刘繁

作品数：48被引量：91H指数：6
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供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：微波等离子体金刚石膜化学气相沉积MPCVD单晶金刚石更多>>
发文领域：化学工程理学电子电信文化科学更多>>
发文期刊：《低温物理学报》《材料导报》《功能材料与器件学报》《科教文汇》更多>>
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基片台结构和生长参数对单晶金刚石和多晶金刚石膜质量的影响
《武汉工程大学学报》2025年第1期44-52,共9页刘佳 翁俊 刘繁 陈晓婧 汪建华 熊礼威 
湖北省教育厅科学研究计划(Q20201512)。
调整基片台的结构,在自制的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备上成功地批量生长了单晶金刚石,并沉积了直径为100 mm的多晶金刚石膜。通过对基片台上方的电场强度分布模拟研究发现,从衬底钼(Mo)或硅(Si)上表面到Mo片上表面之间的距离...
关键词：单晶金刚石 多晶金刚石膜 微波等离子体 基片台 
MPCVD高功率外延生长单晶金刚石均匀性研究被引量：1
《表面技术》2023年第5期278-287,305,共11页李廷垟 刘繁 翁俊 张青 汪建华 熊礼威 赵洪阳 
国家自然科学基金(51402220);湖北省教育厅科学研究计划(Q20201512)。
目的 为了优化单晶金刚石大批量生长的等离子体环境,开展了高功率微波等离子体环境对单晶金刚石外延生长研究。方法 利用实验室自主研发的915 MHz-MPCVD装置,在15~37 kW的高功率微波馈入的条件下,研究了在高功率微波等离子体环境中CVD...
关键词：单晶金刚石 微波等离子体 化学气相沉积 高功率 均匀性 
高功率微波等离子体对单晶金刚石同质外延生长的影响被引量：2
《表面技术》2022年第6期364-373,398,共11页张青 翁俊 刘繁 李廷垟 汪建华 熊礼威 赵洪阳 
国家自然科学基金(51402220);湖北省教育厅科学研究计划(Q20201512)。
目的为了优化单晶金刚石大批量生长的等离子体环境,研究高功率微波等离子体环境对单晶金刚石外延生长层的影响。方法利用实验室自主研发的915 MHz–MPCVD装置,在20~35 kW高功率微波馈入的条件下,具体研究了高功率等离子体环境中甲烷浓...
关键词：单晶金刚石 微波等离子体 化学气相沉积 高功率 高速率 
氩气对高功率MPCVD制备金刚石膜的影响被引量：1
《化学工程与装备》2021年第10期5-6,共2页王蒙 翁俊 刘繁 黎振坤 鲁振海 
本文使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在传统的CH4/H2氛围下沉积金刚石膜,加入辅助气体氩气提升金刚石膜质量,探究低浓度氩气对金刚石膜的影响。
关键词：金刚石膜 氩气 微波等离子体化学气相沉积 晶粒尺寸 
马赛克法生长大尺寸单晶金刚石的研究
《化学工程与装备》2021年第10期7-8,20,共3页黎振坤 翁俊 刘繁 杜凯 王蒙 鲁振海 
使用微波等离子体设备,研究单晶金刚石衬底间距和厚度差异对拼接法制备大尺寸单晶金刚石生长的影响。通过金相显微镜观察不同衬底间距和厚度差异下金刚石的生长情况;通过扫描电子显微镜和激光拉曼光谱仪对拼接界面处的表面形貌和晶体质...
关键词：微波等离子体 大尺寸单晶金刚石 马赛克拼接法 
氢氧刻蚀对硼掺杂单晶金刚石质量的影响
《化学工程与装备》2021年第9期1-3,共3页鲁振海 翁俊 刘繁 黎振坤 王蒙 
本文利用微波等离子体化学气相沉积法,在未经过刻蚀处理以及经过氢氧刻蚀处理过的单晶金刚石籽晶上进行硼掺杂外延生长,目的是证明刻蚀处理对硼掺杂单晶金刚石生长形貌与质量的影响。
关键词：化学气相沉积 单晶金刚石 氢氧刻蚀 硼掺杂 
氩气对高功率MPCVD制备金刚石膜的影响
《化学工程与装备》2021年第9期4-5,共2页王蒙 翁俊 刘繁 黎振坤 鲁振海 
本文使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在传统的CH4/H2氛围下沉积金刚石膜,加入辅助气体氩气提升金刚石膜质量,探究低浓度氩气对金刚石膜的影响。
关键词：金刚石膜 氩气 微波等离子体化学气相沉积 晶粒尺寸 
圆柱形谐振式MPCVD装置的模拟及调控被引量：1
《表面技术》2021年第4期184-190,共7页刘繁 翁俊 汪建华 周程 
国家自然科学基金项目(51402220);湖北省教育厅基金项目(Q20151517)。
目的在实验室自制的5 kW圆柱形单模微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置上,系统研究各放电参数对等离子体的影响。方法采用模拟计算与实验调控相结合的方式,分析微波等离子体、基团的运动和分布与放电参数之间的关系。利用发射光谱诊...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 等离子体 金刚石膜 
金刚石半导体器件的研究进展被引量：9
《武汉工程大学学报》2020年第5期518-525,共8页王凡生 刘繁 汪建华 鲁振海 王连忠 
金刚石因其优异的物理化学特性,被视为下一代电力电子器件的终极材料,金刚石半导体器件的制备受到了科研工作者的广泛关注。文章对金刚石基二极管、开关器件和边缘终止效应等方面的研究成果进行了概述。着重阐述了金刚石半导体器件的电...
关键词：金刚石 半导体器件器件 肖特基二极管 场效应晶体管 
单晶金刚石生长过程中的应力研究
《武汉工程大学学报》2020年第4期415-419,共5页杜凯 黎振坤 刘繁 翁俊 汪建华 
使用实验室自制的10 kW微波等离子体设备,研究单晶金刚石不同生长阶段的应力表现形式。通过等离子状态参数模拟和发射光谱诊断,研究不同生长阶段几种主要基团的分布和含量;通过扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对金刚石的表面形貌和结晶质量...
关键词：微波等离子体 单晶金刚石 应力 
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