氢氧刻蚀对硼掺杂单晶金刚石质量的影响  

作　　者：鲁振海 翁俊[1,2] 刘繁[1,2] 黎振坤 王蒙 

机构地区：[1]武汉工程大学 [2]湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉430205

出　　处：《化学工程与装备》2021年第9期1-3,共3页Chemical Engineering & Equipment

摘　　要：本文利用微波等离子体化学气相沉积法,在未经过刻蚀处理以及经过氢氧刻蚀处理过的单晶金刚石籽晶上进行硼掺杂外延生长,目的是证明刻蚀处理对硼掺杂单晶金刚石生长形貌与质量的影响。

关 键 词：化学气相沉积 单晶金刚石 氢氧刻蚀 硼掺杂 

分 类 号：TQ163[化学工程—高温制品工业]