离子轰击

作品数：227被引量：318H指数：8
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离子轰击二次发射电子枪束流引出问题的仿真与实验研究
《电子显微学报》2024年第3期309-316,共8页谢洋 刘莹 刘俊标 王鹏飞 王大正 高召顺 李亮 
中国科学院科研仪器设备研制项目(Nos.GJJSTD20200004,YJKYYQ20200068).
为应对电子束荧光技术对电子枪的需求,本文开展了离子轰击二次发射电子枪的研究工作。首先介绍了离子轰击二次发射电子枪的工作原理,将工作过程划分为离子产生及引出、二次电子产生和引出两个部分并展开理论分析;基于辉光放电原理建立...
关键词：电子枪 离子轰击二次电子发射 气体放电 电子束荧光技术 
第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术
《真空》2023年第6期87-88,共2页张以忱 
(接2023年第5期88页)(1)可大大减轻因高强度离子轰击造成的衬底损伤。如在上述的射频等离子体反应器中,离子能量可达100e V,很容易使那些具有亚微米尺寸的线路特征的器件中的衬底(如砷化锌、磷化铟、碲镉汞等Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半...
关键词：微波放电 等离子体反应器 离子轰击 离子能量 磷化铟 射频放电 碲镉汞 微米尺寸 
离子轰击对致密T区结构Cr薄膜残余应力的影响
《稀有金属材料与工程》2023年第2期737-744,共8页李玉阁 赵宜妮 屈亚哲 冷云杉 雷明凯 
国家重点基础研究发展计划(2018YFA0704603);国家自然科学基金(51601029,U21B2078);中央高校基本科研业务费专项资金(DUT19JC52)。
对于能量沉积技术,离子轰击是独立于晶粒尺寸之外影响残余应力的重要因素,沉积束流能量和通量是决定残余应力演化的关键参数。本研究分别采用高功率调制脉冲磁控溅射(modulated pulsed power magnetron sputtering,MPPMS)和高功率深振...
关键词：高功率调制脉冲磁控溅射 高功率深振荡磁控溅射 Cr薄膜 残余应力 离子轰击 
基于双层辉光离子渗金属的离子轰击金属靶材的计算机模拟被引量：1
《太原理工大学学报》2023年第1期48-55,共8页李祥 田林海 姚晓红 林乃明 王振霞 秦林 吴玉程 
国家自然科学基金资助项目(52020105014)。
轰击离子的产生、输运以及离子对靶材的溅射过程是实现双层辉光等离子渗金属的重要一环。基于辉光放电的理论以及COMSOL Multiphysics软件对典型的双层辉光等离子渗金属装置进行了建模,分析了轰击离子的能量范围,结合经典散射理论和蒙...
关键词：双层辉光离子渗金属 等离子体 溅射 蒙特卡罗 计算机模拟 
清洗工艺对GH4099蜂窝夹层结构钎焊性能的影响被引量：1
《表面技术》2023年第1期372-380,393,共10页马平义 陈旭 韩兴 刘海建 石文展 彭赫力 
上海市优秀学术/技术带头人计划项目(21XD1433900);航天八院产学研合作基金项目(USCAST2020-3)。
目的研究激光清洗和离子轰击对GH4099蜂窝夹层结构钎焊性能的影响,优化GH4099蜂窝夹层结构焊前清洗工艺。方法分别用400#砂纸、不同激光功率(60~200 W)、不同离子轰击时间(1~2 h)对GH4099带材表面进行了砂纸打磨、激光清洗和离子轰击试...
关键词：GH4099 蜂窝夹层结构 激光清洗 离子轰击 钎焊 
极紫外同步辐射光表征离子束诱导的纳米波纹
《光学学报》2022年第19期210-214,共5页李金昱 杨高元 臧昊峰 陈火耀 霍同林 周洪军 鲁拥华 刘颖 洪义麟 付绍军 
国家自然科学基金(11675169)。
离子轰击固体表面诱导的纳米结构具有小周期(10~100 nm)、大面积、准周期的特点。利用氩离子轰击在减反膜上制备出横向特征尺寸在100 nm附近、横向周期性与纵向连续性逐步明显的准周期纳米波纹结构。为了增大表征面积,利用极紫外散射法...
关键词：极紫外 散射测量 同步辐射 离子轰击 自组织纳米结构 准周期 
260~520 keV Kr^(q+)(8≤q≤17)离子轰击Al靶产生的可见光辐射
《光谱学与光谱分析》2022年第2期544-548,共5页徐秋梅 
国家重点研发计划材料基因工程关键技术及支撑平台重点专项(2017YFB0702202)资助。
低速高电荷态离子与金属表面相互作用,原子从靶材表面溅射,其中一部分处于激发态的溅射原子通过辐射退激产生可见光。在这一相互作用过程中,低速高电荷态离子从靶材表面捕获一个或多个电子进入其激发态,这些处于激发态的入射离子也会通...
关键词：低速高电荷态离子 原子谱线 可见光辐射 激发概率 
第二十一讲 真空卷绕镀膜
《真空》2021年第6期86-88,共3页张以忱 
(接2021年第5期112页)荷能粒子轰击固体表面,引起表面各种粒子,如原子、分子或团束从该物体表面逸出的现象称"溅射"。在靶阴极馈入直流(或高频、中频)电源后,电场使气体电离,所产生的电子在磁场束缚下,在靶附近做螺旋运动,提高氩气的离...
关键词：螺旋运动 气体电离 粒子轰击 离子轰击 溅射沉积 柔性基材 靶材 固体表面 
探析高新技术在船机修造中的应用
《装备维修技术》2021年第22期0036-0036,共1页王斌馨 
积极将配套高新技术引入到船机修造中,有助于船舶产业生产水平的发展。基于此,本文详细阐述了表面强化改性高新技术、离子轰击渗广技术、焊接高新技术这几种高新技术在船机修造中的应用,实现了对船机修造工作的深入分析,希望能够为船机...
关键词：船机修造 表面强化 离子轰击 
多元稀土六硼化物微观结构、电子发射及光吸收性能研究
《中国科技成果》2020年第20期21-22,共2页包黎红 特古斯 乌仁图雅 
稀土六硼化物单晶体具有简立方晶体结构,其中体积较大的稀土原子被包围在6个硼原子组成的八面体框架中,晶格框架中硼原子之间的共价键结合使其具有熔点高、硬度大、热稳定性好和化学稳定性高等特点.与其他高温热阴极材料相比,具有逸出...
关键词：硼原子 硼化物 共价键结合 发射电流密度 离子轰击 电子发射 调节反应 纳米金属 
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