膜厚监控

作品数：34被引量：74H指数：6
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膜厚监控系统准直聚焦耦合光路的研制
《光学精密工程》2025年第1期25-36,共12页谢海峰 付秀华 董所涛 石澎 任松林 杜昕 王由德 
中山市引进创新团队项目(No.CXTD2023008);中山市社会公益科技研究项目(No.2022B2005)。
针对直接式光学膜厚监控系统中卤素灯光源发散和探测器接收信号幅值弱,导致短波波段监控精度差,并且制备窄带滤光膜(带宽<5 nm)监控误差大引起光谱矩形度差等问题,通过分析HLX64623卤素灯的光强分布和光纤耦合原理,根据镀膜机的结构参...
关键词：光学薄膜 膜厚监控 光路设计 光纤耦合 光学膜厚 
离子束溅射沉积速率变化规律研究被引量：1
《光学与光电技术》2020年第6期86-90,共5页李定 李钱陶 熊长新 
离子束溅射(IBS)系统具有稳定的沉积速率和良好的工艺重复性,然而在沉积初期其速率仍会发生变化。为研究其变化规律,采用离子束溅射技术,以Nb2O5和Al2O3为高低折射率材料,制备了中红外波段高反膜,用傅里叶变换红外光谱仪测试了膜层的反...
关键词：离子束溅射 沉积速率 光谱拟合 膜厚监控 中红外 
光学膜厚的监控方法被引量：5
《激光与光电子学进展》2018年第10期413-416,共4页庄秋慧 王三强 
重庆市教育委员会科学技术研究资助项目(KJ1600934;KJ1500935);重庆市科学技术委员会基础与前沿研究一般项目(cstc201jcyjA0497);重庆理工大学科研启动基金(2017ZD20)
提出了一种提高光电极值法中膜层厚度监控精度的新方法。通过提高判读点的精度,避免了光学极值法中停镀时存在的随机误差;通过算法的处理,将监控信号和光学厚度间的非线性关系转变成了线性关系,并推算出最佳起判时间,避免了监控薄膜沉...
关键词：薄膜 膜厚监控 判读精度 光学薄膜 光电极值法 精度 
粮食筛选系统中双通道带通滤光膜的研制被引量：4
《光子学报》2014年第12期21-26,共6页付秀华 何松霖 贾星明 刘冬梅 张静 刘爽 
红外技术预研项目(No.5131xxxx103)资助
利用杂质和劣质粮食与优质粮食的近红外吸收光谱不同的特性,根据光谱中反映测试成分的特征波段的差异对粮食进行光学分选.在光谱进入传感器之前经过滤光片对多个测试波段进行过滤,降低噪音的影响.本文针对光学筛选系统中核心部件双通道...
关键词：光学薄膜 双通道带通滤光膜 Smith法 粮食筛选 膜系设计 真空镀膜 膜厚监控 
一种监控膜厚的新算法被引量：1
《应用光学》2014年第2期248-253,共6页弥谦 赵磊 
光学薄膜的光学特性与其每一膜层的厚度密切相关,为了制备出符合要求的光学薄膜产品,在制备过程中必须监控膜厚。光学薄膜实时监控精度决定了所镀制的光学薄膜的厚度精度。针对光电极值法极值点附近监控精度低、无法精确监控非规整膜系...
关键词：光学薄膜 膜厚监控 非规整膜系 
基于宽光谱的嵌入式膜厚监控系统
《机电工程技术》2012年第5期22-25,共4页张沛强 罗宇强 王巧彬 
广东省科技基础条件建设项目(编号:2009B060200004)
为了实时准确监控光学镀膜膜层厚度,基于宽光谱扫描法,结合嵌入式控制技术,开发出一套以ARM9与Linux系统的高效嵌入系统为基础,应用于光学镀膜工艺过程监控镀膜层厚度的监控系统。本系统能通过在薄膜生长过程中实时、高精度地测量其宽...
关键词：宽光谱 嵌入式 膜厚监控 
宽光谱膜厚监控系统的评价函数修正技术被引量：1
《激光与光电子学进展》2012年第2期157-162,共6页尚小燕 韩军 姜旭 
基于评价函数的宽光谱膜厚监控系统,由于实测光谱曲线和理论光谱曲线相背离,使得评价函数发散,监控失败。利用实测的膜层透射率光谱曲线,对于已镀层,利用模拟退火算法实时拟合其实际的光学常数,据此修正目标透射率曲线,并补偿吸收的影响...
关键词：薄膜 膜厚监控 评价函数修正 模拟退火算法 逐层吸收补偿 
嵌入式宽光谱在线膜厚监控系统设计
《激光与光电子学进展》2011年第12期132-136,共5页李春喜 邓华秋 任豪 
通过对宽光谱膜厚监控原理分析,设计出一套便携的嵌入式宽光谱在线膜厚监控系统。该系统基于ARM9内核微控制器S3C2440,采用Linux操作系统,使用跨平台Qt2开发可实时监控界面。系统通过USB光纤光谱仪采集光谱数据,S3C2440微控制器对采集...
关键词：薄膜 光学镀膜 嵌入式QT 宽光谱 膜厚监控 
晶振膜厚监控技术中Tooling Factor的精确标定被引量：2
《光机电信息》2010年第11期56-60,共5页张立超 
国家自然科学基金项目(No.60678034);国家科技重大专项项目
晶振监控法是一种实现非规整膜系监控的重要手段。在晶振监控中,晶振片与镀膜基片上沉积薄膜厚度的比值,即Tooling Factor是相对固定的。采用晶振监控法实现薄膜厚度的精确控制必须对Tooling Factor进行精确标定。本文提出了精确标定Too...
关键词：膜厚控制 晶振监控 TOOLING FACTOR 
激光雷达测距系统中滤光片的制备(英文)被引量：5
《红外与激光工程》2010年第5期853-856,共4页李珊 付秀华 苏佳妮 赵缨慰 
吉林省科技发展计划资助项目(20086012)
针对激光雷达测距系统的使用要求,通过对镀膜材料的光学特性、膜系设计和监控方法的分析,优化工艺参数,采用电子束真空镀膜的方法,同时加离子辅助系统,选用TiO2和SiO2氧化物硬质薄膜材料在HB830颜色玻璃基底上镀制窄带滤光膜。用maclod...
关键词：薄膜 窄带滤光膜 膜厚监控 相对灵敏度 
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