膜厚

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电镀镍/厚金防渗镀工艺研究
《印制电路信息》2025年第4期17-19,共3页赵炜 杨扬 蔺跃明 王学军 陶克 
对可能造成镍厚金渗镀的前处理方式选择因素、抗镀掩膜选型因素、掩膜制程因素、电镀镍厚金制程因素分别进行分析,制定验证改进措施,最终从前处理选择超粗化方式、优选抗镀掩膜、控制掩膜厚度、提高掩膜曝光能量、优化掩膜材料后烘温度...
关键词：电镀镍/金 抗蚀材料 前处理 膜厚 渗镀 
4 nm厚取向Zn_(2)(苯并咪唑)_(4)薄膜用于高效分离H_(2)CO_(2)
《石油炼制与化工》2025年第4期32-32,共1页贺美晋(摘译) 
基于高性能膜的H_(2)CO_(2)分离为降低燃烧前捕集的能源成本提供了一种有前景的方法。目前的膜通常由金属有机框架等二维层压板制成,由于复杂的制造方法需要高温、有机溶剂和较长的合成时间,因此存在局限性。这些制备过程会造成传输途...
关键词：金属有机框架 苯并咪唑 加压条件 高效分离 有机溶剂 薄膜厚度 绿色合成 层压板 
BOPET薄膜厚度影响因素及优化方法
《化学推进剂与高分子材料》2025年第2期65-69,共5页景丽 石少进 
从原材料种类、模头结构、纵向拉伸比、横拉风速等方面出发,通过试验数据的对比,阐述了各因素对双向拉伸聚酯(BOPET)薄膜厚度的影响,从而去寻找优化厚度的措施。改善厚度的措施主要有选用特性黏度分布差异性小的原材料、选用更多温控调...
关键词：BOPET 薄膜 厚度 
立式LPCVD设备的设计
《电子工艺技术》2025年第2期45-48,共4页陈庆广 樊坤 赵瓛 黄志海 郑红应 
针对传统的卧式炉特点,从目前8~12英寸90 nm到28 nm制程的工艺需求出发,提出了一种立式LPCVD设备设计方案。设备对标国际主流应用装备,结合主流FAB产线大尺寸晶圆、高温度均匀性、颗粒污染控制、全自动控制的需求,进行了设备的针对性设...
关键词：立式LPCVD 颗粒 金属污染 膜厚 
喷墨打印薄膜表面墨滴铺展沉积特性研究
《工程热物理学报》2025年第2期584-588,共5页张梦森 陈家润 朱剑琴 陶智 邱璐 
国家自然科学基金资助项目(No.51806005)。
本文研究了纳米微粒液滴在喷墨薄膜表面的沉积特性,利用喷墨打印设备制造不同参数的氧化铝薄膜,讨论薄膜温度和厚度对墨滴铺展面积以及边缘质量的影响。结果表明,提高薄膜温度和厚度均能改善液滴沉积面积和边缘质量,圆度能够提高约28%,...
关键词：喷墨打印薄膜 纳米微粒液滴 薄膜温度 薄膜厚度 增厚策略 
基于椭偏光谱和光杠杆法的薄膜厚度及曲率测量系统设计
《光通信技术》2025年第1期94-100,共7页孙伟 金尚忠 张殷 孙紫娟 徐胜 
在密集波分复用系统中使用窄带滤光片进行工艺调试时,需要对单层薄膜的厚度、厚度分布以及残余应力等参数进行测量。针对当前需采用多个系统测量时的复杂性及重复定位而引入误差的问题,设计了一种基于椭偏光谱和光杠杆法的薄膜厚度及曲...
关键词：光学检测 椭偏光谱 光杠杆法 基片曲率法 残余应力 
膜厚监控系统准直聚焦耦合光路的研制
《光学精密工程》2025年第1期25-36,共12页谢海峰 付秀华 董所涛 石澎 任松林 杜昕 王由德 
中山市引进创新团队项目(No.CXTD2023008);中山市社会公益科技研究项目(No.2022B2005)。
针对直接式光学膜厚监控系统中卤素灯光源发散和探测器接收信号幅值弱,导致短波波段监控精度差,并且制备窄带滤光膜(带宽<5 nm)监控误差大引起光谱矩形度差等问题,通过分析HLX64623卤素灯的光强分布和光纤耦合原理,根据镀膜机的结构参...
关键词：光学薄膜 膜厚监控 光路设计 光纤耦合 光学膜厚 
高收缩烟用包装薄膜厚度对透湿量指标的影响
《上海包装》2025年第1期33-35,共3页禾文静 蔡怀远 黄林孟 魏超 
香烟包装需采用具备优异防潮特性的材料,以保障香烟在运输和储存期间品质不受损,避免霉变及口感变化。双向拉伸聚丙烯薄膜(BOPP)因其卓越的防潮性、机械强度、高透明度及良好的印刷性,成为香烟包装的首选材料。在软包装聚合物中,聚烯烃...
关键词：烟用包装 透湿量 双向拉伸聚丙烯薄膜 防潮性能 
基于常规X射线光电子能谱(XPS)和X射线衍射(XRD)技术的透明柔性导电膜薄膜厚度表征
《中国无机分析化学》2025年第1期118-125,共8页张少鸿 莫家媚 苏秋成 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(51802305)。
X射线光电子能谱仪(XPS)和X射线衍射仪(XRD)已越来越成为实验室的常规必备设备。XPS是一种表面分析技术,典型的分析深度约为10 nm,主要用于表征材料表面元素及其化学状态,并可利用刻蚀离子枪对材料元素及其化学态纵深分布进行研究。XRD...
关键词：X射线光电子能谱(XPS) X射线衍射(XRD) 薄膜厚度 深度剖析 X射线反射率(XRR) 快速傅里叶变换(FFT) 
XPS数据用于计算薄膜厚度时的处理方法
《光谱学与光谱分析》2024年第12期3301-3305,共5页刘涵 陈萌 
国家重点研发计划项目(2017YFA0207301);国家自然科学基金项目(21890751)资助。
X射线光电子能谱(XPS)技术能够提供样品表面各化学状态的元素的峰位、峰强等信息。通过这些信息以及光电子信号表达式,可以计算出薄膜厚度。介绍了三种光电子信号表达式的处理方法:直接求解法,基底-比值法和角度-比值法;分析了其推导过...
关键词：X射线光电子能谱(XPS) 角分辨X射线光电子能谱(ARXPS) 薄膜厚度 
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