及其太阳电池性能的影响
《半导体技术》2024年第6期531-537,共7页孙雨豪 陈春阳 杨帅博 俞乐 黄海斌 檀仔航 孙孪鸿 
国家自然科学基金(62304093);中国博士后科学基金(2022M722339);江苏省大学创新创业训练计划项目(202313573037Z)。
Cu_(2)ZnSn(S,Se)_(4)(CZTSSe)薄膜中的应力是影响其柔性太阳电池弯曲稳定性的重要因素。采用电子束蒸发法在Cu_(2)ZnSnS_(4)(CZTS)金属预制层中蒸发不同厚度(20、40、60、80 nm)的Sb薄膜,并结合后硒化的方法对CZTSSe薄膜进行Sb掺杂。...
关键词：CZTSSe薄膜太阳电池 Sb掺杂 残余应力 光电转换效率(PCE) 弯曲稳定性 
深紫外高陡度滤光膜的研制
《光学学报》2024年第7期252-260,共9页蔡元浩 付秀华 林兆文 王奔 黄卓彬 潘永刚 董所涛 付广元 
国家自然科学基金(11973040);中山市社会公益科技研究项目(2022B2005);长春市激光智造与检测装备科技创新中心长科技合项目(2014219)。
为抑制非相干光产生的干扰,提高紫外单色仪的分辨率,本文选择Al2O3、AlF3分别作为高、低折射率材料,在熔融石英基底上设计并制备了深紫外全介质高陡度滤光膜。通过优化沉积工艺及膜层应力分析方法,解决了薄膜应力过大所导致的膜裂问题;...
关键词：光学薄膜 紫外单色仪 深紫外滤光膜 高陡度 薄膜应力 
压力容器碟形封头焊接结构应力数值计算及安全评定被引量：1
《机械工程材料》2023年第12期93-97,共5页代文广 周广涛 余作恒 
福建省自然科学基金资助项目(2021J01299)。
采用埋弧焊焊接制备SA-240M 304不锈钢碟形封头,建立简易有限元模型,采用刚体面偏置约束模拟碟形封头在工况条件下的应力场,并对危险区域的Mises等效应力进行计算和安全评定。结果表明:有限元模拟得到碟形封头长圆孔右侧圆弧中间区域的M...
关键词：压力容器 碟形封头 应力线性化 薄膜应力 应力评定 
200 mm重掺As硅片上APCVD法沉积SiO_(2)薄膜应力的研究被引量：1
《稀有金属》2023年第6期834-842,共9页王海涛 张果虎 刘斌 王新 冯瑞琪 钟耕杭 
国家重点研发计划项目(2017YFB0305603)资助。
常压化学气相沉积(APCVD)方法生长的SiO_(2)薄膜沉积在硅抛光片背面用于防止自掺杂效应,也在一些电子器件制造中用于绝缘层材料,它具有无定型晶体的结构,薄膜中的孔隙结构和表面结构对薄膜的应力产生影响。本研究中对APCVD沉积的二氧化...
关键词：二氧化硅薄膜 无定型结构 薄膜应力 热处理 
金属基原位生成薄膜应力传感器及其性能研究
《传感器世界》2022年第10期15-19,35,共6页胡林 邹洪森 高纬栋 陈国伟 孙秉毅 刁心玺 
针对传统“贴片”箔式传感器粘胶传递形变滞后、敏感栅和基底协同形变不佳以及粘胶易老化蠕变等问题,研制了一种金属基原位生成的薄膜应力传感器。该传感器通过在金属结构钢表面逐步原位沉积NiCrAlY合金过渡层、AlO绝缘层、康铜薄膜电...
关键词：薄膜传感器 原位沉积 多层膜结构 箔式传感器 应变敏感系数 
MEMS器件用Cavity-SOI制备中的晶圆键合工艺研究
《传感器与微系统》2022年第3期58-61,共4页刘福民 杨静 梁德春 吴浩越 马骁 王学锋 
微机电系统(MEMS)器件用预埋腔体绝缘体上硅(Cavity-SOI)直接键合制备过程中,预埋腔体刻蚀后残余应力导致的衬底层变形会影响绝缘体上硅(SOI)晶圆的面形参数和键合质量。对衬底层残余应力变形与Cavity-SOI键合质量的关系进行了实验研究...
关键词：预埋腔体绝缘体上硅 Si-SiO_(2)直接键合 薄膜应力 
大口径空间相机反射镜高反膜研究进展被引量：1
《激光技术》2022年第1期143-148,共6页何世昆 王刚 白云立 张继友 周于鸣 王利 黄巧林 李晟 
大口径反射镜高反膜是大口径空间相机光学系统中的重要光学元件。为了观测到更多的目标、获取更多的地球以及空间观测信息,对大口径空间相机的反向射膜提出了更高要求,即要求有更宽的工作谱段和更高的反射率,还要提升基底光学性能,降低...
关键词：薄膜 高反膜 基底改性 空间环境 薄膜应力 
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