极限真空

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功能性甜味剂——阿洛酮糖的结晶方法及技术研究
《粮食与饲料工业》2024年第6期32-34,37,共4页钟华 鲁艳秋 郜培 
河南工业大学小麦和玉米深加工国家工程研究中心开放课题资助项目(NL2022005)。
阿洛酮糖(D-psicose)作为一种重要的功能性甜味剂,因其低热量、高甜度及多种药理活性而备受关注,被美国食品导航网评价为最具潜力的蔗糖“理想替代品”,2011年,D-阿洛酮糖被FDA认证安全,可在食品和膳食领域作为添加剂使用。然而,D-阿洛...
关键词：阿洛酮糖 结晶工艺 极限真空蒸发结晶 冷却结晶 收率 纯度 
耦合器热窗的极限真空方案模拟分析
《真空》2024年第4期52-57,共6页岳泰 何超峰 王希龙 孙兴中 云永琥 陈伟 杜文清 陈耀锋 
深圳市科技计划资助项目(JCYJ20220530140807017)。
深圳中能高重复频率X射线自由电子激光装置(简称S^(3)FEL)注入器1.3 GHz低温超导加速模组的高功率耦合器热窗的真空泵端口通过角阀连接到真空总管,从而便于安装、检漏和故障诊断。为了保证超导加速模组降温前耦合器热窗的极限压力达标,...
关键词：低温模组 耦合器 热窗 真空 
扩散型多通道水喷射真空泵抽气性能分析
《化工装备技术》2024年第3期36-39,共4页陈小康 
根据传统单通道水喷射真空泵结构特性,分析了扩散型多通道水喷射真空泵的性能优势与结构特点,并从影响扩散型多通道水喷射真空泵性能的关键尺寸参数,进行了实测验证。对不同规格扩散型单通道、多通道水喷射真空泵的实际样机进行测试,得...
关键词：扩散型 多通道 水喷射真空泵 极限真空 抽气性能 
分子束外延系统
《中国科学院院刊》2023年第S01期31-31,共1页
主要技术与性能指标,极限真空优于10^(−9)Pa,束源炉最高温度1300℃,双驱控温,控温精度±1℃,GaAs外延材料:厚度不均匀性≤±2%;掺杂不均匀性≤±3%,表面缺陷(1μm厚GaAs):≤50个/cm^(2),电学性能(厚度2μm GaAs):背景载流子浓度n≤3×10...
关键词：分子束外延 外延材料 迁移率 束源 极限真空 控温精度 电学性能 表面缺陷 
电子束蒸发镀膜设备
《中国科学院院刊》2023年第S01期41-41,共1页
主要技术与性能指标,极限真空度:<2.6×10^(−5)Pa,系统真空漏率:≤6.6×10^(−8)Pa.l/s,膜厚不均匀度:≤±5%,片间不均匀性:≤±5%,批间不均匀性:≤±5%,主要应用,半导体、LED科学研究,代表性应用成果,可满足铝、钛、铬、钒、镍、银、铟...
关键词：不均匀度 沉积薄膜 极限真空度 不均匀性 电子束蒸发镀膜 半导体 科学研究 性能指标 
原子层沉积系统
《中国科学院院刊》2023年第S01期42-42,共1页
主要技术与性能指标,极限真空:15 Pa,非均匀性:氧化铝≤±1%,沉积材料:氧化物、氮化物、单质等,气路:最大6路液态前驱体源,主要应用,微电子器件、光伏、催化等领域的薄膜沉积,代表性应用成果。主要用户单位,清华大学、北京大学、中国科...
关键词：微电子器件 极限真空 原子层沉积 薄膜沉积 应用成果 中国科学院半导体研究所 非均匀性 氮化物 
碳化硅晶体生长炉
《中国科学院院刊》2023年第S01期43-43,共1页
主要技术与性能指标,碳化硅晶体直径:≥6英寸,生长腔体真空度极限真空:优于5.0×10^(−5) Pa,生长腔体保压12 h后真空度:≤5 Pa,生长腔压力控制范围:100-90000 Pa,最高加热温度:≥2600℃,共6路特气(包括Ar、N_(2)、H_(2)3种气体),主要应...
关键词：碳化硅 晶体生长炉 极限真空 石油勘探 航空航天 真空度 光存储 加热温度 
磁控溅射台
《中国科学院院刊》2023年第S01期44-44,共1页
主要技术与性能指标,系统极限真空度:≤6×10^(−5) Pa,溅射材料:Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Ti、Al、Si等,片内镀膜厚度均匀性:4英寸样片片间≤±2.9%;批间膜厚均匀性≤±3.9%(连续10炉),镀膜时工作真空度:0.1-10 Pa;起辉压力:0.3 Pa主要应...
关键词：极限真空度 厚度均匀性 膜厚均匀性 磁控溅射 金属薄膜 介质薄膜 集成电路 镀膜 
高能脉冲磁控溅射镀膜机
《中国科学院院刊》2023年第S01期45-45,共1页
主要技术与性能指标,等离子体离化率:Ti等离子体>80%,离子能量控制:10-1000 eV,离子注入电压:40 kV(可定制),搭载等离子体诊断系统(OES)、离子能量监控系统,朗缪尔探针:6个检测探针,极限真空:1×10^(−4) Pa,真空室有效尺寸:Φ1000×1000...
关键词：有效尺寸 等离子体诊断 离子能量 磁控溅射电源 高能脉冲 朗缪尔探针 极限真空 离子注入 
仪器分子泵
《中国科学院院刊》2023年第S01期50-50,共1页
主要技术与性能指标,FF-40/25,N_(2)抽速22 L/s,极限真空1×10^(−4) Pa(KF),额定转速36000 r/min,N_(2)压缩比10^(6),重量3 kg FF-63/80,N_(2)抽速62 L/s,极限真空5×10^(−6) Pa(CF),额定转速72000 r/min,N_(2)压缩比10^(9),重量3.5 kg ...
关键词：极限真空 额定转速 分子泵 压缩比 抽速 性能指标 
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