离子能量

作品数：94被引量：138H指数：6
导出分析报告
相关领域：理学更多>>
相关作者：杭凌侠弥谦严一心潘永强于达仁更多>>
相关机构：朗姆研究公司西安工业大学哈尔滨工业大学中国科学院更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金陕西省教育厅科研计划项目国家教育部博士点基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
离子能量对 IBAD-MgO 双轴织构的影响
《上海大学学报(自然科学版)》2025年第1期115-121,共7页瞿天睿 韩超 高波 白传易 李敏娟 彭思思 周迪帆 蔡传兵 
国家重点研发计划资助项目(2022YFE03150200);国家自然科学基金资助项目(52172271,52307026,52477022);上海市科技创新行动计划资助项目(23511101600)。
采用离子束辅助沉积(ion beam-assisted deposition,IBAD)技术在非织构的金属基带上沉积双轴织构的MgO薄膜,研究了不同Ar^(+)离子束流能量对MgO双轴织构和表面形貌的影响.结果表明:在700∼1000 eV离子能量范围内,MgO薄膜的双轴织构随离...
关键词：离子束辅助沉积 离子能量 双轴织构 
高分辨率阻滞势分析仪设计与验证
《真空与低温》2024年第5期528-534,共7页田恺 张宏 祁小峰 李贺 陈新伟 田东鹏 
甘肃省自然科学基金(22JR5RA785)。
为提高电推进羽流离子能量分布测量分辨率,设计研制了结构尺寸为Φ19 mm×24 mm的4栅型阻滞势分析仪(RPA)。设计关键参数为栅网网孔直径为0.3 mm,网孔心距为0.5 mm,电子排斥栅和离子阻滞势栅间距2 mm,能量分辨率为9.8%。RPA在LIPS-200...
关键词：阻滞势分析仪 离子能量分布 离子能量分辨率 电推进羽流 
带有射频偏压源的感性耦合Ar/O_(2)/Cl_(2)等离子体放电的混合模拟研究被引量：1
《物理学报》2024年第4期209-223,共15页佟磊 赵明亮 张钰如 宋远红 王友年 
国家自然科学基金(批准号:12275041,11935005,12020101005)资助的课题.
在刻蚀工艺中,通常会在感性耦合等离子体源的下极板上施加偏压源,以实现对离子能量和离子通量的独立调控.本文采用整体模型双向耦合一维流体鞘层模型,在Ar/O_(2)/Cl_(2)放电中,研究了偏压幅值和频率对等离子体特性及离子能量角度分布的...
关键词：感性耦合等离子体 偏压源 混合模型 离子能量 离子通量 
第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术
《真空》2023年第6期87-88,共2页张以忱 
(接2023年第5期88页)(1)可大大减轻因高强度离子轰击造成的衬底损伤。如在上述的射频等离子体反应器中,离子能量可达100e V,很容易使那些具有亚微米尺寸的线路特征的器件中的衬底(如砷化锌、磷化铟、碲镉汞等Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半...
关键词：微波放电 等离子体反应器 离子轰击 离子能量 磷化铟 射频放电 碲镉汞 微米尺寸 
高能脉冲磁控溅射镀膜机
《中国科学院院刊》2023年第S01期45-45,共1页
主要技术与性能指标,等离子体离化率:Ti等离子体>80%,离子能量控制:10-1000 eV,离子注入电压:40 kV(可定制),搭载等离子体诊断系统(OES)、离子能量监控系统,朗缪尔探针:6个检测探针,极限真空:1×10^(−4) Pa,真空室有效尺寸:Φ1000×1000...
关键词：有效尺寸 等离子体诊断 离子能量 磁控溅射电源 高能脉冲 朗缪尔探针 极限真空 离子注入 
质子重离子治癌及QA探测器
《中国科学院院刊》2023年第S01期2-2,共1页
主要技术与性能指标,束线分条电离室:条宽1 mm;条数:60,终端固定式分条电离室:X、Y每个方向250个读出条;有效面积250 mm×250 mm;动态范围10 pA-755 nA,布拉格峰探测器:可测碳离子能量范围80-400 MeV/u;128层;分辨率0.2 mm;有效面积为10...
关键词：离子能量 重离子治癌 动态范围 电离室 读出条 布拉格峰 探测器 性能指标 
放电电压形式对空心阴极甲烷放电等离子体组分及离子能量的影响研究被引量：1
《西安交通大学学报》2023年第5期171-181,共11页连张翔 安政杰 罗煌锦 李烨 赵军平 张乔根 
国家电网有限公司科技资助项目(52094020006W)。
为了优化空心阴极结构中有机气体放电制备类金刚石薄膜的放电电压形式,掌握放电等离子体组分及能量特性,采用直流和重复频率脉冲两种外施电压形式,运用发射光谱诊断法结合数值仿真研究了不同放电电压形式下空心阴极甲烷放电等离子体组...
关键词：类金刚石薄膜 放电电压形式 甲烷分子解离程度 单碳离子比例 离子能量分布 
低能高通量氦离子辐照下W_(28)Ta_(28)V_(28)Zr_(8)Sc_(8)高熵合金损伤行为研究被引量：4
《稀有金属材料与工程》2023年第1期339-344,共6页王亚锋 陈志鸿 徐云凤 罗来马 昝祥 朱晓勇 吴玉程 
国家重点研发磁约束聚变能发展专项(2019YFE03120002)。
采用放电等离子烧结技术制备了W_(28)Ta_(28)V_(28)Zr_(8)Sc_(8)高熵合金,研究了高熵合金在低能量、高通量氦离子辐照下的损伤行为。结果表明,在相同He离子辐照参数下,高熵合金表现出比纯W更优异的抗辐照损伤性能。不同He离子能量条件下...
关键词：高熵合金 He离子辐照 Fuzz结构 He离子能量 
基于E×B探针系统的霍尔推力器束流特性分析
《上海航天（中英文）》2022年第5期94-100,133,共8页余盛楠 梁子轩 徐宗琦 王平阳 杭观荣 
上海市科学技术委员会课题(17DZ2280800)。
为探究霍尔推力器羽流中各价态离子能量分布,并以此为依据评估推力器性能,根据Wien条件,设计了一种用于测量稀薄等离子体羽流场不同电荷状态离子分布的E×B探针系统。基于对探针最大输入角离子的运动分析,推导了仅与探针结构参数相关的...
关键词：霍尔推力器 离子能量 能量分辨率 E×B探针系统 羽流诊断 
基于磁过滤阴极真空弧沉积技术制备AlCrTiZrMo非晶高熵合金薄膜及其性能研究
《北京师范大学学报（自然科学版）》2022年第5期674-680,共7页陈淑年 廖斌 欧阳晓平 
国家自然科学基金资助项目(U1865206)。
基于磁过滤阴极真空弧沉积技术研究了负偏压对AlCrTiZrMo非晶高熵合金薄膜的形貌、元素以及微观结构的影响,进而讨论了AlCrTiZrMo非晶高熵合金薄膜的成膜及结晶机制.通过SEM、EDS、XRD和TEM对薄膜的形貌与结构等性能进行测试分析,实验...
关键词：磁过滤阴极真空弧 非晶高熵合金薄膜 沉积离子能量 
全选清除导出
共10页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部