气相沉积

作品数：4530被引量：9973H指数：28
导出分析报告
相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者：宫声凯郭洪波成会明韩高荣汪建华更多>>
相关机构：中国科学院浙江大学北京大学清华大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
非层状二维γ-In_(2)Se_(3)的各向异性生长及其光学特性
《原子与分子物理学报》2025年第6期58-65,共8页雷子煊 张文婷 夏晓凤 王红艳 
国家自然科学基金青年科学基金(51902272);四川省科技厅计划项目(2021 YFG0228,2682021 GF007)。
非层状二维(2D)γ-In_(2)Se_(3)具有优异的光学和电学性能,在超薄柔性器件和光电探测领域具有广泛的应用前景.然而,相较于层状的类石墨烯材料,非层状材料固有的各向同性化学键,使得其二维各向异性生长面临较大的挑战.本研究构建了一种...
关键词：非层状材料 二维γ-In_(2)Se_(3) 化学气相沉积 各向异性生长 带隙 
阴极碳靶电流对物理气相沉积制备ta-C薄膜性能的影响
《材料导报》2025年第10期138-142,共5页温鑫 李多生 叶寅 徐锋 郎文昌 刘俊红 于爽爽 余欣秀 
国家自然科学基金(51562027;52375441);江西省重点研发计划重点项目(20201BBE51001);江苏省重点研发计划(产业前瞻与关键核心技术)(BE2021055)。
采用物理气相沉积的方法,利用真空阴极离子沉积系统,通过改变阴极碳靶电流在硬质合金表面沉积四面体非晶碳膜(ta-C)薄膜。通过改变阴极碳靶电流(55~95 A),探究电流对ta-C薄膜综合性能的影响,并对ta-C薄膜的表面形态、化学结构、力学性...
关键词：阴极碳靶电流 ta-C薄膜 sp^(3)杂化键含量 摩擦性能 力学性能 
彩色派瑞林涂层的制备与色彩分析
《模具制造》2025年第4期183-185,共3页刘博 曲丽梅 郭兴宇 刘剑虹 
齐齐哈尔科技局项目“彩色派瑞林(Parylene)涂层的制备与机理研究”(项目编号:CGYGG-2023019)。
利用改进的气相沉积装置在载玻片样品表面涂覆了彩色派瑞林(Parylene C)涂层,研究了工艺参数对涂层着色效果的影响。测定了彩色Parylene C涂层的光谱特征及相对介电常数。结果表明:制备的彩色Parylene C涂层呈色均匀,相对介电常数变化小...
关键词：彩色派瑞林 气相沉积 Parylene C涂层 标识性防护 
碳化硅纤维表面热解碳涂层转化TiC-Ti_(2)AlC的行为研究
《宁波大学学报(理工版)》2025年第2期102-108,共7页王宇槐 李朋 黄庆 
浙江省重点研发计划(2022C01236);浙江省领军型创新创业团队项目(2019R01003);浙江省万人杰出项目(2022R51007).
界面层对于碳化硅纤维增强碳化硅陶瓷基复合材料性能具有重要影响.为此,采用化学气相沉积工艺,在碳化硅纤维表面制备热解碳(PyC)涂层作为反应源,通过熔盐化学原位反应将PyC转化为TiC-Ti_(2)AlC涂层.通过对物相、微观结构以及形貌表征分...
关键词：碳化硅纤维 界面层 化学气相沉积 热解碳 TiC-Ti_(2)AlC 
陶瓷材料的新篇章:高熵陶瓷
《金属世界》2025年第2期1-9,共9页徐娇 拜淼 邢秋玮 
2024年郑州航空工业管理学院教育教学改革研究与实践资助项目(ZHJY24—(109))。
在人类社会的发展历程中,陶瓷材料不仅是文化传承的载体,也是科技进步的重要标志。高熵陶瓷的兴起标志着陶瓷材料的发展迈上了新的台阶。与传统陶瓷相比,高熵陶瓷具有特殊的结构与性能。近年来,随着固态烧结、水热合成、气相沉积等先进...
