去除氯硅烷中磷杂质的技术研究  

作　　者：裴雅晨 陈文吉 张德奇 

机构地区：[1]新疆大全新能源股份有限公司,新疆石河子832000

出　　处：《新疆有色金属》2025年第2期69-71,共3页

摘　　要：多晶硅生产过程中磷杂质的去除是多晶硅生产企业的一大难点,氯硅烷中磷元素极易与氯硅烷中的氯元素反应生成磷系化合物,由于磷系化合物与氯硅烷中的三氯氢硅沸点接近,因此很难通过精馏的方法去除,严重影响多晶硅的纯度。本文研究了在多晶硅生产过程中,去除氯硅烷中磷杂质的技术,供各位研究人员参考。

关 键 词：多晶硅 氯硅烷 磷杂质 

分 类 号：TQ127[化学工程—无机化工]