多晶硅

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脂肪醇聚氧乙烯醚对铝栅CMP中铝和多晶硅去除速率选择比的影响
《润滑与密封》2025年第4期73-79,共7页曹钰伟 王胜利 罗翀 王辰伟 张国林 梁斌 杨云点 盛媛慧 
河北省自然科学基金项目(E2019202367)。
为了提高高K金属栅结构(HKMG)化学机械拋光(CMP)中铝和多晶硅去除速率选择比,研究酸性环境下(pH=5)非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO9)对铝和多晶硅去除速率选择比的影响,并探究其作用机制。研究发现,AEO9质量分数为0.01%时,铝和...
关键词：高K金属栅结构 化学机械拋光 脂肪醇聚氧乙烯醚 去除速率 多晶硅 
一种直拉法法对单晶硅进行生产的设备结构设计
《机电产品开发与创新》2025年第2期49-52,共4页宋艳玲 王永宁 
单晶硅通常是指硅原子以一种排列形式形成的物质,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶硅;如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶硅。单晶硅是晶体材料重要...
关键词：单晶硅 多晶硅 单晶炉 
多晶硅项目安全设施设计重点探究
《化工设计》2025年第2期23-27,1,共6页韩玫 王波 
主要分析多晶硅项目安全设施设计的重点,旨在提高多晶硅项目安全设施设计质量,确保装置的长期可靠、安全运行,为新建、改建、扩建多晶硅项目安全设计提供参考与借鉴。
关键词：多晶硅 安全设施 两重点一重大 装置 
区熔多晶硅高压启动系统设计
《机电信息》2025年第8期48-50,共3页刘建中 
区熔级多晶硅在液晶显示器、新能源、半导体等产品生产过程中应用广泛,但国内基本依赖进口。鉴于此,结合区熔多晶硅生产的工艺特点,介绍了其电源系统,重点分析设计了一套适应生产区熔多晶硅的高压击穿系统。
关键词：区熔多晶硅 电源系统 击穿系统 
水溶性聚合物提高多晶硅CMP表面质量的机理
《微纳电子技术》2025年第4期99-107,共9页张潇 周建伟 杨云点 罗翀 栾晓东 邵祥清 李瑾 
国家自然科学基金(62104087);中国博士后基金(2024M751207);河北工业大学创新研究院(石家庄)石家庄市科技合作专项基金资助(SJZZXB23003)。
通过实验探究了在抛光液中加入羟丙基甲基纤维素(HPMC)和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)两种水溶性聚合物对多晶硅表面的影响机理。HPMC的加入在多晶硅表面形成氢键,并形成一层保护层,改变多晶硅表面的润湿性,减少抛光液中碱性物质和多晶硅的化学...
关键词：化学机械抛光(CMP) 多晶硅 羟丙基甲基纤维素(HPMC) 聚乙烯吡咯烷酮(PVP) 表面质量 
去除氯硅烷中磷杂质的技术研究
《新疆有色金属》2025年第2期69-71,共3页裴雅晨 陈文吉 张德奇 
多晶硅生产过程中磷杂质的去除是多晶硅生产企业的一大难点,氯硅烷中磷元素极易与氯硅烷中的氯元素反应生成磷系化合物,由于磷系化合物与氯硅烷中的三氯氢硅沸点接近,因此很难通过精馏的方法去除,严重影响多晶硅的纯度。本文研究了在多...
关键词：多晶硅 氯硅烷 磷杂质 
沟槽栅IGBT制备中的翘曲控制
《半导体技术》2025年第3期259-264,共6页夏碧波 蔡乐 张鸿鑫 魏宏杰 彭新华 谭灿健 
沟槽栅IGBT是提高功率器件功率密度和性能的主流发展方向。但随着芯片精细化程度的提升,制备过程产生的晶圆翘曲更大,更容易影响其工艺过程和工艺效果,因此芯片制备过程中的翘曲控制成为了新的关注点。系统分析了沟槽栅IGBT制备流程中...
关键词：IGBT 翘曲控制 工艺优化 多晶硅 铝金属 
多晶硅氢化反应器中风帽流化阻力特性的研究
《石油和化工设备》2025年第3期14-16,共3页朱利阳 王立鹏 
风帽作为气体分布板的关键部件常出现气体分布不均和流化效果差等问题,本文针对现有的多晶硅氢化反应器中的钟罩式风帽进行流化阻力特性研究,通过改变风帽内芯孔面积和外罩孔面积来改变风帽结构参数。结果表明:当钟罩式风帽的其他结构...
关键词：多晶硅氢化反应器 风帽 阻力特性 
晶体硅太阳能电池发电量衰减差异的机理研究
《自动化应用》2025年第3期156-158,共3页张雪明 
为加强对太阳能电池的研究并增强其使用性能,设计实验进行分析,模拟实际工作环境中的裂纹情况。实验结果显示,在3种常见裂纹形式下,与单晶硅电池相比,多晶硅电池的性能受裂纹的影响相对较小,使用优势更为明显。该研究结果有利于进一步...
关键词：单晶硅 多晶硅 太阳能电池 衰减差异 裂纹 
多晶硅尾气过滤材料研究进展
《炭素技术》2025年第1期19-23,共5页杨舒薇 王晶 王启立 周舟 
国家自然科学基金项目(22208369);中国矿业大学安全学科群“双一流”省部创新项目(AQQ-SYLSB2003-0X)。
多晶硅生产还原过程产生的大量无定形硅会影响多晶硅的生产安全及产品质量,需将其从气体中分离,通常采用金属及陶瓷过滤除尘方式。这2种除尘方式用于多晶硅尾气过滤虽然有很多优点,但也存在成本较高、耐腐蚀性或抗热震性差的缺点。本文...
关键词：过滤 多晶硅 多孔炭-石墨 
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