吴敢

作品数:21被引量:73H指数:5
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供职机构:兰州空间技术物理研究所更多>>
发文主题:激光刻蚀金属薄膜脉冲激光脉冲激光沉积天线更多>>
发文领域:电子电信理学航空宇航科学技术一般工业技术更多>>
发文期刊:《中国激光》《物理学报》《激光与红外》《微纳电子技术》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金真空低温技术与物理国家级重点实验室基金更多>>
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空间天线用金属薄膜/有机材料结构脉冲激光刻蚀界面特性研究
《真空与低温》2024年第5期522-527,共6页王瑞 格桑顿珠 魏广 杨建平 胡汉军 尚凯文 吴敢 
真空技术与物理重点实验室基金(HTK2022KL510003);兰州市科技计划项目。
为了研究脉冲激光刻蚀过程中金属薄膜/有机材料界面的特性变化,以典型的有机材料聚酰亚胺(PolyImide,PI)为基底,通过物理气相沉积在其表面制备了1μm厚的金属Cu薄膜,分别采用短脉冲(100 ns)和超短脉冲(290 fs)激光刻蚀去除部分金属薄膜...
关键词:Cu/PI薄膜 激光刻蚀 介电性能 界面特性 
Tedlar复合材料表面飞秒激光刻蚀铝薄膜技术研究被引量:4
《中国激光》2021年第10期166-175,共10页尚凯文 吴敢 刘孝丽 杨建平 王瑞 
国家自然科学基金(51905471)。
研究不同的工艺参数对Tedlar复合材料-铝薄膜(厚度为2μm)表面形貌的影响,理论优化得到合理的工艺参数。研究结果表明,单位时间内极多数量飞秒激光脉冲的积累作用,使得铝膜表面的作用区域温度在极短时间内快速升高并超过铝的熔点和气化...
关键词:激光光学 Tedlar复合材料 飞秒激光刻蚀 工艺参数 铝膜 仿真分析 
柔性气阻球帆主动离轨装置及其在轨飞行验证被引量:7
《空间碎片研究》2021年第3期29-33,共5页曹生珠 王虎 张凯锋 张晓敏 李学磊 邢振华 李林 吴敢 周超 李坤 王健 
由于"星链"等巨型星座的持续部署,低轨空间碎片已经呈现爆发式增长的趋势,急需主动离轨技术以减缓碎片增长。为验证基于球帆的主动离轨技术,开展了针对"北理工一号"(BP-1b)卫星的主动离轨任务设计,建立了BP-1b的轨道力学模型,采用通用...
关键词:碎片清除 主动离轨 球帆 飞行验证 
激光刻蚀聚酰亚胺基底铝薄膜的温度场模拟被引量:5
《中国激光》2015年第7期112-116,共5页刘孝丽 熊玉卿 杨建平 王瑞 吴敢 任妮 
国家自然科学基金(51135005)
为了研究1064 nm激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理,采用有限元分析软件ANSYS模拟了激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜的刻蚀过程,分析了激光脉冲作用于铝薄膜表面时的能量传输及转化过程,获得了铝薄膜及聚酰亚胺基底中的温度场分布,进...
关键词:薄膜 激光刻蚀 铝薄膜 聚酰亚胺 温度场 分离机制 
用于金属薄膜刻蚀的激光束能量分布整形研究
《真空与低温》2015年第1期38-41,共4页杨建平 陈学康 吴敢 王瑞 
国家重点自然科学基金NSFC(51135005)
针对碳纤维复合材料基底上的金属薄膜图形刻蚀需求,研究了一种基于光学波前衍射变换原理的能量/激光功率密度分布整形方法,并设计制作了衍射元件。利用基模(TEM00)和非基模输出的红外激光分别进行了验证实验,用整形后的激光光束进行刻蚀...
关键词:激光刻蚀 能量密度分布 衍射元件 光束整形 
Cu(Ni80 Cr20)-陶瓷复合机体的激光刻蚀机制被引量:1
《宇航材料工艺》2015年第1期53-56,共4页韦波 王瑞 吴敢 杨建平 
为解决陶瓷基底金属薄膜一体化部件的激光微加工精度问题,研究了纳秒脉冲激光作用于Cu(Ni80Cr20)-Al2O3复合机体的薄膜/基底界面分离机制。结果表明:激光刻蚀Cu时,光斑扫过的区域的Cu能够完全气化,得到较光滑的图案;在刻蚀Ni80Cr20时,...
关键词:脉冲激光 激光刻蚀 复合机体 物理机制 
金属薄膜/有机材料基体系激光刻蚀研究(英文)被引量:3
《稀有金属材料与工程》2013年第S2期240-242,共3页王瑞 陈学康 任妮 吴敢 杨建平 曹生珠 
NSFC(51135005)
激光刻蚀技术用于卫星天线的制造,用于刻蚀由不同材料体系组成天线表面的金属薄膜,由于金属、有机材料各层对激光的热和光物理特性存在很大的差异,因而每层材料的物理特性对激光刻蚀的结果产生影响。基于在多层材料表面金属薄膜激光刻...
关键词:激光刻蚀 界面效应 金属薄膜过渡层 
激光刻蚀技术及其在航天器天线制造中的应用被引量:10
《航天制造技术》2011年第3期51-54,62,共5页杨建平 陈学康 吴敢 王瑞 曹生珠 
以可实现频率复用、高灵敏度和低噪声的航天器先进固面天线反射器(极化和频率敏感反射器等)为例,主要介绍了利用镀膜/激光刻蚀技术进行反射器表面高精度金属薄膜图形制作过程中的关键技术问题和解决措施,同时简要介绍了已尝试过的三维...
关键词:激光刻蚀 三维薄膜图形 航天器 天线反射器 
纳秒激光刻蚀复合材料基金属薄膜机制研究被引量:9
《中国激光》2011年第6期256-260,共5页杨建平 陈学康 吴敢 王瑞 
通过分析激光脉冲作用于金属薄膜后的能量吸收及演化过程,提出了金属薄膜/复合材料组合体系在纳秒级脉冲激光作用下,因复合材料易气化的特性而存在的特有的薄膜/基底界面分离现象。提出利用这一特有的界面分离过程,可通过控制激光能量...
关键词:激光技术 激光刻蚀 金属薄膜 复合材料基底 物理机制 
金属薄膜/复合材料结构高低温循环过程的热应力分析被引量:5
《真空与低温》2011年第2期70-74,84,共6页杨建平 曹生珠 王瑞 吴敢 陈学康 
民用航天基础科研(A0320060530)资助
分析了用于卫星天线反射器的金属薄膜/复合材料结构在模拟空间环境寿命试验的高低温循环过程中的应力;给出了金属薄膜在经历高低温循环时产生微裂纹的机理。根据微裂纹产生机理,提出了选用合适的过渡层材料在金属薄膜和复合材料基底之...
关键词:金属薄膜 复合材料基底 高低温循环 应力 微裂纹 
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