关键词：陶瓷材料 耐腐蚀材料 固态烧结 水热合成 传统陶瓷 非氧化物 科技进步 气相沉积 
钛合金表面耐磨损PVD涂层及制备技术研究进展
《机械工程材料》2025年第4期8-19,共12页李聪 刘健招 周立波 陈维 陈汪林 陈荐 
湖南省自然科学基金资助项目(2022JJ30597)。
为提高钛合金表面的硬度及耐磨性能,常采用物理气相沉积(PVD)技术在其表面制备涂层。介绍了类金刚石涂层、改性氮化物涂层、复合氮化物涂层、梯度涂层等常见的PVD涂层,系统阐述了磁控溅射技术、离子镀技术、离子束辅助沉积技术、真空蒸...
关键词：钛合金 物理气相沉积 耐磨涂层 工艺参数 
垂直热壁CVD反应器中C/Si比对SiC高速同质外延生长的影响研究
《人工晶体学报》2025年第4期569-580,共12页陈丹莹 闫龙 罗稼昊 郑振宇 姜勇 张凯 周宁 廖宸梓 郭世平 
上海市浦江人才计划(22PJ1423600)。
本文结合计算流体力学(CFD)实验与模拟,对垂直热壁晶圆高速旋转CVD设备中SiC的同质外延生长机制进行研究,探讨了晶圆表面C/Si比对外延生长速率及载流子掺杂浓度的影响。结果表明晶圆表面上方碳原子对硅原子的摩尔比(记为有效C/Si比)与...
关键词：碳化硅 同质外延 化学气相沉积 C/Si比 CFD模拟仿真 
基于电子场发射性能的高导电性金刚石/碳纳米墙薄膜的一步法制备
《表面技术》2025年第6期194-205,共12页徐戴 卢嘉琪 刘鲁生 杨越朝 关印 黄楠 姜辛 杨兵 
国家自然科学基金(52172056);辽宁省自然科学基金(2022MS009)。
目的 金刚石薄膜的电导率和薄膜/衬底界面电导率的提高对其场发射性能优化非常关键。通过一步法制备具有高导电性且无高电阻率中间层的金刚石/碳纳米墙(D/CNWs)薄膜,提高金刚石的场发射性能。方法 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)...
关键词：金刚石 石墨 复合薄膜 中间层 场致电子发射 化学气相沉积 
衬底温度对热丝CVD法沉积氧化钨的影响研究
《太阳能学报》2025年第3期335-341,共7页张旭 郭丛 陈涛 俞健 唐水花 
教育部“春晖计划”项目(HZKY-20220555);四川省科技计划项目(2023ZYD0163,2023YFG0098)。
通过热丝化学气相沉积法制备氧化钨(WOx)薄膜,并将其应用于无掺杂异质结太阳电池。研究表明,衬底温度在沉积过程中起着重要作用,衬底温度从室温升高到200℃,WOx薄膜的表面颗粒尺寸减小,薄膜更加致密;功函数先升高再迅速下降;透过率在15...
关键词：晶体硅太阳电池 钨化合物 薄膜 化学气相沉积 温度 衬底 
电子束物理气相沉积Yb掺杂Gd_(2)Zr_(2)O_(7)/8YSZ双陶瓷层热障涂层性能研究
《表面技术》2025年第6期134-142,共9页高栋 刘燚栋 张国栋 黄爱华 
目的 分析电子束物理气相沉积Yb掺杂Gd_(2)Zr_(2)O_(7)(简称为Yb-GZO)/8YSZ双陶瓷层涂层的关键性能,推动涂层工艺优化和质量提升。方法 采用镀铂渗铝在单晶合金试样表面制备金属黏结层,随后在黏结层上采用电子束物理气相沉积制备Yb-GZO/...
关键词：Yb-GZO/8YSZ双陶瓷层涂层 热循环 热导率 热稳定性 热腐蚀 
全选清除导出
共451页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部