等离子体增强化学气相沉积

作品数:200被引量:425H指数:8
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《真空科学与技术学报》
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作品数:4335被引量:9108H指数:22
曾用名:真空科学与技术
issn:1672-7126cn:11-5177/TB
主办单位:中国真空学会
发文主题:磁控溅射 真空 性能研究 数值模拟 等离子体
发文领域:一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程
《物理学报》
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作品数:30001被引量:93746H指数:65
issn:1000-3290cn:11-1958/O4
主办单位:中国物理学会;中国科学院物理研究所
发文主题:电子结构 第一性原理 第一性原理研究 等离子体 X
发文领域:理学 电子电信 机械工程 一般工业技术 电气工程
《表面技术》
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作品数:8984被引量:29903H指数:36
issn:1001-3660cn:50-1083/TG
主办单位:中国兵器装备集团西南技术工程研究所
发文主题:涂层 耐蚀性 电镀 激光熔覆 化学镀
发文领域:金属学及工艺 化学工程 一般工业技术 机械工程 理学
《人工晶体学报》
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作品数:10409被引量:19980H指数:27
issn:1000-985Xcn:11-2637/O7
主办单位:中材人工晶体研究院有限公司
发文主题:晶体生长 晶体 水热法 性能研究 晶体结构
发文领域:理学 化学工程 一般工业技术 电子电信 电气工程
《真空》
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作品数:4802被引量:6194H指数:23
issn:1002-0322cn:21-1174/TB
主办单位:中国机械工业集团有限公司沈阳真空技术研究所有限公司
发文主题:真空 真空技术 磁控溅射 真空系统 真空泵
发文领域:一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 冶金工程
《半导体技术》
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作品数:8069被引量:10790H指数:22
issn:1003-353Xcn:13-1109/TN
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题:集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《辽宁科技大学学报》
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作品数:2085被引量:3461H指数:15
曾用名:鞍山钢铁学院学报;鞍山科技大学学报
issn:1674-1048cn:21-1555/TF
主办单位:辽宁科技大学
发文主题:团簇 数值模拟 管理思想 大学生 密度泛函理论
发文领域:理学 文化科学 自动化与计算机技术 金属学及工艺 经济管理
《半导体光电》
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作品数:5786被引量:11414H指数:26
issn:1001-5868cn:50-1092/TN
主办单位:重庆光电技术研究所
发文主题:半导体激光器 CCD 光纤 光纤光栅 光纤通信
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程 电气工程
《硅酸盐学报》
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作品数:9168被引量:49829H指数:66
issn:0454-5648cn:11-2310/TQ
主办单位:中国硅酸盐学会
发文主题:英文 陶瓷 混凝土 力学性能 显微结构
发文领域:化学工程 一般工业技术 理学 建筑科学 电气工程
《微纳电子技术》
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作品数:4620被引量:7316H指数:21
曾用名:半导体情报
issn:1671-4776cn:13-1314/TN
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域:电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
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