金属薄膜

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空间天线用金属薄膜/有机材料结构脉冲激光刻蚀界面特性研究
《真空与低温》2024年第5期522-527,共6页王瑞 格桑顿珠 魏广 杨建平 胡汉军 尚凯文 吴敢 
真空技术与物理重点实验室基金(HTK2022KL510003);兰州市科技计划项目。
为了研究脉冲激光刻蚀过程中金属薄膜/有机材料界面的特性变化,以典型的有机材料聚酰亚胺(PolyImide,PI)为基底,通过物理气相沉积在其表面制备了1μm厚的金属Cu薄膜,分别采用短脉冲(100 ns)和超短脉冲(290 fs)激光刻蚀去除部分金属薄膜...
关键词:Cu/PI薄膜 激光刻蚀 介电性能 界面特性 
中频磁控溅射沉积金属薄膜技术的研究进展
《科技风》2024年第14期4-6,共3页林翊楠 张天昊 黄基智 杨富国 
佛山科学技术学院学术基金项目资助;佛山科学技术学院大学生创新创业训练计划项目资助;广东大学生科技创新培育专项资金资助项目(编号:pdjh2022b0549);佛山市土壤污染修复工程技术研究中心。
中频磁控溅射沉积金属薄膜是真空镀膜技术中最常用的技术之一,目前在科学研究及工业生产中都得到了长足发展。在沉积金属薄膜过程中的工艺参数如中频电流、脉冲负偏压、沉积时间等对薄膜结构及性能的影响研究多分散于不同的文献中,不利...
关键词:中频磁控溅射 金属薄膜 研究进展 
退火对不同金属薄膜上的BN/MoS_(2)异质结构形貌、结构和电性能的影响
《材料热处理学报》2024年第5期142-151,共10页刘春泉 熊芬 马佳仪 周锦添 蒋玉琳 贺紫怡 陈敏纳 张颖 
湖南省科技人才托举工程项目“小荷”科技人才专项(2023TJ-X10);湖南省自然科学基金项目(2023JJ50108);湖南省创新型省份建设专项科普专题项目(2023ZK4316);湖南省应用特色学科材料科学与工程学科(湘教通[2022]351号);湖南工学院自科培育项目(2022HY007);2023年度大学生创新创业训练计划项目(国家级:S202311528049、S202311528056X,省级:S202311528111、S202311528096X)。
以过渡金属硫化物、氮化硼等二维层状材料为基础,研究了一种简单可靠的集成电路制造方法。在这项工作中,采用射频磁控溅射在室温下逐层制备了M/BN/MoS_(2)(M=Al、Ti、Mo和Ag)纳米薄膜,其中BN/MoS_(2)为未发生化学反应的异质结构,然后在...
关键词:BN/MoS_(2)异质结构 金半接触 连续逐层沉积 退火 射频磁控溅射 
基于X射线吸收光谱全能谱拟合的金属薄膜面密度测量方法被引量:1
《激光与光电子学进展》2024年第5期238-244,共7页王硕然 鄢志鸿 孙亦宸 王琦 罗守华 
国家自然科学基金(61871126);江苏省重点研发计划(BE2022828);江苏省前沿引领技术基础研究专项(BK20222002)。
提出一种基于X射线吸收光谱(XAS)的全能谱拟合方法,先通过样品元素的衰减系数曲线和射线源的本底能谱曲线获得样品的理论吸收能谱,再将理论吸收能谱与实际穿过样品的吸收能谱进行拟合,由退火算法计算得到薄膜样品的元素面密度值。该方...
关键词:X射线吸收光谱 金属薄膜 面密度 
透明金属薄膜在电磁屏蔽中的应用被引量:1
《纤维复合材料》2024年第1期124-128,共5页魏程 李刚 王天琦 王威力 孙海洋 王宝瑞 单鹏宇 
由于电磁辐射导致电子技术领域的信息安全问题备受关注,寻找降低电子设备运行时伴随的辐射的方法,是亟待解决的技术问题之一,本文对真空沉积法制备的透明金属薄膜在电子元器件显示器屏幕上的电磁屏蔽效能进行了理论分析与试验验证,讨论...
关键词:电磁屏蔽 薄膜涂层 屏蔽效能 光学透明屏幕 
金属薄膜的流延工艺研究
《粉末冶金工业》2024年第1期89-93,110,共6页曹卜元 方宇飞 王妍 蒲博玮 任尚远 李荣 
流延成形方法应用于金属薄膜的生产中,由于金属粉末自身比重大以及流延工艺的制备过程复杂,金属薄膜易变形开裂。实验研究了金属流延浆料中各添加剂含量对金属薄膜成形过程和烧结后性能的影响。结果表明:粘结剂含量与粘度对金属薄膜性...
关键词:金属薄膜 粉末 粘度 气孔率 柔韧性 
基于微纳光纤光子晶体-金薄膜的Tamm态结构设计与应用研究
《五邑大学学报(自然科学版)》2023年第4期18-22,30,共6页李春冉 于洋 
国家自然科学基金资助项目(30618051)。
通常情况下,金属-光子晶体集成结构能够实现Tamm态,但器件制备工艺复杂,且需要冗杂的耦合设备与探测设备相连接;在光纤端面通过沉积不同材料的周期性结构制备Tamm态器件,也面临着制备工艺复杂、不易微型化等难题.本文提出一种微纳光纤...
关键词:微纳光纤 金属薄膜 TAMM态 
大面积图案化电场增强薄膜的设计及制备研究被引量:4
《中国激光》2023年第23期137-142,共6页孙伟 洪瑞金 陶春先 张大伟 
国家自然科学基金(61775141,62075133,62275159)。
采用有限时域差分(FDTD)法仿真了不同闪耀光栅结构上的银(Ag)薄膜模型。在633 nm的激发光下,闪耀光栅上周期为1/1200 mm、厚度为15 nm的Ag薄膜模型产生了较强的局域表面等离子体共振(LSPR)效应。利用机械刻划工艺和电子束蒸发镀膜工艺...
关键词:薄膜 局域表面等离子体共振 有限时域差分法 金属薄膜 闪耀光栅 表面增强拉曼散射 
X光弯晶成像金属薄膜面密度测量技术
《强激光与粒子束》2023年第11期43-49,共7页司昊轩 许昊 杜慧瑶 伊圣振 王占山 
国家自然科学基金项目(11875202);国家重点研发计划项目(2019YFE03080200)。
针对靶用高Z金属薄膜的无损检测需求,提出了一种通过超环面弯晶聚焦型X光单能成像器件,实现金属薄膜均匀性及面密度等参数精确标定的测量技术。该技术即通过高通量、高单能性成像,定量获取薄膜X光透过率及其空间分布,有效提升了面密度...
关键词:金属薄膜 X射线成像 超环面弯晶 高谱分辨 面密度测量 
强场宽带太赫兹波辐射的研究进展被引量:3
《光学学报》2023年第15期399-420,共22页赵航 赵跃进 张亮亮 张存林 
国家自然科学基金(61935001,12074272,62205020);国家重点研发计划(2020YFB2009303);中国博士后科学基金(2022M710372);北京市自然科学基金(JQ18015)。
太赫兹光谱分析和检测技术在材料特性研究、医学诊断、环境监控等方面具有广阔的应用前景。目前高性能太赫兹源的缺乏是太赫兹光谱检测和成像技术发展缓慢的制约因素之一。因此,强场宽带太赫兹源的开发一直是太赫兹领域的研究重点。综...
关键词:超快光学 太赫兹辐射 金属薄膜 气体等离子体 液体等离子体 
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