硅薄膜

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基于有限离散元的硅薄膜电极断裂行为研究
《中国科学:技术科学》2025年第4期753-764,共12页田甜 张锴 张育维 郑百林 
国家自然科学基金(批准号:12372173);上海市自然科学基金(编号:23ZR1468600)资助项目。
由于硅的材料特性,锂离子电池中的硅薄膜电极在嵌锂和脱锂过程中会经历显著的体积膨胀,导致电极内部出现裂纹扩展、闭合以及层间脱黏现象.本文使用有限离散元法(FDEM)建立硅薄膜的力-电化学模型,基于显式数值积分方法模拟锂离子电池中...
关键词：锂离子电池 力-电化学耦合 硅薄膜 有限离散元法 断裂 
AZ31镁合金磁控溅射硅膜层的耐蚀性和生物相容性
《电镀与涂饰》2025年第2期58-63,共6页张精豪 侯树森 李文星 张梦婷 张世坤 
[目的]镁合金化学性质活泼,在作为医用可降解植入材料使用时,需通过适当的表面处理来提升其耐腐蚀性和生物相容性,以满足临床应用需求。[方法]在AZ31镁合金表面磁控溅射Si薄膜,通过正交试验对工艺参数进行优化。通过表面形貌和元素组成...
关键词：镁合金 磁控溅射 硅薄膜 耐蚀性 生物相容性 
晶硅太阳电池钝化层技术研究进展
《物理学报》2025年第4期1-23,共23页袁赫泽 陈新亮 梁柄权 孙爱鑫 王雪骄 赵颖 张晓丹 
国家重点研发计划(批准号:2022YFB4200102);天津市自然科学基金(批准号:21JCYBJC00270)资助的课题.
在光伏技术快速发展的背景下,晶硅太阳电池作为主流的光伏器件,其性能的提升成为研究的热点.晶硅太阳电池包括硅异质结(SHJ)太阳电池、隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)太阳电池及钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池.晶硅太阳电池的表面钝...
关键词：晶硅太阳电池 钝化层 异质结 非晶硅薄膜 
[EMIM][Ac]离子液体中添加乙酸对a-Si电化学储氢性能的影响
《金属功能材料》2025年第1期9-18,共10页王成均 刘馨卉 吴臣 张乾坤 张海民 罗永春 
国家自然科学基金(22065020)。
离子液体(ILs)具有较宽的电化学稳定窗口和良好的安全性能,有望在镍氢和质子电池中应用。将离子液体1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐([EMIM][Ac])与乙酸(HAc)混合后配置成质子型离子液体,以非晶硅a-Si薄膜为负极,氢氧化镍(Ni(OH)2)为正极,组装...
关键词：非晶硅薄膜 乙酸 电导率 质子型离子液体 电化学性能 
LPCVD沉积氮化硅硬掩膜工艺研究
《湖南工程学院学报(自然科学版)》2024年第4期71-75,共5页殷启明 邓永和 杨金 
湖南省自然科学基金资助项目(2021JJ50115);湖南省教育厅科学研究项目(22A0522).
本文主要研究低压化学气相沉积(LPCVD)制备的Si_(3)N_(4)硬掩膜膜厚以及减少颗粒污染问题.研究发现当温度控制在780℃,体积流量控制在790 cm^(3)·min^(-1),沉积时间为25 min时,可以较好地控制薄膜膜厚于80±0.5 nm.通过采用N_(2)循环...
关键词：氮化硅薄膜 低压化学气相沉积 膜厚 颗粒污染 
镍铬硅薄膜换能元的制备及其发火性能研究
《火工品》2024年第5期42-45,共4页任小明 姚洪志 解瑞珍 刘红娥 王燕兰 王可暄 
重点实验室稳定运行费(WDYX22614260202)。
为了探索镍铬硅薄膜换能元的发火性能,采用MEMS工艺制备了镍铬硅薄膜换能元。利用扫描电子显微镜(SEM)和四探针法对镍铬硅薄膜进行了性能表征;依据GJB/Z 377B-2022感度实验中兰利法进行了镍铬硅薄膜换能元感度测试;在发火电压27 V、发...
关键词：薄膜换能元 镍铬硅 MEMS 性能表征 发火性能 
非晶硅薄膜晶化微观组织调控发展现状
《电子元件与材料》2024年第8期899-907,共9页侯君祎 马晓波 王宁 杨塔 
国家自然科学基金地区科学基金(12164035);国家自然科学基金地区科学基金(11964027);宁夏自然科学基金项目(2022AAC03067)。
非晶硅薄膜晶化微观组织调控是实现微电子器件性能提升的关键。比较分析了辅助外场、界面调控、掺杂调控和工艺参数等非晶硅薄膜晶化微观组织调控技术方法,重点阐述了辅助外场的大小、方向以及作用时间等对晶体硅生长方向和速率的影响...
关键词：非晶硅薄膜 晶化 综述 微观组织 
电子束透射氮化硅薄膜窗产生低密度等离子体
《物理学报》2024年第14期61-67,共7页颜劭祺 高继昆 陈越 马尧 朱晓东 
国家重点研发计划(批准号:2018YFE0301102)资助的课题.
低电子密度等离子体源在电离层等离子体的实验室模拟中具有重要的应用.本文利用高能电子束透射氮化硅薄膜窗口,在低气压条件下激发低密度等离子体.采用蒙特卡罗方法对氮化硅薄膜的电子束透射特性进行模拟;利用CCD相机和静电探针对产生...
关键词：电子束 等离子体产生 等离子体源 电子密度 
HJT太阳电池技术的发展现状及未来展望被引量：1
《太阳能》2024年第6期5-14,共10页徐卓 杨伟光 白龙 乔唐 郭礼艳 
中国的硅基异质结(HJT)太阳电池技术在近5年有了快速发展,逐步进入产业化阶段,但在其发展过程中遇到了一些技术瓶颈。对HJT太阳电池的结构及能带结构进行简述,从衬底和表面制绒技术、a-Si:H薄膜技术、TCO薄膜技术、金属化电极技术等方面...
关键词：异质结太阳电池 光伏发电 光电转换效率 非晶硅薄膜 透明导电氧化物 
尺寸效应下超快激光加热硅薄膜二维传热研究
《光电子．激光》2024年第5期552-560,共9页毛煜东 赵国晨 杨开敏 张其龙 吕慧丽 于明志 
山东省自然科学基金项目(ZR2017BEE052);济南市科研带头人工作室项目(2019GXRC066);山东省高等学校青创科技支持计划(2019KJH012);山东省高等学校科技计划(J16LG07)资助项目。
超快激光技术目前较为广泛地应用于微纳米结构的加工,极小的尺寸产生了不同于宏观条件的传热特性,也逐渐成为人们研究的热点。文章采用改进双相滞导热(dual-phase-lagging,DPL)模型对超快激光照射纳米硅薄膜的二维传热过程展开了理论研...
关键词：超快激光加热 尺寸效应 双相滞导热(DPL)模型 积分变换法 
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