《真空》

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《真空》
主办单位:中国机械工业集团有限公司沈阳真空技术研究所有限公司
最新期次:2025年2期更多>>
发文主题:真空真空技术磁控溅射真空系统真空泵更多>>
发文领域:一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>
发文作者:张以忱巴德纯徐成海杨乃恒张世伟更多>>
发文机构:东北大学合肥工业大学沈阳真空技术研究所中国科学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金国家重点基础研究发展计划更多>>
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受限空间离心真空泵进气管道气动优化设计
《真空》2025年第2期35-41,共7页齐大伟 李传旭 陈德江 赵顺洪 
针对受限空间条件下大型离心真空泵并联运行入口流量难以均匀分配的问题,采用数值模拟方法对离心真空泵入口四路五通管道进行气动分析,获得了进气流动均匀、流动压力损失小、流量分配均匀的气动结构,并通过实际应用进行了验证。结果表明...
关键词:受限空间 离心真空泵 五通管道 气动结构 
方形电子束熔炼炉真空腔体设计研究
《真空》2025年第2期42-46,共5页宋涛 张柏诚 姜正鹤 张黎源 
粒子输运与富集技术全国重点实验室基金项目(SYSJJ-22101)。
针对方形电子束熔炼炉真空腔体壁厚与加强筋选型设计困难的现状,提出了一套适用于方形电子束熔炼炉真空腔体的设计方法。首先确定炉体材料,然后根据法兰、开孔及抽气孔等孔位布置加强筋,以矩形加强筋为例,详细讨论了承载水压、气压条件...
关键词:电子束熔炼炉 方形真空腔体 抗弯截面系数 真空选型 
工业加速器用C波段小型化高功率多注速调管
《真空》2025年第2期47-51,共5页卫博 李冬凤 王加松 李闯 王刚 
小型化高功率多注速调管是无损检测、医疗及工业辐照用电子直线加速器的理想功率源。本文简要介绍了北京真空电子技术研究所研制的一款新型C波段3 MW小型化高功率多注速调管,对其采用的同轴多注谐振腔、周期反转永磁聚焦系统以及大尺寸...
关键词:C波段 3 MW高功率微波 永磁聚焦 速调管 
热室内真空装置设计研究
《真空》2025年第2期52-55,共4页张志平 许忠政 姜正鹤 张黎源 
在核工业领域,真空技术被广泛应用。在处理含有放射性的有毒有害物质时,真空装置安装在热室内,操作与维修需尤为谨慎。为了实现真空装置的有效运行、便捷维护以及提高真空装置的可靠性,对其进行适应性设计显得尤为重要。本文基于热室的...
关键词:热室 真空 真空装置 辐射 
射频等离子体去胶及表面清洗工艺技术研究
《真空》2025年第2期56-61,共6页田文娟 贺晓彬 焦斌斌 
简要介绍了等离子去胶和清洗的化学、物理变化过程;系统分析了决定去胶效果和去胶均匀性的因素,并给出了相应的方案和最优参数匹配原理,通过实验研究了不同工艺条件下微米级及纳米级Ar-F光刻胶的最优去除工艺参数;探讨了等离子体清洗反...
关键词:等离子体 干法去胶 去胶速率 去胶均匀性 表面改性 
射频功率对ITO薄膜结构及性能影响的研究
《真空》2025年第2期62-67,共6页孙冰成 张贤旺 张健 
使用射频(RF)磁控溅射技术,在耐高温石英玻璃基底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电氧化物薄膜,旨在优化其光电特性。通过系统调控溅射功率变量,深入剖析了该参数对ITO薄膜质量及光电性能的影响机理,之后又对薄膜进行退火处理,探究了退火...
关键词:射频磁控溅射 退火工艺 氧化铟锡 光电性能 溅射功率 
PIAD成膜法的智能DLC薄膜——在燃料电池金属双极板领域的应用
《真空》2025年第2期68-76,共9页绪方洁 铃木泰雄 毕婷婷 
介绍了等离子注入成膜(PIAD)方式的原理和特征,即通过高频放电使原料气体离化而生成离子,然后将其注入到施有高压脉冲电压的基材中。描述了用PIAD方式成膜的类金刚石(DLC)薄膜的特征和应用案例,结果表明PIAD方式可以通过脉冲电压和其他...
关键词:DLC膜 燃料电池 金属双极板 薄膜涂层 
微量合金元素对Q355B钢中夹杂物的影响
《真空》2025年第2期77-85,共9页张向军 李天瑞 吴文平 杨永 陈志强 徐勇 卢勇 
中冶集团“181”计划项目;国家自然科学基金项目(52301028);安徽省教育厅高校科研项目(2022AH050333);安徽工业大学青年基金项目(QZ202102)。
为探究不同种类、不同添加量脱氧元素对Q355B钢中夹杂物形态、成分和分布的影响,使用真空感应熔炼方法,熔化并精炼了Ti、Zr、Mg和Ce元素单脱氧Q355B钢。采用光谱分析仪、扫描电镜、能谱仪和图像分析仪,观察并分析了不同元素含量下脱氧...
关键词:Q355B 微合金元素 氧化物冶金 微观组织 夹杂物 真空感应熔炼 
用于机匣类铸件的大型真空精密铸造炉
《真空》2025年第2期86-90,共5页宋静思 贾石 张增海 赵帅 陈久强 李秀章 张哲魁 
随着我国商用航空发动机产业不断发展,大尺寸机匣铸件的需求日益增加。面临复杂的国际环境,大型真空感应精密铸造炉作为生产大尺寸机匣的核心设备必须摆脱进口依赖。本文首先深入分析了大型真空精密铸造炉的市场情况和技术现状,然后介...
关键词:机匣 大型铸件 精密铸造 真空感应炉 航空发动机 
磷对镍基高温合金铸态组织和力学性能的影响
《真空》2025年第2期91-99,共9页陈明 李相材 张晓敏 黄烁 王冲 胡军 
国家重点研发计划(2022YFB3705101)。
采用真空感应熔炼和保护气氛电渣重熔工艺制备了一系列不同磷(P)含量的铸态高温合金。通过光学显微镜、扫描电子显微镜、电子探针、维氏硬度计和拉伸试验机等,系统地分析了P元素对合金微观组织和力学性能的影响。结果表明,不同P含量下...
关键词:镍基高温合金 磷元素 真空感应熔炼 铸态微观组织 力学性能 
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