微机电系统

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泰雷兹发布下一代惯性测量单元助力打造韧性导航系统
《国际航空》2025年第4期34-34,共1页
泰雷兹于近期发布了一项创新技术成果一在其TopAxyz产品线中推出采用微机电系统(MEMS)技术的新型惯性测量单元,标志着其在导航解决方案领域取得重大这款新型惯性测量单元依托泰雷兹的TopAxyz惯性导航测量单元技术,采用了MEMS加速度计替...
关键词：TopAxyz 泰雷兹 微机电系统 下一代惯性测量单元 
用于矢量水听器的应力集中MEMS敏感单元仿真研究
《声学技术》2025年第2期302-308,共7页肖邦 赵荣荣 殷忆昕 
敏感单元作为同振式矢量水听器的核心元件,其小型化将有助于水听器整体体积和质量的减小。采用微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,MEMS)结构是实现敏感单元小型化的有效途径。文章针对一种应力集中的MEMS敏感单元进行仿真研究...
关键词：矢量水听器 敏感单元 悬臂梁 应力集中 仿真分析 微机电系统 
恒温模式驱动下的二维微机电系统热膜式壁面切应力传感器水下标定试验研究
《海洋工程》2025年第2期179-186,共8页刘祺 夏明嫣 庞鹏 徐华 成泽霖 
国家重点研发计划资助项目(2022YFC3204504);江苏省水利科技项目(2021004,2023046);长江水科学联合基金项目(U2340227);南京水利科学研究院研究生学位论文基金项目(Yy224017)。
床面切应力的测量研究是推动泥沙运动理论进一步发展的关键。围绕新型恒温模式下热膜式壁面切应力传感器标定问题,对已有水下壁面切应力传感器标定装置进行了改进,提高了该装置的便利性与实用性,并且通过该装置进行了恒温模式驱动下的...
关键词：切应力 切应力传感器 泥沙运动 恒温模式 标定 试验 
低量程抗冲击双轴微加速度计设计
《传感器与微系统》2025年第4期92-95,100,共5页帅清 石云波 赵锐 张志峰 
国家自然科学基金资助项目(52175524)。
针对常规武器弹药的外弹道信息测量过程中,低量程MEMS加速度传感器在上万g_(n)过载环境下的损坏问题,本文提出了一种双轴抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载3×10^(4)g_(n)量程50 g_(n)的指标要求。有限元仿真结果表明:在50 g_(n)载...
关键词：双轴加速度计 抗冲击 电容式 低量程 嵌入式止挡结构 微机电系统 
MEMS传感器异质材料键合界面的可靠性分析
《合肥工业大学学报(自然科学版)》2025年第4期469-474,共6页袁婷 许高斌 关存贺 马渊明 冯建国 
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008901);安徽省发改委研发创新资助项目(JZ2021AFKJ0050)。
微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)传感器的制备会涉及多种材料的键合,键合过程中不同材料之间由于热膨胀系数不同而产生各种内部应力,当应力大于键合强度时,材料分层从而导致器件失效。为了明确异质材料间微观应力对...
关键词：微机电系统(MEMS)传感器 异质材料 键合界面 热应力 可靠性 
MEMS电热驱动器多场耦合模型及温度特性
《哈尔滨工业大学学报》2025年第4期142-150,共9页谢海鹏 曹云 孔啸宇 朱恒伯 陈旺生 席占稳 
国家自然科学基金(52475062)。
为研究微小尺度下MEMS电热驱动器的温度特性,考虑空气对驱动器动态热平衡的影响,提出了一种基于空气对流传热的电-热-流-固多场耦合模型。根据能量守恒方程以及气体对流换热和热传导等理论,建立MEMS电热驱动器的电-热-流-固多场耦合模型...
关键词：电热驱动器 温度特性 对流换热 电-热-流-固 微机电系统(MEMS) 
中老年人群精细运动功能缺陷与认知功能障碍的相关性研究
《中华老年医学杂志》2025年第4期442-450,共9页赵烨婧 赵岩妍 张洁 崔晗 沈姞 袁莹 武文斌 施红 李晶 
北京医院临床研究"启航"专项(BJ-2024-196);中国医学科学院医学健康前沿交叉研究专项(2023-I2M-QJ-020)。
目的利用新型可穿戴式惯性运动捕捉设备描绘中老年人的精细运动特征,探索精细运动缺陷与整体认知功能及各认知维度之间的相关性。方法于2022年11月至2023年4月招募≥50岁受试者。应用蒙特利尔认知评估量表(Montreal Cognitive Assessmen...
关键词：精细运动 认知功能障碍 微机电系统惯性传感器动作捕捉技术 
双频段高冗余度列车多普勒测速雷达设计与实现
《电讯技术》2025年第3期422-428,共7页彭泽胄 郜洪民 李博 
中国铁道科学研究院集团有限公司科研项目(2020YJ043)。
为满足轨道交通高精度、宽速域、高可靠的列车测速需求,解决测速雷达速度突变问题,提出并实现了一种24 GHz+77 GHz双频段高冗余列车多普勒测速雷达方案。该雷达具有冗余性高、抗扰能力强、测速范围宽,以及适用交通制式广等技术优势。完...
关键词：列车测速 多普勒雷达 双频雷达 架构设计 微机电系统(MEMS) 
基于MEMS微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器
《微纳电子技术》2025年第3期74-81,共8页解涛 袁宇鹏 李小飞 
随着气体探测技术的不断进步,对气体传感器提出了高精度、小型化、高可靠性、易批量生产等要求。研制了基于微机电系统(MEMS)微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器,利用MEMS加工技术实现了微型气室、红外光源、探测器等关键部件的...
关键词：微机电系统(MEMS) 集成式 红外型 二氧化碳气体传感器 
面向智能装备的MEMS惯性集成微系统关键技术分析
《微纳电子技术》2025年第3期92-98,共7页蒋鹏 鞠莉娜 王子 徐彤 李亚平 陈远金 
装备领域的变革对智能化提出了新的要求,模块化、通用化成为当前的重要趋势。基于微机电系统(MEMS)技术的惯性集成微系统因具备高密度多功能集成、高可靠等优点,可满足高效费比和精准作用需求。从智能装备对MEMS惯性集成微系统的需求出...
关键词：智能装备 微机电系统(MEMS) 惯性集成微系统 多物理场 三维集成 缺陷检测 
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