电子束蒸发

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电子束设备蒸镀铝膜工艺的研究
《真空》2024年第6期1-6,共6页付学成 瞿敏妮 权雪玲 乌李瑛 王英 程秀兰 
上海市2022年度“科技创新行动计划”集成电路领域项目(22501100800)。
利用电子束蒸镀设备沉积高质量铝膜是薄膜工艺的一个难题。为此,提出一种采用改造的三氧化二铝坩埚作为蒸镀铝膜的衬锅,通过三次添加物料预熔再蒸镀来沉积铝膜的方法,研究了不同蒸镀速度对铝膜电阻率、晶粒形貌和成分组成的影响。结果表...
关键词：电子束蒸发 铝膜 水冷坩埚 三氧化二铝坩埚 
电子束蒸发Cu膜的厚度均匀性和准确性的研究
《仪器与设备》2024年第4期527-534,共8页郭俊寒 季鸿雨 于海洋 孟腾飞 张玉涛 常子硕 遆鹏 陈瑞 
采用BAK761电子束蒸发设备制备Cu膜,研究了Dist. shield的形貌对Cu膜片内均匀性的影响。实验表明,未增加Dist. shield时,Cu膜的厚度从靠近晶振侧向远离晶振侧逐渐增大。采用现有挡板蒸发Cu膜,行星架内圈基片表面Cu膜厚度的片内均匀性约...
关键词：电子束蒸发 Cu薄膜 片内均匀性 准确性 
不同镀膜方法对铜爆炸箔电爆炸性能及成本的影响
《火工品》2024年第5期78-83,共6页杨德宇 徐聪 陈航 王瀚涛 代波 任勇 
四川省科技计划杰出青年科学基金项目(2024NSFJQ0064)。
为满足不同应用场景对爆炸箔电爆炸性能和成本的要求,对比研究了磁控溅射法、电子束蒸发法和电镀法3种不同镀膜技术制备的铜爆炸箔。通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对爆炸箔的物相和微观结构进行了表征,...
关键词：爆炸箔 磁控溅射 电子束蒸发 电镀 电爆炸性能 成本 
条带宽度对NiFe薄膜磁性能的影响
《磁性材料及器件》2024年第4期19-23,共5页吴昌金 邬传健 何宗胜 蒋晓娜 李启帆 余忠 兰中文 孙科 
国家自然科学基金项目(52172267)。
采用电子束蒸发法和光刻技术在5×5 mm^(2)的Si衬底上制备了长度为5 mm、条带间距固定为30μm、条带宽度为20~140μm的Ni_(80)Fe_(20)软磁薄膜,分析了条带宽度对薄膜静态及动态磁性能的影响。结果表明,薄膜的面内矫顽力和各向异性场随...
关键词：NiFe薄膜 电子束蒸发 图案化 磁性能 
基于氧化物-金属多层膜固态化合方法制备MCNO薄膜
《红外与激光工程》2024年第4期223-232,共10页赵媛媛 王园园 王荣新 王志鹏 朱煜 宋贺伦 向阳 
苏州市碳达峰碳中和科技支撑重点专项(ST202219);江苏省碳达峰碳中和科技创新专项(BE2022021)。
红外热成像技术具有高度实用性、灵敏性和可靠性等优点,在航空、医疗等多个领域发挥着重要作用。相较于其他类型的非制冷红外探测器,测微辐射热计(Microbolometer)具有工作范围宽、响应速率快且器件结构简单等优点。相较于非晶硅和氧化...
关键词：锰钴镍氧化物 磁控溅射 电子束蒸发 逐层沉积 退火温度 固相合成 
电子束蒸发制备的TiO_(2)纳米柱的乙醇气敏性能研究
《科技与创新》2024年第6期20-23,30,共5页王强 杜宗泽 虞建辉 郭凌 陈龙泉 
通过电子束蒸发制备了二氧化钛纳米薄膜和纳米柱材料,经过退火处理后,对2种结构的材料进行了针对乙醇的气敏测试。通过X-射线衍射仪(X-Ray Diffraction,XRD)及扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)对材料进行表征。SEM结...
关键词：TiO_(2)纳米柱材料 乙醇传感器 电子束蒸发 掠射角沉积 
硅衬底温度对电子束蒸发钛薄膜性能的影响
《电镀与精饰》2024年第3期1-5,共5页李兆营 李萌萌 
采用电子束蒸发法在硅衬底表面制备Ti薄膜。采用台阶仪、原子力显微镜、反射率测试仪、四探针电阻测试仪和应力测试仪分析了在不同衬底温度下所得Ti薄膜的厚度、表面粗糙度、镜面反射率、方块电阻和残余应力。结果表明,随着衬底温度从2...
关键词：电子束蒸发 硅衬底温度 钛薄膜 方块电阻 残余应力 表面粗糙度 镜面反射率 
电子束蒸发硅薄膜的设计
《材料化学前沿》2024年第1期22-28,共7页邱美叶 孔惠颖 郑照轩 孙康迅 施钧策 张弛 周金辉 李轩 罗薇 徐东昕 乔忠良 李林 曲轶 李再金 
硅在常温下性质稳定、红外透明区宽,所形成的硅薄膜质硬、红外区折射率高是一种较理想的红外光学薄膜材料。在红外相机、热成像仪、红外光谱仪、红外波片等方面得到广泛应用。本文分析了光学薄膜设计理论,研究了衬底材料和镀膜材料特性...
关键词：红外光学薄膜 电子束蒸发 硅薄膜 
基于磁控溅射和电子束蒸发合成Mn-Co-Ni-O薄膜
《长春理工大学学报（自然科学版）》2024年第1期77-84,共8页赵媛媛 向阳 宋贺伦 
江苏省碳达峰碳中和科技创新专项(BE2022021);苏州市碳达峰碳中和科技支撑重点专项(ST202219)。
锰钴镍氧(Mn-Co-Ni-O,MCNO)薄膜因为具有优异的负温度系数特性在近年来受到广泛关注,现采用射频磁控溅射和电子束蒸发相结合的方式,在单抛蓝宝石(Al2O3)衬底上制备MCNO薄膜,并采用一系列表征探讨了后道退火(Post Annealing,PA)温度对所...
关键词：MCNO薄膜 射频磁控溅射 电子束蒸发 后退火工艺 X射线光电子能谱 
共蒸发法制备金锡共晶焊料环及其性能研究
《传感器与微系统》2024年第1期59-61,共3页李萌萌 李兆营 黄添萍 
采用电子束共蒸发法制备了金锡共晶(Au80Sn20)焊料环,与非制冷红外探测器芯片进行气密性封装。通过SEM、AFM、X-ray、振荡测试以及测漏氦等方式验证了封装后芯片的气密性和可靠性。结果表明:键合后焊料环无明显缺陷,仅存在轻微溢料现象...
关键词：非制冷红外探测器 晶圆级封装 电子束蒸发 金锡共晶焊料环 键合 
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