赵乾

作品数：7被引量：9H指数：2
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发文主题：电极隐身图像增强晶圆涡流传感器更多>>
发文领域：文化科学自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
发文期刊：《表面工程与再制造》《清华大学学报（自然科学版）》《大学物理》《科学通报》更多>>
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石英挠性加速度计摆片纳米级应变原位测量
《清华大学学报(自然科学版)》2025年第2期376-384,共9页王之昂 尹文浩 李慧 周述军 赵乾 孟永钢 邵天敏 
国家重点研发计划项目(2023YFB3811400);国家自然科学基金面上项目(52273296)。
石英摆片两侧金镀膜的应力及其对称性直接影响石英挠性加速度计的零位和精度,应力分布的建模仿真与原位测量表征显得尤为重要。该文建立了石英摆片的有限元模型,计算了石英摆片的基本模态,分析了石英摆片两侧应力差值对摆片变形及电容...
关键词：石英挠性加速度计 摆片变形测量 薄膜应力 
单个铁氧体磨粒尺寸检测电磁仿真
《表面工程与再制造》2019年第3期28-31,共4页史航胜 赵乾 
提出了一种可在线检测润滑油磨粒尺寸的三线圈式传感器测量方法。由电磁耦合原理出发,结合Maxwell软件数值仿真研究了磨粒体积、位置、磁导率以及激励电源电压对输出的影响。结果表明:输出电压峰值与激励电压峰值成正比;在一定范围内,...
关键词：电磁检测 磨粒 传感器 
超材料的新应用：调控Casimir力
《科技导报》2016年第18期70-78,共9页叶颖琦 郭宏 赵乾 孟永钢 
国家自然科学基金项目(51575297,61275176);教育部“新世纪优秀人才计划”项目;摩擦学国家重点实验室自主研究课题(SKLT2014B02);流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金项目(GZKF-201509)
随着微机电系统(MEMS)的微型化,由Casimir吸引力导致的器件黏附失效极大影响了MEMS的应用,如何减小Casimir吸引力甚至将其转化为斥力成为该领域的研究热点。本文综述Casimir力的物理起源、理论计算方法、材料电磁参数的影响规律及电磁...
关键词：Casimir斥力 微机电系统 电磁超材料 外场调控 
磁控液晶双折射实验被引量：1
《大学物理》2014年第2期51-54,共4页朱昊 赵乾 李松旻 郭宏 孙利群 
利用特制磁控棱镜型液晶盒构建物理光学双折射实验系统,以分光仪为实验平台测量折射角,用于辅助光的偏振与晶体光学教学.实验现象直观明显,测量数据准确可靠.
关键词：液晶 双折射 实验 
晶圆表面金属薄膜的纳米精度在线测量方法与实现被引量：4
《中国基础科学》2013年第4期36-43,共8页赵乾 曲子濂 余强 路新春 孟永钢 
973计划(2009CB724207);02专项(2008ZX02104-1)
本文主要介绍了晶圆加工中的几何参数的纳米精度在线测量的原理、方法和测量仪器研究。针对化学机械抛光(CMP)中晶圆表面的金属膜厚的高精度快速在线和离线检测技术的要求,通过数值模拟和理论分析,研究了涡流传感器的参数对其灵敏度的...
关键词：涡流传感器 纳米精度金属薄膜厚度测量终点检测 化学机械抛光 
基于BST-MgO介质Mie谐振的各向同性负磁导率复合材料被引量：4
《科学通报》2008年第17期2016-2020,共5页赵乾 康雷 杜波 赵宏杰 谢芹 李勃 周济 李龙土 孟永钢 
国家自然科学基金(批准号:50425204;50632030;60608016;10774087);摩擦学国家重点实验室项目(编号:SKLT08B12)资助
由Mie谐振原理和有效媒质理论出发,设计并制备了一种具有各向同性负磁导率的介电复合材料.该介电复合材料由高介电常数的BST-MgO铁电陶瓷立方块颗粒均匀分散在低介电常数的聚四氟乙烯介质中而形成.微波测量和理论计算表明,该复合材料在...
关键词：左手材料 铁电陶瓷 负磁导率 磁谐振 Mie谐振 
陶瓷基负磁导率材料的制备和性能
《稀有金属材料与工程》2007年第A01期502-504,共3页杜波 赵乾 周济 李勃 
国家863计划(2003AA32G030);973计划(2002CB61306);中国博士后科学基金(20060390043);国家自然科学基金(50425204;90401012和60608016)
设计并制备了由开口谐振环(split ring resonators)周期性排列而成的陶瓷基负磁导率材料,采用微波波导法研究了陶瓷基板对负磁导率材料电磁谐振行为的影响。实验结果表明:负磁导率材料的谐振频率可由陶瓷基板介电常数调节,并且随陶瓷基...
关键词：左手材料 负磁导率 开口环 陶瓷基板 
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