二氧化硅薄膜

作品数：155被引量：452H指数：11
导出分析报告
相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：杨德仁徐骏徐岭陆卫李伟更多>>
相关机构：中国科学院上海华力微电子有限公司浙江大学西安交通大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
乙烯醋酸乙烯酯/二氧化硅超疏水辐射降温薄膜的制备及性能被引量：1
《高分子材料科学与工程》2023年第9期121-134,共14页王慧迪 薛朝华 马超群 蒋子豪 吴永刚 邵仲阳 郭小静 
国家自然科学基金资助项目(52103263);陕西省重点研发计划国际科技合作重点项目(2023-GHZD-09);陕西省重点研发计划秦创原“科学家+工程师”队伍建设项目(2023KXJ-069);陕西省重点研发计划三项改革综合试点(2023GXLH-070);陕西省教育厅重点科学研究计划项目(22JY011)。
辐射降温材料通过在太阳光波段(0.3~2.5μm)反射太阳光并通过大气透明窗口波段(8~13μm)将热量辐射到寒冷的外太空以实现表面的自发降温,这是一种可持续发展的制冷方式。然而,材料在户外长期使用过程中会受到雨水冲刷或灰尘沾污而使降...
关键词：辐射降温 超疏水 乙烯醋酸乙烯酯/疏水二氧化硅薄膜 自清洁特性 
激光陀螺表面多层膜微结构表征与分析
《科学技术创新》2023年第22期215-220,共6页蔡海蕊 白满社 熊来飞 翟亮 夏晋 杨生春 
中国航空基金的支持(基金编号:20170870001)。
本文针对激光陀螺长期稳定性技术研制要求,通过透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、扫描透射电镜(STEM)、聚焦离子束刻蚀(FIB)、X射线光电子能谱(XPS)以及X射线能量散射谱(EDX)等微观结构和组分表征技术,对激光陀螺反射镜的微...
关键词：激光陀螺 微晶玻璃 二氧化钛薄膜 二氧化硅薄膜 
化工标准化动态
《化工生产与技术》2023年第3期47-48,共2页吴世清 
2022年1月以来实施的含硅系列标准(二)18)GB/T 40279-2021《硅片表面薄膜厚度的测试光学反射法》。规定了采用光学反射法测试硅片表面二氧化硅薄膜、多晶硅薄膜厚度的方法。适用于测试硅片表面生长的二氧化硅薄膜和多晶硅薄膜的厚度,也...
关键词：多晶硅薄膜 二氧化硅薄膜 化工标准化 光学反射 薄膜厚度 GB/T 硅片表面 半透明 
200 mm重掺As硅片上APCVD法沉积SiO_(2)薄膜应力的研究被引量：1
《稀有金属》2023年第6期834-842,共9页王海涛 张果虎 刘斌 王新 冯瑞琪 钟耕杭 
国家重点研发计划项目(2017YFB0305603)资助。
常压化学气相沉积(APCVD)方法生长的SiO_(2)薄膜沉积在硅抛光片背面用于防止自掺杂效应,也在一些电子器件制造中用于绝缘层材料,它具有无定型晶体的结构,薄膜中的孔隙结构和表面结构对薄膜的应力产生影响。本研究中对APCVD沉积的二氧化...
关键词：二氧化硅薄膜 无定型结构 薄膜应力 热处理 
TFT-IGZO工艺制程中TFT特性研究与改善
《光电子技术》2023年第2期173-176,共4页赵辉 华涛 王艳昌 
分析了IGZO-TFT器件的基本特性及电性不稳定性影响因素。对有源保护层薄膜性能与TFT电学特性的依存关系给出了合理解释,并通过实验验证优化了有源保护层制备手法,解决了因有源保护层SiO2致密性引起的TFT开关阈值电压左向偏移显示不良问...
关键词：薄膜晶体管 铟镓锌氧化物 电流电压特性曲线 二氧化硅薄膜 显示不良 
纤维表面沉积二氧化硅薄膜对纤维树脂复合物性能的影响
《口腔医学》2023年第3期197-203,共7页吕玮瑾 王月秋 陈虹 舒菲 张青红 刘梅 
国家自然科学基金青年项目(81701025);江苏省高校优势学科建设工程资助项目(2018⁃87);江苏省科教能力提升工程——江苏省研究型医院(YJXYYJSDW4);江苏省医学创新中心(CXZX202227)。
目的探究纤维表面原子层沉积二氧化硅薄膜对牙科纤维树脂复合物性能的影响。方法利用原子层沉积技术(atomic layer deposition,ALD)在石英纤维表面沉积二氧化硅薄膜,制作纤维树脂复合物,分为A(未去除浸润剂)、B(去除浸润剂)、C(去除浸润...
关键词：原子层沉积 纤维增强树脂复合物 力学性能 石英纤维 二氧化硅 
气体组分对大气压Ar/O_(2)/SiH_(4)放电影响的数值模拟研究
《真空科学与技术学报》2022年第12期952-961,共10页董晓天 刘相梅 
国家自然科学基金项目(11805107,12275039);黑龙江省省属高等学校基本科研业务费科研项目(135509124);齐齐哈尔大学研究生创新科研项目(YJSCX2021017)。
本文借助于二维流体力学模型对大气压下Ar/O_(2)/SiH_(4)放电进行了研究,重点关注了气体组分变化对前驱物粒子密度以及二氧化硅薄膜均匀性的影响。模拟结果表明:O_(2)含量在整个放电体系中起决定性作用。当SiH_(4)含量一定时,增加O_(2)...
关键词：气体组分 低温等离子体 数值模拟 二氧化硅薄膜 
碳化硅水泥基复合材料力学性能研究
《现代工业经济和信息化》2022年第9期250-251,253,共3页李佩枫 卢欢欢 
利用碳化硅颗粒在高温氧化气氛中表面生成一层致密的SiO_(2)薄膜,让SiO_(2)与水泥中的化合物发生水化物反应,生成类水产物C-S-H凝胶,既能对水泥强度做出贡献,又能使碳化硅颗粒锚定在水泥水化产物表面,并再次提升复合材料的力学性能。通...
关键词：碳化硅颗粒 二氧化硅薄膜 微观结构 复合材料 
二氧化硅薄膜中微纳球型结构对可见光吸收性能影响
《粘接》2022年第8期102-106,共5页张桐 刘孝丽 钟浩 周利成 张涵 
陕西省教育厅项目(项目编号:18JK0912)。
设计在单一玻璃结构中加入具有周期性空气球形微纳结构,从而逐层改变空气的折射率,达到类似传统的多层的抗反射薄膜性能,或者更优。运用FDTD软件对二氧化硅薄膜展开仿真模拟,探究二氧化硅薄膜中的微纳球型结构对可见光吸收性能的影响,利...
关键词：太阳能 二氧化硅 增透膜 微纳球型结构 
成膜温度对二氧化硅薄膜增强DBD臭氧发生的影响
《南昌大学学报（理科版）》2022年第1期85-90,共6页魏林生 李小浪 陈颖 章亚芳 
国家自然科学基金资助项目(51867018);江西省主要学科学术和技术带头人培养计划-领军人才项目(20204BCJ22016)。
通过实验方法研究了二氧化硅薄膜在不同成膜温度下对DBD臭氧发生的影响。同时采用热常数分析仪、比表面积测试仪、XPS分析了负载二氧化硅介质板在不同成膜温度下的导热系数、比表面积和表面羟基。实验结果表明,成膜温度会改变薄膜的比...
关键词：介质阻挡放电 臭氧 二氧化硅催化 成膜温度 
全选清除导出
共16页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部