磁控共溅射

作品数：52被引量：101H指数：5
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相关作者：郑伟涛周细应胡超权张侃李东阳更多>>
相关机构：吉林大学中国科学院宁波材料技术与工程研究所上海工程技术大学中国科学院更多>>
相关期刊：《薄膜科学与技术》《光学学报》《金属功能材料》《大众科学》更多>>
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共溅射犁铧材料多层涂层力学性能研究
《大众科学》2024年第20期100-102,共3页常兴奥 张晨骏 赵艺蔓 白涵蕾 李保忠 
2023年河南省科技厅河南省重点研发与推广专项(科技攻关)“基于土壤生态环境响应的畜禽沼泽高效还田利用技术及装备研发”(项目编号:232102110286);2023年河南省教育厅河南省大学生创新创业训练计划“弱磁磁检助力安全未来”(项目编号:202311070016)。
犁铧失效导致的农业机械浪费巨大,原有的防护涂层局限于单纯硬化,对犁铧力学性能改善有限。采用磁控溅射技术进行制备CrN/ZrN多层涂层,调制周期分别为1、2、4、6。用X射线衍射(XRD)等设备表征不同调制周期的CrN/ZrN多层涂层的表面形貌...
关键词：磁控共溅射 犁铧 CrN/ZrN 多层涂层 力学性能 
衬底温度对TiCuN薄膜红外发射性能的影响
《西安工程大学学报》2024年第4期42-48,55,共8页徐洁 陈鲸朴 吴奇帅 卢琳琳 王铎 
陕西省自然科学基础研究-面上项目(2023-JC-YB-476,2023-JC-YB-471)。
为研究TiCuN薄膜的性能尤其是红外发射性能,采用反应磁控共溅射技术在玻璃衬底上沉积制备了TiCuN薄膜,研究了不同的衬底温度(25、200、300、400℃)对TiCuN薄膜的相组成、微观形貌、表面润湿性、电阻率以及红外发射率的影响。结果表明,...
关键词：TiCuN薄膜 磁控共溅射 衬底温度 电阻率 红外发射率 
MoN/CrN自润滑防护涂层制备及其摩擦学性能研究
《真空科学与技术学报》2024年第8期728-736,共9页丁文博 吴正涛 王启民 林奕嵩 林亮亮 刘超 
师昌绪先进材料创新中心开放基金项目(SCXKFJJ202211)。
高温合金具有优异的高温强度,适用于高负载及高温应用环境,广泛应用于航空航天领域,其滑动构件需要针对性设计宽温域自润滑材料。传统MoN自润滑涂层抗氧化性能较差、服役温度较低,利用CrN插入层制备纳米多层涂层可抑制Mo组元快速氧化,...
关键词：双磁控共溅射 多层涂层 宽温域 耐磨 自润滑涂层 
磁控共溅射W-Cu复合薄膜的工艺优化及性能研究
《当代化工研究》2024年第11期160-163,共4页郭中正 闫万珺 张殿喜 杨秀凡 蒋宪邦 周丹彤 
贵州省教育厅青年科技人才成长项目“非混溶体系铜-钨薄膜结构均质化机理及力学行为研究”(项目编号:黔教合KY字〔2019〕145号)。
采用磁控共溅射沉积工艺,结合正交试验方法制备W-Cu复合薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)观察W-Cu复合薄膜表面形貌,能谱仪(EDS)分析复合薄膜成分。微小力测试系统、纳米压痕仪及四探针仪分别测试复合薄膜的屈服强度σ_(0.2)、裂纹萌生临界...
关键词：磁控共溅射 W-Cu复合薄膜 工艺优化 性能 
基于共溅射ZnO/SnO_(2)异质结薄膜的气体传感器研究被引量：2
《传感器与微系统》2024年第2期61-64,共4页孙士斌 张叶裕 高晨阳 常雪婷 
采用射频磁控共溅射法在叉指电极上制备了ZnO/SnO_(2)n-n异质结复合薄膜,系统测试了其气敏特性,并分析了其气敏机理。结果表明,与ZnO薄膜和SnO_(2)薄膜气体传感器相比,ZnO/SnO_(2)异质结薄膜气体传感器具有更低的工作温度、更高的灵敏...
