微波等离子体

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高功率MPCVD谐振腔体的优化设计和数值模拟
《真空与低温》2025年第2期140-147,共8页高子博 戚俊成 马博翔 孙馨月 程秀云 张惠芳 
中北大学高端装备可靠性技术重点实验室研究基金(446-110103)。
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置能够非常高效地产出高质量的金刚石薄膜,由于波长和腔体结构的限制,传统2.45 GHz MPCVD装置所沉积出的薄膜面积直径通常维持在50~70 mm之间。以增大金刚石膜沉积面积为目标,通过对微波电场进行仿真...
关键词：微波等离子体 MPCVD 金刚石膜 数值模拟 
基于可调电边界的低压微波等离子体调控研究
《真空电子技术》2025年第2期53-58,共6页韩嘉辉 王诚卓 郭朝杰 杨阳 
四川省科技计划项目(2024YFHZ0182)。
相较于射频等离子体,微波等离子体由于激发波长短、谐振腔内驻波分布固定的特点,容易引起等离子体分布不均匀及放电易受干扰等问题,进而影响材料处理的一致性。为此,研究了基于可调电边界的微波等离子体调控,通过等离子体的移动来解决...
关键词：微波等离子体 材料处理 可调电边界 有限元法 
MPCVD柱形腔中电子密度分布特性数值模拟分析
《真空科学与技术学报》2025年第3期248-256,共9页祝铭辉 陈玉 徐曼曼 沈洁 李翔 周燕 
使用微波等离子体法沉积多晶金刚石薄膜过程中,工艺参数调整往往对等离子体球大小及均匀性影响较大。文章基于实验室自制的5 kW MPCVD柱形腔,通过耦合多物理场,在氢气放电环境下对不同工艺参数条件下钼板表面轴向及径向电子密度分布进...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 氢等离子体 数值模拟 均匀性 
基片台结构和生长参数对单晶金刚石和多晶金刚石膜质量的影响
《武汉工程大学学报》2025年第1期44-52,共9页刘佳 翁俊 刘繁 陈晓婧 汪建华 熊礼威 
湖北省教育厅科学研究计划(Q20201512)。
调整基片台的结构,在自制的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备上成功地批量生长了单晶金刚石,并沉积了直径为100 mm的多晶金刚石膜。通过对基片台上方的电场强度分布模拟研究发现,从衬底钼(Mo)或硅(Si)上表面到Mo片上表面之间的距离...
关键词：单晶金刚石 多晶金刚石膜 微波等离子体 基片台 
调节生长环境 单晶金刚石可转变成超导态
《超硬材料工程》2024年第6期50-50,共1页无 
9月16日,记者从浙江大学获悉,该校信息与电子工程学院林时胜教授团队,利用自制的微波等离子体化学气相沉积系统,成功制备出硼氮共掺杂的块体单晶金刚石半导体,并成功通过迁移率调控,实现了金刚石的超导态和金属态,部分证实了激子超导机...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 单晶金刚石 国际学术期刊 超导态 电子工程学院 金属态 高温超导 硼氮共掺杂 
多晶金刚石散热片制备工艺研究
《固体电子学研究与进展》2024年第6期556-560,共5页郝晓斌 李一村 孔霞 吕继磊 成楚飞 代兵 郭怀新 朱嘉琦 
中央高校基本科研业务费专项资金资助(HIT.OCEF.2022048);国家自然科学基金国际(地区)合作与交流项目(52261135545);国家重点研发计划变革性技术项目(2020YFA0709700)。
通过微波等离子体化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)方法制备了不同工艺条件下的多晶金刚石散热片,并对其热导率、翘曲、表面形貌、晶体取向和拉曼光谱进行测试和分析。结果表明,甲烷浓度和生长温度对金...
关键词：金刚石 微波等离子体化学气相沉积 散热 
硅氧共掺DLC薄膜的制备及阻隔性能研究
《包装工程》2024年第19期171-178,共8页印莲华 刘忠伟 
上海市教育发展基金会和上海市教育委员会“晨光计划”项目(19CGB11)。
目的研究硅(Si)、氧(O)元素掺杂对类金刚石(Diamond like Carbon,DLC)薄膜沉积、结构、表面形貌以及阻隔性能的影响,为高效制备高阻隔硅氧共掺类金刚石(Si and O Incorporated DLC,Si/O-DLC)薄膜提供新的思路参考。方法利用微波等离子...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 类金刚石 聚对苯二甲酸乙二醇酯 阻隔性能 元素掺杂 
基于磁场调控微波等离子体的发射光谱特性研究
《光学学报》2024年第14期336-343,共8页张昊 王御睿 高登 张宇 黄戈豪 曹为 马志斌 
国家自然科学基金(11575134);湖北省自然科学基金(2023AFB248)。
通过在双基片台波导耦合微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置上安装两组同轴型磁场线圈对微波等离子体进行调控。利用光学发射光谱法对磁场调控下的氢等离子体进行了原位在线诊断,研究了基片台间距为20 mm和30 mm时,均匀磁场对等离子...
关键词：发射光谱 微波等离子体 磁场 电子温度 
纳米金刚石膜/{100}晶面多晶金刚石膜台阶法快速生长研究
《应用技术学报》2024年第2期133-139,共7页唐春玖 侯海虹 陈维霞 江学范 
国家自然科学基金项目(51972035)资助。
通过高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)以及台阶式基底排列方法,可以在一次沉积过程中同时沉积纳米晶粒及<100>取向的{100}面多晶金刚石薄膜。详细比较在同一次沉积中同时制备的多种不同类别的金刚石产物的生长速率。采用台阶法并...
关键词：纳米金刚石膜 {100}晶面 台阶法 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 
微波等离子体飞行时间质谱仪研制及元素检测应用研究
《质谱学报》2024年第3期343-353,I0002,共12页左凯 代渐雄 赵忠俊 郭星 段忆翔 
微波等离子体炬(microwave plasma torch,MPT)具有功耗低、操作方便、结构简单等优点,与质谱仪联用可快速分析元素。本文报道了一套自制的低功耗微波等离子体炬飞行时间质谱仪(MPT-TOF MS)及进样装置,并考察了维持气流速、载气流速、超...
关键词：微波等离子体炬(MPT) 飞行时间质谱(TOF MS) 元素检测 
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