高反膜

作品数：90被引量：195H指数：8
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相关机构：中国科学院中国科学院上海光学精密机械研究所奥普镀膜技术(广州)有限公司同济大学更多>>
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界面粗糙度对真空紫外光学薄膜光谱性能影响研究
《半导体光电》2023年第2期228-233,共6页黄凯 郭春 孔明东 
国家自然科学基金项目(61805247)
设计了193 nm窄角度和宽角度入射增透膜以及正入射高反膜,其中增透膜s和p偏振光透射率的最大偏差分别为0.17%和0.44%。结合标量散射理论和等效吸收层近似理论,多层膜间的粗糙界面等效为薄的吸收层,基于薄膜本征传输矩阵计算分析了不同...
关键词：真空紫外光学薄膜 界面粗糙度 等效吸收层 增透膜 高反膜 
1064 nm激光高反膜残余应力及其形变分析被引量：2
《表面技术》2022年第9期311-318,334,共9页李阳 徐均琪 苏俊宏 袁松松 刘祺 刘政 
陕西省国际科技合作与交流计划资助项目(2018KWZ-02);西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45)。
目的由于光学薄膜自身的残余应力,致使镀膜前后基底面型变化较大。针对这一问题,本文制备单层膜和激光高反膜,明确单层膜应力机制,以此研究不同膜系高反膜的应力情况及其面型变化,通过增加压应力补偿层减小面型变化,为制备微变型激光高...
关键词：多层膜 残余应力 等效参考温度 生死单元 应力补偿层 面型 
1064 nm和532 nm激光对HfO_(2)/SiO_(2)非规整高反膜的激光诱导损伤研究
《真空科学与技术学报》2022年第8期617-622,共6页邓小红 苏俊宏 
国家自然科学基金项目(61378050);陕西省重点研发计划项目(2018KWZ-02)。
规整膜系是常见的薄膜结构,但往往无法满足理想激光传输效果和仪器使用效果,由此在满足激光系统及传输的窗口要求下,以规整膜系为设计基础优化得到非规整膜系,以获得良好的激光传输效果。采用电子束热蒸发法制备了HfO_(2)/SiO_(2)非规...
关键词：HfO_(2)/SiO_(2)非规整高反射率薄膜 激光诱导损伤 波长 损伤机理 
632.8 nm单色光高反膜设计及性能研究
《晋中学院学报》2022年第3期59-63,108,共6页赵亚丽 孟宇 赵雁冰 韩建新 
山西省教育厅高等学校科技创新项目“表面等离子激元辅助TCO超表面热发射/吸收机理研究”(2020L0575);晋中学院博士基金启动项目“超冷原子气体中涡旋偶极子动力学研究”(jzxybsjjxm2019014);晋中市科技重大研发项目“多功能节能环保建筑玻璃的研发”(Y201027);山西省高等学校教学改革创新项目“用于构建学生知与智桥梁的AMRC项目式本科毕业论文模式的研究”(J2021652).
较金属薄膜,全介质反射薄膜具有低损耗和高反射的独特优势,可应用于激光器大幅度增强其激光强度.但全介质反射层结构复杂,涉及膜层材料、厚度和层数等.为了获得高反射薄膜设计方法,本论文针对632.8 nm单色光激光器高反射膜的需求,构建...
关键词：高反膜 膜厚 膜层数 入射角度 反射率 
中红外半导体激光器腔面膜的研究现状
《光电子》2022年第2期71-77,共7页刘乐 秦宪超 曲轶 孙国玉 
3~5 µm波段是重要的大气窗口,该波段内的4.6 µm半导体激光器广泛应用于痕量气体检测、自由空间光通信和定向红外对抗等领域。随着4.6 µm半导体激光器应用领域的不断拓展,对器件的性能要求越来越高。腔面镀膜是半导体激...
关键词：高反膜 增透膜 薄膜制备技术 半导体激光器 
大口径空间相机反射镜高反膜研究进展被引量：1
《激光技术》2022年第1期143-148,共6页何世昆 王刚 白云立 张继友 周于鸣 王利 黄巧林 李晟 
大口径反射镜高反膜是大口径空间相机光学系统中的重要光学元件。为了观测到更多的目标、获取更多的地球以及空间观测信息,对大口径空间相机的反向射膜提出了更高要求,即要求有更宽的工作谱段和更高的反射率,还要提升基底光学性能,降低...
关键词：薄膜 高反膜 基底改性 空间环境 薄膜应力 
顶部反射镜对GaN基共振腔发光二极管性能的影响研究
《物理学报》2022年第4期229-236,共8页赵淑钰 徐滨滨 赵振宇 吕雪芹 
国家自然科学基金(批准号:61574119);福建省自然科学基金(批准号:2021J01048,2017J01120)资助的课题.
本文在GaN基共振腔发光二极管(RCLED)顶部设计制备了高反膜结构分布式布拉格反射镜(DBR)和滤波器结构DBR,对比分析了两种反射镜的反射率曲线特征以及对应的RCLED器件的光输出纵模模式、光谱线宽和输出光强等性能差异,详细研究了顶部反...
关键词：GaN基RCLED 高反膜结构DBR 滤波器结构DBR 单纵模发光 
用于全固态355 nm紫外激光器的三波长高反膜被引量：1
《激光与光电子学进展》2021年第19期355-360,共6页庄秋慧 王三强 
重庆理工大学科研启动基金(2017ZD20)。
为了提高激光损伤阈值,采用离子束辅助电子束成膜的方法制备具有355,532,1064 nm三个波长的高反膜。首先使用Lambda950型分光光度计对薄膜样品的光谱性能进行测试,然后验证不同的基底材料及不同的基底清洗工艺对薄膜激光损伤阈值的影响...
关键词：表面光学 薄膜光学 355 nm紫外激光器 离子束辅助电子束 激光损伤阈值 三波长高反膜 
有源光缆的硅基90°转向芯片设计与制备
《兵器装备工程学报》2021年第8期175-179,共5页刘代军 郭云芝 穆学桢 闫海涛 谢占武 张义飞 
航空科学基金项目(20182412009);河南重大科技专项项目(171100210700)。
从垂直腔激光器阵列到光纤阵列的高效耦合一直是高速有源光缆制备过程中的挑战。基于界面光波传输的相位匹配,根据界面的折射率的分布及波动传输方程,设计了41°转向角度的微反射镜。基于各向异性晶体蚀刻仿真,得到具有特定晶体取向的...
关键词：转向芯片 各向异性晶体蚀刻仿真 湿法刻蚀 V型槽 高反膜 耦合效率 
残余应力对介质高反膜面型影响的研究被引量：6
《真空科学与技术学报》2021年第5期488-494,共7页李阳 徐均琪 刘政 苏俊宏 
陕西省国际科技合作与交流计划资助项目(2018KWZ-02);西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45);先进光学制造技术联合实验室基金项目。
使用有限元分析方法对介质激光高反镜镀膜前后的元件面型变化及膜层应力分布进行研究,仿真结果表明:残余应力和热应力都呈层状分布,基底应力从下到镀膜面由拉应力变为压应力,应力引起面型变化呈环状分布。对于熔石英基底,当厚径比小于1...
关键词：薄膜应力 大口径 ERT 面型 
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