化工标准化动态  

作　　者：吴世清 

机构地区：[1]不详

出　　处：《化工生产与技术》2023年第3期47-48,共2页Chemical Production and Technology

摘　　要：2022年1月以来实施的含硅系列标准(二)18)GB/T 40279-2021《硅片表面薄膜厚度的测试光学反射法》。规定了采用光学反射法测试硅片表面二氧化硅薄膜、多晶硅薄膜厚度的方法。适用于测试硅片表面生长的二氧化硅薄膜和多晶硅薄膜的厚度,也适用于所有光滑的、透明或半透明的。

关 键 词：多晶硅薄膜 二氧化硅薄膜 化工标准化 光学反射 薄膜厚度 GB/T 硅片表面 半透明 

分 类 号：TQ264.1[化学工程—有机化工] TQ127.2