非晶硅薄膜

作品数：436被引量：616H指数：10
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晶硅太阳电池钝化层技术研究进展
《物理学报》2025年第4期1-23,共23页袁赫泽 陈新亮 梁柄权 孙爱鑫 王雪骄 赵颖 张晓丹 
国家重点研发计划(批准号:2022YFB4200102);天津市自然科学基金(批准号:21JCYBJC00270)资助的课题.
在光伏技术快速发展的背景下,晶硅太阳电池作为主流的光伏器件,其性能的提升成为研究的热点.晶硅太阳电池包括硅异质结(SHJ)太阳电池、隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)太阳电池及钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池.晶硅太阳电池的表面钝...
关键词：晶硅太阳电池 钝化层 异质结 非晶硅薄膜 
[EMIM][Ac]离子液体中添加乙酸对a-Si电化学储氢性能的影响
《金属功能材料》2025年第1期9-18,共10页王成均 刘馨卉 吴臣 张乾坤 张海民 罗永春 
国家自然科学基金(22065020)。
离子液体(ILs)具有较宽的电化学稳定窗口和良好的安全性能,有望在镍氢和质子电池中应用。将离子液体1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐([EMIM][Ac])与乙酸(HAc)混合后配置成质子型离子液体,以非晶硅a-Si薄膜为负极,氢氧化镍(Ni(OH)2)为正极,组装...
关键词：非晶硅薄膜 乙酸 电导率 质子型离子液体 电化学性能 
非晶硅薄膜晶化微观组织调控发展现状
《电子元件与材料》2024年第8期899-907,共9页侯君祎 马晓波 王宁 杨塔 
国家自然科学基金地区科学基金(12164035);国家自然科学基金地区科学基金(11964027);宁夏自然科学基金项目(2022AAC03067)。
非晶硅薄膜晶化微观组织调控是实现微电子器件性能提升的关键。比较分析了辅助外场、界面调控、掺杂调控和工艺参数等非晶硅薄膜晶化微观组织调控技术方法,重点阐述了辅助外场的大小、方向以及作用时间等对晶体硅生长方向和速率的影响...
关键词：非晶硅薄膜 晶化 综述 微观组织 
HJT太阳电池技术的发展现状及未来展望被引量：1
《太阳能》2024年第6期5-14,共10页徐卓 杨伟光 白龙 乔唐 郭礼艳 
中国的硅基异质结(HJT)太阳电池技术在近5年有了快速发展,逐步进入产业化阶段,但在其发展过程中遇到了一些技术瓶颈。对HJT太阳电池的结构及能带结构进行简述,从衬底和表面制绒技术、a-Si:H薄膜技术、TCO薄膜技术、金属化电极技术等方面...
关键词：异质结太阳电池 光伏发电 光电转换效率 非晶硅薄膜 透明导电氧化物 
共溅射制备a-Si-Ag薄膜及其电化学储氢性能
《金属功能材料》2023年第6期71-79,共9页林博洋 张海民 刘馨卉 张乾坤 罗永春 
国家自然科学基金(22065020)。
氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜因其具有很高的电化学储氢容量而在质子型电池中极具研究和应用价值,但其电化学循环稳定性较差的问题已然成为其商业化应用的最大阻碍。为了改善a-Si薄膜的导电性和力学性能以提高a-Si薄膜电极的电化学容量和循...
关键词：磁控共溅射 非晶硅薄膜 硅-银复合薄膜 电化学储氢 
本征氢化非晶硅薄膜厚度对其钝化性能和HIT太阳电池电性能的影响
《太阳能》2023年第11期25-32,共8页杜敬良 张会学 姜利凯 勾宪芳 刘海涛 王丽婷 
以异质结(HIT)太阳电池的本征氢化非晶硅薄膜为研究对象,该HIT太阳电池采用n型硅片作为晶硅衬底,其n型电子传输层(下文简称为“n面”)为入光侧,p型空穴传输层(下文简称为“p面”)为背光侧。首先研究了n面和p面本征氢化非晶硅薄膜的厚度...
关键词：异质结太阳电池 板式PECVD设备 本征氢化非晶硅薄膜 钝化 少子寿命 光透过率 电性能 
低温条件下沉积的氮化硅薄膜对非晶硅薄膜钝化性能的影响分析
《中文科技期刊数据库（全文版）自然科学》2023年第10期67-70,共4页许烁烁 张威 彭宜昌 徐伟 陈臻阳 
湖南创新型省份建设专项(2022年度):面向异质结太阳能电池的PECVD装备研发与应用,编号2022GK2047。
采用微波远程等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,开展低温条件下(≤200℃)氮化硅(SiNx)薄膜沉积工艺的研究。在n型单晶硅片双面沉积i型非晶硅(a-Si:H)和n型微晶硅(μc-Si:H)薄膜后,再双面沉积SiNx薄膜。研究了SiNx薄膜沉积工艺中加...
关键词：少子寿命 SiNx薄膜 HBC电池 
ICPCVD低温生长非晶硅的工艺及光学特性研究
《真空科学与技术学报》2023年第9期731-737,共7页王进 张伟 冷家君 韩鹤彬 沈文超 陆铖灵 张学敏 
国家重点基础研发项目(2021YFC2203400)。
文章利用ICPCVD在100℃及以下玻璃和蓝宝石片衬底上生长非晶硅薄膜,并通过调节Ar和SiH4气体流量比例、射频功率及衬底温度等参数,实现低温下高质量非晶硅薄膜的生长。随后用拉曼光谱表征分析研究了衬底温度变化对非晶硅薄膜沉积质量的影...
关键词：ICPCVD 非晶硅薄膜 射频功率 折射率 布拉格反射 
太阳能电池HIT产线镀膜工业自动装箱设备的研究
《自动化应用》2023年第14期71-73,共3页张煌军 
本文介绍了HIT太阳能电池的特点和应用前景,并设计研究生产线自动化装箱设备,设计一套由伺服电机、气缸驱动,利用PLC控制的机电一体化全自动装箱设备,可有效解决人工装箱工作劳动量大,耗费成本高的问题。
关键词：HIT PLC 机电一体化 非晶硅薄膜太阳能电池 
管式PECVD制备掺杂非晶硅薄膜性能研究及TOPCon电池制备
《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》2023年第6期107-112,共6页李兵 周小荣 李明 黄嘉斌 邓新新 赵增超 
描述了管式等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 的各项沉积参数对硅太阳能电池重掺杂硅基钝化接触(SiOx/Poly-Si(n+))的影响。通过改变沉积压力、硅烷氩气流量比例,在250Pa压力,硅烷氩气流量比1:4的条件下获得无爆膜,隐含开路电压(iVoc)...
关键词：PECVD TOPCon 太阳能电池 掺杂 多晶硅 
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