云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- MPCVD

MPCVD: 作品数：221被引量：368H指数：10; 导出分析报告; 相关领域：理学电子电信更多>>; 相关作者：汪建华马志斌朱嘉琦翁俊唐伟忠更多>>; 相关机构：武汉工程大学北京科技大学上海征世科技股份有限公司哈尔滨工业大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金湖北省自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部科学技术研究重点项目更多>>

MPCVD柱形腔中电子密度分布特性数值模拟分析: 《真空科学与技术学报》2025年第3期248-256,共9页祝铭辉陈玉徐曼曼沈洁李翔周燕; 使用微波等离子体法沉积多晶金刚石薄膜过程中,工艺参数调整往往对等离子体球大小及均匀性影响较大。文章基于实验室自制的5 kW MPCVD柱形腔,通过耦合多物理场,在氢气放电环境下对不同工艺参数条件下钼板表面轴向及径向电子密度分布进...; 关键词：微波等离子体化学气相沉积氢等离子体数值模拟均匀性

MPCVD装置冷却水温度的自抗扰控制策略: 《现代电子技术》2025年第3期104-110,共7页张贺斌任天平苏宇锋; 国家自然科学基金项目(U1904169)。; 针对MPCVD装置冷却水温度控制中存在的调节时间长、稳定性能差的弊端,提出一种将改进后的混沌蛇鹫优化算法(CSBOA)与自抗扰控制(ADRC)算法结合的控制策略。首先,给出了冷却水温度控制系统的结构及数学模型,设计自抗扰控制器;其次,通过...; 关键词：MPCVD 冷却水温度自抗扰控制蛇鹫优化算法参数整定金刚石薄膜制备

MPCVD单晶金刚石高温退火的力学性能研究: 《材料科学》2025年第1期28-36,共9页赵丙灿许坤段肖楠庞雨桐李文成王钥萱郭森森; 为了改善单晶金刚石的力学性能,增强单晶金刚石刀具的实用性和使用寿命。本文通过对MPCVD单晶金刚石进行高温常压退火和等离子退火两种方式的实验研究,期望能够提升已经生长的单晶金刚石的力学性能。通过研究发现经过高温退火的单晶金...; 关键词：MPCVD单晶金刚石高温退火力学性能

拼接法制备单晶金刚石的拼接缝形貌与残余应力: 《中国表面工程》2024年第6期247-256,共10页刘俊杰关春龙杨国永易剑刘帅伟王祥兵宋惠江南西村一仁; 宁波市重大科技攻关项目(2021ZDYF020196,2021ZDYF020198)。; 金刚石材料作为功能性新材料之一,具有超高的禁带宽度和高的热导率,被誉为“终极半导体”。受到学术界和工业界的广泛关注,然而受制于金刚石的沉积机理,英寸级、高品质单晶金刚石暂未实现低成本制备。为了解决半导体领域所需的单晶金刚...; 关键词：微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD) 马赛克拼接界面调控同质外延单晶金刚石

Revolutionizing Material Boundaries: High-Performance Diamond-Coated Steel via Long-Term MPCVD: 《Journal of Minerals and Materials Characterization and Engineering》2024年第6期334-345,共12页Clyde Varner II Angela Davis Leslie Wilson Padmaja Guggilla; This research explores Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition (MPCVD) for depositing diamond films on steel alloys (316L, 4140, and 1018) with a vanadium carbide interlayer to enhance adhesion and compatibility. T...; 关键词：MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) Raman Spectroscopy Steel Alloys (316L 4140 1018) Coatings Chip-Resistance

不同衬底对金刚石-石墨烯复合薄膜场发射性能影响研究: 《功能材料》2024年第10期10059-10063,共5页韦庆红张文官磊吴晓雪刘辉强汪建王兵熊鹰; 国家自然科学基金项目(62374140);四川省自然科学基金项目(2022NSFSC1813);四川省科技计划项目(2023NSFSC1990);西南科技大学博士基金项目(19zx7127)。; 金刚石薄膜因其高导热性、负电子亲和势、低功函数和长期稳定性的特点被认为是一种很有潜力的场电子发射阴极材料。金刚石薄膜沉积在衬底上后,在不破坏金刚石薄膜自身结构完整性的前提下很难将其剥离。因此在场发射性能测试中一般是将...; 关键词：电子场发射金刚石-石墨烯复合薄膜不同衬底 MPCVD

AlN陶瓷衬底金刚石薄膜残余应力分析与调控: 《硅酸盐通报》2024年第10期3814-3823,3842,共11页师云龙林荣川魏莎莎隋玉胜董天雷; 福建省高校产学研合作项目(2021H6031,2022H6030);福建省科技计划引导性项目(2023H0014)。; 为系统研究金刚石薄膜残余应力的产生与分布,寻求缓解残余应力的方式,本文首先采用有限元软件ANSYS Workbench对降温过程中金刚石薄膜热应力进行模拟分析,并研究薄膜厚度对热应力的影响,然后利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),在...; 关键词：金刚石薄膜 ALN陶瓷残余应力数值模拟 MPCVD 退火处理

Effects of gallium surfactant on AlN thin films by microwave plasma chemical vapor deposition: 《Journal of Semiconductors》2024年第9期53-60,共8页Lu Wang Xulei Qin Li Zhang Kun Xu Feng Yang Shaoqian Lu Yifei Li Bosen Liu Guohao Yu Zhongming Zeng Baoshun Zhang; supported by the Key Research and Development Program of Jilin Provincial Department of Science and Technology (No. 20210201031GX);Innovation capacity building project of Jilin Province (No. 2023C031-2);The Key Research and Development Program of Jiangsu Province (No. BE2022057-1)。; In this work, AlN films were grown using gallium (Ga) as surfactant on 4° off-axis 4H-SiC substrates via microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD). We have found that AlN growth rate can be greatly improved ...; 关键词：AlN thin film MPCVD gallium surfactant nucleation layer LASER

基于专利数据的半导体单晶金刚石制备技术发展现状分析与我国发展对策研究: 《中国发明与专利》2024年第S01期41-49,共9页罗志昕程维高刘清泉陈红奎; 国家知识产权局专利局专利审查协作河南中心2023年度课题“半导体金刚石关键专利技术分析”(编号:HN20230301)研究成果。; 目前微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是制备半导体单晶金刚石的主要方法,但是制备的单晶金刚石在质量和尺寸方面还难以达到高性能半导体器件的要求,这限制了金刚石在半导体领域的产业化应用。本文基于专利数据对MPCVD法制备单晶金刚...; 关键词：金刚石单晶半导体 MPCVD 专利分析

MPCVD法生长宝石级合成金刚石技术进展的路径分析: 《宝石和宝石学杂志（中英文）》2024年第S01期38-39,共2页梁伟章丘志力丁永康孙媛马瑛张振邦; 国家自然科学基金项目(42073008);广西自然科学基金项目(2015GXNSFBA139197)。; 微波等离子体法(MPCVD)是目前CVD合成钻石较为优选技术,具有能量输入稳定、工艺可控性高、生长质量好等显著优势,该技术可生长晶体颗粒大、净度高和颜色好的优质宝石级金刚石,快速发展为宝石级合成金刚石商业化生产应用的主流技术之一,...; 关键词：MPCVD 宝石级金刚石技术路径

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