电子束蒸发制备的TiO_(2)纳米柱的乙醇气敏性能研究  

作　　者：王强 杜宗泽 虞建辉 郭凌 陈龙泉 

机构地区：[1]电子科技大学物理学院界面物理实验室,四川成都611731

出　　处：《科技与创新》2024年第6期20-23,30,共5页Science and Technology & Innovation

摘　　要：通过电子束蒸发制备了二氧化钛纳米薄膜和纳米柱材料,经过退火处理后,对2种结构的材料进行了针对乙醇的气敏测试。通过X-射线衍射仪(X-Ray Diffraction,XRD)及扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)对材料进行表征。SEM结果显示,二氧化钛纳米薄膜表面呈现出平整致密的结构,而纳米柱材料表面呈现出疏松多孔的结构。XRD结果表明,经退火处理后2种材料均为单晶结构,呈现为锐钛矿相。二氧化钛纳米薄膜工作温度在200℃以上时效果较好,纳米柱材料需要在300℃左右才能具有最佳响应。纳米柱在最佳工作温度下对于体积分数为0.03%的乙醇气体响应度高达36.1,相比于纳米薄膜材料性能提升约200%。

关 键 词：TiO_(2)纳米柱材料 乙醇传感器 电子束蒸发 掠射角沉积 

分 类 号：TP212.9[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]