第二十一讲 真空卷绕镀膜  

No.21:Vacuum Roll-to-Roll Coating

作　　者：张以忱[1] ZHANG Yi-chen

机构地区：[1]东北大学,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空》2021年第6期86-88,共3页Vacuum

摘　　要：(接2021年第5期112页)荷能粒子轰击固体表面,引起表面各种粒子,如原子、分子或团束从该物体表面逸出的现象称"溅射"。在靶阴极馈入直流(或高频、中频)电源后,电场使气体电离,所产生的电子在磁场束缚下,在靶附近做螺旋运动,提高氩气的离化率;电离后的氩气正离子轰击阴极靶材,使靶材粒子以原子或分子态的形式溅射沉积在柔性基材表面。

关 键 词：螺旋运动 气体电离 粒子轰击 离子轰击 溅射沉积 柔性基材 靶材 固体表面 

分 类 号：O484[理学—固体物理] TB43[理学—物理]