熊玉卿

作品数：65被引量：228H指数：8
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供职机构：兰州空间技术物理研究所更多>>
发文主题：滤光片光学薄膜长波红外原子层沉积基底更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《中国科技成果》《真空科学与技术学报》《徐州工程学院学报（自然科学版）》《真空与低温》更多>>
所获基金：表面工程技术重点实验室基金表面工程技术国家级重点实验室基金国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
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化学气相沉积SiC涂层反应特性及沉积过程的模拟研究被引量：1
《真空与低温》2024年第1期98-104,共7页高恒蛟 曹生珠 张凯锋 丁旭 刘同 李毅 李坤 成功 熊玉卿 
装备预研重点实验室重点基金项目(ZD172301);国家自然科学基金(12305289、U1937601);基础科研项目(JCKY2020203 b019);甘肃省自然科学基金(23JRRA1363)。
借助基于有限元原理的COMSOL软件和分子动力学模拟原理的Reax FF软件对化学气相沉积技术制备SiC涂层的反应特性及沉积过程进行模拟研究,为高温抗氧化复合涂层体系中SiC中间层的工艺优化及制备提供理论支持。结果表明,化学气相沉积SiC涂...
关键词：CVD SIC涂层 反应特性 生长过程 入射能量 
空间飞行器用薄膜温度/应变传感技术研究被引量：1
《真空与低温》2024年第1期10-22,共13页马东锋 熊玉卿 何延春 张凯峰 曹生珠 
甘肃省青年科技基金(22JR5RA788)。
随着功能薄膜制备方法及微细加工技术的日益成熟,基于各类薄膜敏感元件的薄膜传感技术蓬勃发展。薄膜传感器件尺寸小、集成度高、灵敏度高,在深空探测、空间飞行器结构健康监测、载人航天等领域展现出广阔的应用前景。针对空间飞行器的...
关键词：薄膜传感器 温度传感 应变传感 智能蒙皮 
退火温度对Ta_(2)O_(5)薄膜光学和表面特性的影响被引量：1
《真空与低温》2024年第1期78-82,共5页李坤 何延春 王兰喜 周超 贺颖 王虎 王艺 熊玉卿 
重点实验室基金(HTKJ2021KL510003)。
针对退火温度影响Ta_(2)O_(5)薄膜的光学和表面特性的问题,采用电子束蒸发技术在石英基底上制备了该薄膜,并将薄膜样品分别在200℃、400℃和600℃下进行退火。利用光谱仪测试了薄膜的透射率并反演计算得到薄膜的折射率和消光系数的变化...
关键词：Ta_(2)O_(5)薄膜 退火温度 光学 表面 
光子筛:研究进展及空间应用前景被引量：2
《真空与低温》2022年第6期623-631,共9页熊玉卿 李坤 王瑞 王志民 
重点实验室基金(HTKJ2021KL510003)。
光子筛是一种在菲涅尔波带片基础上发展起来的新型衍射光学元件。相比于菲涅尔波带片,光子筛可以提高成像系统的信噪比、改善成像质量,具有比其特征尺寸更小的超分辨率;相比于传统的折、反射光学器件,光子筛具有更宽的成像光谱范围。这...
关键词：光子筛 成像机制 构型设计 制作技术 应用前景 
原子层沉积技术原理及在航天领域的应用现状被引量：3
《真空科学与技术学报》2022年第4期237-243,共7页高恒蛟 熊玉卿 张文台 张凯锋 曹生珠 成功 
甘肃省自然科学基金项目(20JR5RA082);国家自然科学基金项目(U1937601)。
原子层沉积(ALD)是一种高精度涂层制备的技术,薄膜膜厚可以实现原子水平的生长。该技术在薄膜厚度的控制、膜厚均匀性、复杂形状构件的覆盖程度等方面具有很大的优势,被认为是制备高致密度涂层非常有效的方法。本文通过对原子层沉积技...
关键词：原子层沉积 涂层厚度 高致密度 温度窗口 沉积速率 
退火温度对锗薄膜光学性能和表面结构的影响被引量：2
《稀有金属材料与工程》2022年第1期18-23,共6页李坤 熊玉卿 王虎 高恒蛟 何延春 周晖 
Science and Technology Project of Gansu Province (20JR5RA082)。
研究了退火温度对电子束蒸发制备的锗薄膜光学性能和表面结构的影响规律。在硅基底上制备了厚度约850 nm的Ge薄膜,分别在350、400、450和500℃下进行退火。通过红外光谱仪测试了薄膜的透射率变化,采用光谱反演法得到了薄膜折射率和消光...
关键词：退火 锗薄膜 光学性能 表面结构 
工艺参数对硫化锌薄膜光学性能和结晶特性的影响被引量：3
《表面技术》2021年第6期184-192,共9页李坤 熊玉卿 王虎 何延春 王兰喜 周超 周晖 
装备预研重点实验室基金项目(6142207190407)。
目的研究离子源偏压和沉积温度的变化对硫化锌薄膜光学性能和结晶性能的影响规律。方法采用电子束蒸发技术,在K9玻璃基片上制备了硫化锌薄膜。采用分光光度计测试了薄膜的光学性能,利用光谱反演法得出薄膜的折射率和消光系数随波长的变...
关键词：电子束蒸发 硫化锌 薄膜 偏压 温度 折射率 结晶 
Ir/SiC界面结合力、稳定性和电子结构的第一性原理研究被引量：1
《稀有金属材料与工程》2021年第5期1569-1575,共7页成功 熊玉卿 周晖 张凯锋 高恒蛟 
基于密度泛函理论(DFT)第一性原理研究了Ir(111)/SiC(111)界面。在考虑不同堆垛位置和表面封端的基础上,共研究了6种不同的界面构型。结果表明:具有9层原子层的Ir(111)表面构型表现体相材料的特征,而12层原子层的SiC(111)表面构型能体...
关键词：第一性原理 Ir/SiC界面 粘附功 界面能 电子结构 
蒸发速率对ZnS薄膜性能的影响被引量：2
《真空》2021年第2期15-19,共5页李坤 熊玉卿 王虎 张凯锋 王兰喜 周晖 
兰州空间技术物理研究所重点实验室基金(No.9140C54030313006)。
为了研究蒸发速率对ZnS薄膜的折射率、表面形貌和应力等性能的影响,本文采用电子束蒸发技术进行了ZnS薄膜的制备。首先在K9玻璃基片上镀制薄膜,采用分光光度计进行透射率曲线的测试,利用光谱反演法得出薄膜的折射率,采用原子力显微镜表...
关键词：蒸发速率 ZNS 薄膜 折射率 应力 
物理气相沉积铜膜本征应力形成机制及影响因素研究进展被引量：1
《真空与低温》2021年第2期103-114,共12页王兰喜 张凯锋 王虎 王艺 熊玉卿 吴春华 李坤 周晖 
中国航天科技集团有限公司共性工艺研究项目(GXGY2018-05);真空技术与物理重点实验室基金(614220704030717)。
在物理气相沉积铜膜的过程中,具有高表面迁移率的铜原子在基底表面以Volmer-Weber方式生长,铜膜通常会产生显著的本征应力(压应力或张应力),宏观表现出铜膜/基底材料整体的弯曲变形,这对后期铜膜在较高精度下的加工和应用造成不利影响...
关键词：真空镀铜膜 本征应力 形成机制 影响因素 研究进展 
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