多晶金刚石

作品数：77被引量：105H指数：5
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锰气相催化多晶金刚石表面原位石墨烯构筑研究
《材料导报》2025年第5期122-125,共4页吴国栋 张文 伏鑫 刘辉强 汪建 王兵 熊鹰 
四川省自然科学基金(2022NSFSC1813);国家自然科学基金(62374140);四川省科技计划(2023NSFSC1990);西南科技大学博士基金(19zx7127)。
金刚石和石墨烯均具有十分优异的物化性质,结合形成的石墨烯-金刚石异质结可充分发挥二者优异性能,引起了广泛的关注。在制备石墨烯-金刚石异质结器件时,传统转移法、金属原位催化法等制备方法都存在步骤复杂、成本较高、石墨烯层覆盖...
关键词：石墨烯-金刚石异质结 全碳器件 锰气相催化 原位生长 
基片台结构和生长参数对单晶金刚石和多晶金刚石膜质量的影响
《武汉工程大学学报》2025年第1期44-52,共9页刘佳 翁俊 刘繁 陈晓婧 汪建华 熊礼威 
湖北省教育厅科学研究计划(Q20201512)。
调整基片台的结构,在自制的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备上成功地批量生长了单晶金刚石,并沉积了直径为100 mm的多晶金刚石膜。通过对基片台上方的电场强度分布模拟研究发现,从衬底钼(Mo)或硅(Si)上表面到Mo片上表面之间的距离...
关键词：单晶金刚石 多晶金刚石膜 微波等离子体 基片台 
多晶金刚石片的机械磨抛工艺
《金刚石与磨料磨具工程》2025年第1期86-92,共7页李蛟 张晓秋 王紫光 张昕 张瑜 
国家自然科学基金(52175382,52375169);辽宁省自然科学基金博士科研启动基金(2021-BS-220,2023-BS-171)。
使用游离磨料进行机械研磨是金刚石平坦化的主流加工手段之一。针对多晶金刚石的材料特性,开展变参数的游离磨料机械研磨实验。通过改变磨料粒度、研磨压力、研磨液浓度,研究其对多晶金刚石片机械研磨的材料去除率和表面粗糙度的影响规...
关键词：金刚石 研磨液 机械研磨 研磨压力 磨粒 
高温高压处理增强化学气相沉积多晶金刚石的光学性能
《超硬材料工程》2024年第6期1-10,共10页郑林鹏 田毅 郭睿昂 贺端威 
国家重点研发计划:高压下多尺度小量子复合体系量子效应及其调控(No.2018YFA0305900)。
增强化学气相沉积(CVD)金刚石的光学性能是学术界和工业界长久以来的追求。然而,CVD技术的壁垒限制了金刚石的应用领域。文章通过高温高压处理方法成功提高了CVD多晶金刚石的光学性能。使用光学显微镜、紫外-可见光吸收光谱和红外吸收...
关键词：CVD金刚石 透明度 高温高压 改性机理 
多晶金刚石散热片制备工艺研究
《固体电子学研究与进展》2024年第6期556-560,共5页郝晓斌 李一村 孔霞 吕继磊 成楚飞 代兵 郭怀新 朱嘉琦 
中央高校基本科研业务费专项资金资助(HIT.OCEF.2022048);国家自然科学基金国际(地区)合作与交流项目(52261135545);国家重点研发计划变革性技术项目(2020YFA0709700)。
通过微波等离子体化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)方法制备了不同工艺条件下的多晶金刚石散热片,并对其热导率、翘曲、表面形貌、晶体取向和拉曼光谱进行测试和分析。结果表明,甲烷浓度和生长温度对金...
关键词：金刚石 微波等离子体化学气相沉积 散热 
面向多晶金刚石的等离子体高效抛光技术
《金刚石与磨料磨具工程》2024年第5期553-562,F0003,共11页肖玉玺 李昕宇 张永杰 邓辉 
国家自然科学基金面上项目(52375437);深圳市科技创新委员会基础研究重点项目(JCYJ2022081810041202)。
作为一种典型的难加工材料,多晶金刚石的抛光存在着材料去除率低、损伤引入较多、难以获得亚纳米级粗糙度等诸多问题。采用一种基于大气电感耦合等离子体的非接触式加工方法,在纯氩等离子体中引入氧气作为反应气,激发产生高活性氧自由基...
关键词：多晶金刚石 高效抛光 大气电感耦合等离子体 高活性氧自由基 
中科院微电子所取得厚膜氮化镓与多晶金刚石异质集成技术新突破
《超硬材料工程》2024年第3期35-35,共1页无 
近日,中科院微电子所的高频高压中心传来喜讯,刘新宇研究员团队携手天津中科晶禾公司等单位,在厚膜氮化镓(GaN)与多晶金刚石直接键合技术领域取得了显著进展。该研究不仅攻克了多晶金刚石表面形貌的难题,更在室温下实现了与厚膜GaN的高...
关键词：直接键合 微电子所 键合技术 晶圆级 高频高压 多晶金刚石 异质集成 厚膜 
SiC基GaN上多晶金刚石散热膜生长及其影响
《半导体技术》2024年第5期455-460,共6页盛百城 刘庆彬 何泽召 李鹏雨 蔚翠 冯志红 
国家重点研发计划(2022YFB3404304,2022YFB3608603)。
通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法,在SiC基GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)异质结构材料上生长多晶金刚石散热膜,采用光学显微镜(OM)、拉曼光谱、非接触霍尔测试系统、X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对生长样品进行表征,研究...
关键词：多晶金刚石 散热膜 氮化镓 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法 电性能 应力 孔洞缺陷 
MPCVD法生长曲面多晶金刚石薄膜研究被引量：1
《冶金与材料》2024年第3期1-3,共3页许坤 吕思远 
河南省高等学校重点科研项目基础专项项目(项目编号:22ZX012);河南省重点研发与推广专项(科技攻关)项目(项目编号:212102210271);河南省高等学校重点科研项目(项目编号:21B140010);河南省高校科技创新团队项目(项目编号:22IRTSTHN004);航空科学基金项目(项目编号:ASFC-2019ZF055002)。
金刚石振膜具有高保真、声传播速率快、弹性模量高、声阻尼特性好、优异的高频响应特性,是高保真扬声器高音单元喇叭膜的理想材料。目前微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法生长单晶金刚石以及平面多晶金刚石薄膜技术都较为成熟,实现了...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 谐振腔 有限元分析 曲面多晶金刚石薄膜 
基于玻璃碳基底的超薄自支撑多晶金刚石膜制备
《金刚石与磨料磨具工程》2023年第5期531-536,F0003,共7页熊枭 王兵 熊鹰 吴国栋 
四川省省院省校合作项目(2021YFSY0029)。
选取Ti、Si、玻璃碳3种基底,采用微波等离子体化学气相沉积技术,以CH_(4)/H_(2)为反应源制备超薄多晶金刚石膜。通过SEM、Raman、台阶仪表征并分析所制备的金刚石薄膜整体形态、表面(断面)形貌、组成、应力状态等。结果表明:仅以玻璃碳...
关键词：超薄金刚石膜 自支撑 玻璃碳基底 膜-基分离 生长机理 MPCVD 
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