关键词：磁控共溅射 ZnO/SnO_(2)异质结 复合薄膜 气体传感器 
共溅射制备a-Si-Ag薄膜及其电化学储氢性能
《金属功能材料》2023年第6期71-79,共9页林博洋 张海民 刘馨卉 张乾坤 罗永春 
国家自然科学基金(22065020)。
氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜因其具有很高的电化学储氢容量而在质子型电池中极具研究和应用价值,但其电化学循环稳定性较差的问题已然成为其商业化应用的最大阻碍。为了改善a-Si薄膜的导电性和力学性能以提高a-Si薄膜电极的电化学容量和循...
关键词：磁控共溅射 非晶硅薄膜 硅-银复合薄膜 电化学储氢 
磁控共溅射制备YbCu及YbCuAl非晶合金薄膜被引量：1
《稀有金属材料与工程》2022年第3期1040-1046,共7页崔红兵 张茂彩 王誉 辛博 
白云鄂博稀土资源研究与综合利用国家重点实验室自主课题(2020Z2135)。
基于高通量材料基因工程,通过倾斜靶和调控单金属靶功率制备了化学组成连续变化的镱-铜(Yb-Cu)非晶合金金属薄膜,从而快速筛选出非晶形成范围,并且成功制备出YbCu非晶合金薄膜,同时研究了铝对YbCu非晶合金形成的影响,并制备了YbCuAl非...
关键词：非晶合金薄膜 玻璃形成能力 YbCu合金 磁控溅射 高通量制备 
Cu调控的TiN-Cu纳米复合膜包覆钛合金的抗菌性研究被引量：2
《真空科学与技术学报》2020年第10期952-959,共8页赵梦鲤 刘孟寅 韩笑 纪醒明 吴杰 董雷 董磊 李德军 
国家自然科学基金项目(51772209);天津自然科学基金青年项目(18JCQNJC72000和18JCQNJC73400);天津市高等学校创新团队资助项目(TD13-5077);天津市研究生科研创新项目(2019YJSS137)。
利用磁控共溅射技术在钛合金(Ti6Al4V)表面包覆氮化钛-铜纳米(TiN-Cu)复合膜,并通过控制Cu靶溅射功率实现对TiN-Cu薄膜中Cu含量的调节,进而实现对材料耐蚀性和抗菌性的协同调控。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、能谱...
关键词：钛合金 磁控共溅射 TiN-Cu复合膜 耐腐蚀性 抗菌性 
磁控共溅射制备Si掺杂Al薄膜的应力研究被引量：2
《光学学报》2020年第14期195-200,共6页朱京涛 周涛 朱杰 赵娇玲 朱航宇 
国家自然科学基金(11875204,11575127,11705259,U1932167)。
为研制真空紫外与极紫外波段Al基薄膜光学元件,详细研究了Al基薄膜的应力特性及其优化方法。利用应力实时测量装置对共溅射技术制备的5种不同Si掺杂质量分数(0、8.97%、16.49%、28.46%、45.73%)的Al-Si复合薄膜进行应力测试,并采用X射...
关键词：薄膜 真空紫外 应力 结晶 共溅射 
金属Y掺杂Mo-N薄膜的机械性能和摩擦学性质研究
《延边大学学报（自然科学版）》2020年第2期122-128,共7页栾书多 张佳鑫 顾广瑞 
国家自然科学基金资助项目(51272224)。
利用射频磁控和直流磁控共溅射的方法制备了金属Y掺杂的Mo-N薄膜.对制备的薄膜样品进行元素组成、微观结构、表面形貌、摩擦学性质分析显示:薄膜的择优取向由未掺杂时的γ-Mo2N (111)改变为Y掺杂后的γ-Mo2N (200).与未掺杂的Mo-N薄膜...
关键词：磁控共溅射 Mo-N薄膜 摩擦学性能 
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