云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 真空

《真空》: 作品数：4802被引量：6194H指数：23; 导出分析报告; 主办单位：中国机械工业集团有限公司沈阳真空技术研究所有限公司; 最新期次：2025年2期更多>>; 发文主题：真空真空技术磁控溅射真空系统真空泵更多>>; 发文领域：一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>; 发文作者：张以忱巴德纯徐成海杨乃恒张世伟更多>>; 发文机构：东北大学合肥工业大学沈阳真空技术研究所中国科学院更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金国家重点基础研究发展计划更多>>