云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 物理气相沉积

物理气相沉积: 作品数：689被引量：2087H指数：20; 导出分析报告; 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>; 相关作者：宫声凯郭洪波徐惠彬彭徽赫晓东更多>>; 相关机构：北京航空航天大学哈尔滨工业大学中国科学院广东工业大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金国家重点基础研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>