衬底温度

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衬底温度对热丝CVD法沉积氧化钨的影响研究
《太阳能学报》2025年第3期335-341,共7页张旭 郭丛 陈涛 俞健 唐水花 
教育部“春晖计划”项目(HZKY-20220555);四川省科技计划项目(2023ZYD0163,2023YFG0098)。
通过热丝化学气相沉积法制备氧化钨(WOx)薄膜,并将其应用于无掺杂异质结太阳电池。研究表明,衬底温度在沉积过程中起着重要作用,衬底温度从室温升高到200℃,WOx薄膜的表面颗粒尺寸减小,薄膜更加致密;功函数先升高再迅速下降;透过率在15...
关键词：晶体硅太阳电池 钨化合物 薄膜 化学气相沉积 温度 衬底 
沉积温度对氮化铝压电薄膜性能影响及机制分析
《光电子.激光》2025年第1期107-112,共6页郭燕 刘小军 王进 
江苏省第六期333高层次人才培养工程项目(苏人才办[20222]号);教育部产学研合作协同育人项目(220606545244324)资助项目。
高频光电通信器件对压电材料特性要求越来越高,氮化铝(AlN)薄膜由于其优异的压电特性而备受关注,高取向高压电AlN薄膜沉积工艺优化成为其应用拓展的瓶颈技术之一,众多制备工艺参数中温度是影响AlN薄膜晶格取向的关键参数之一。本文采用...
关键词：氮化铝(AlN) 衬底温度 取向生长 压电特性 
基于陶瓷化-炭化机制的硅橡胶复合材料的耐烧蚀隔热性能
《合成橡胶工业》2024年第6期503-506,共4页张丰 高景龙 刘艳辉 
辽宁省教育厅高等学校基本科研项目(LJKMZ20220586)。
以热硫化硅橡胶为基体,聚芳基乙炔、短切碳纤维、二氧化锆和碳纤维布为耐烧蚀填料,制备了耐烧蚀隔热硅橡胶复合材料,探究了耐烧蚀填料对复合材料的线烧蚀率和衬底温度的影响。结果表明,随着耐烧蚀填料的依次加入,复合材料的线烧蚀率下...
关键词：硅橡胶 耐烧蚀填料 隔热 线烧蚀率 衬底温度 陶瓷化-炭化耦合作用 
衬底温度对TiCuN薄膜红外发射性能的影响
《西安工程大学学报》2024年第4期42-48,55,共8页徐洁 陈鲸朴 吴奇帅 卢琳琳 王铎 
陕西省自然科学基础研究-面上项目(2023-JC-YB-476,2023-JC-YB-471)。
为研究TiCuN薄膜的性能尤其是红外发射性能,采用反应磁控共溅射技术在玻璃衬底上沉积制备了TiCuN薄膜,研究了不同的衬底温度(25、200、300、400℃)对TiCuN薄膜的相组成、微观形貌、表面润湿性、电阻率以及红外发射率的影响。结果表明,...
关键词：TiCuN薄膜 磁控共溅射 衬底温度 电阻率 红外发射率 
n-nc-Si:H低温制备工艺及其在柔性钙钛矿太阳电池中的应用
《河南科技》2024年第9期83-87,共5页靳果 王记昌 闫奇 
河南省科技攻关项目(242102241024);河南省科技攻关项目(232102240031)。
【目的】为在低温工艺下制备出适用于柔性钙钛矿太阳电池的高性能电子传输层,需要对电子传输层材料及制备条件进行研究。【方法】将n型氢化纳米晶硅薄膜作为柔性钙钛矿太阳电池电子传输层,研究衬底温度对薄膜性能的影响,并优化电子传输...
关键词：柔性钙钛矿太阳电池 n-nc-Si:H 衬底温度 薄膜性能 界面优化 
近空间升华工艺制备高晶化硒化亚锗光电薄膜及其在太阳能电池中的应用
《复合材料学报》2024年第5期2575-2584,共10页周静 贺伟兰 杨盛文 高莉 曲鹏 蔡永茂 曹宇 
国家自然科学基金(52172185);吉林省教育厅科学技术研究项目(JJKH20210084KJ);吉林市科技创新发展计划(20230103006);吉林省创新创业人才资助项目(2022QN15)。
硒化亚锗(GeSe)由于具有原材料储量丰富、绿色无毒、制备工艺简单和性质稳定等优势,近几年得到了广泛关注。采用近空间升华法制备了GeSe薄膜,对GeSe薄膜的结晶行为进行分析,并将其应用到器件结构为FTO/CdS/GeSe/聚(3-己基噻吩)(P3 HT)/...
关键词：硒化亚锗 太阳能电池 晶化 衬底温度 退火 
等离子喷涂熔滴铺展凝固行为研究现状
《材料导报》2024年第6期179-190,共12页肖嵩 刘明 张小龙 黄艳斐 王海斗 
国家自然科学基金(52075542,52130509,52105235);十四五预研项目。
等离子喷涂实质上是以等离子气体为热源,将金属或陶瓷粉末加热成具有一定温度和速度的熔滴,并撞击基体表面而在基体上铺展凝固的过程,该过程对涂层质量具有重要影响。本文从单个和多个熔滴的铺展凝固行为、铺展凝固的影响因素以及熔滴...
关键词：等离子喷涂 铺展行为 凝固机理 衬底温度 冶金结合 裂纹 
Al掺杂量和衬底温度对ALD沉积的ZnMgO∶Al薄膜的影响
《西北师范大学学报（自然科学版）》2023年第2期67-71,共5页郭栋豪 唐芝平 邓陈坤 朱文超 周驰宇 谈晓辉 
湖南省自然科学基金资助项目(2016JJ3155);江西理工大学博士科研启动基金项目(205200100346);大学生创新训练计划项目(DC2021-020)。
ZnMgO∶Al具有近紫外透明导电薄膜的应用潜力.使用原子层沉积(ALD)制备了ZnMgO∶Al薄膜,研究了Al掺杂量和衬底温度对ZnMgO∶Al薄膜的物相和光电性能的影响.研究结果表明,在较高Mg含量下,Al重掺杂(>5%)将破坏ZnMgO∶Al的结晶性,迅速恶化...
关键词：ZnMgO∶Al AL掺杂 衬底温度 透明导电薄膜 
衬底温度对氢化非晶氧化硅(i-a-SiO_(x):H)钝化性能的影响研究
《真空科学与技术学报》2023年第4期361-366,共6页何玉平 
江西省教育厅科学技术项目(GJJ211925)。
本征氢化非晶氧化硅(i-a-SiO_(x):H)是a-Si:H/c-Si异质结太阳电池中重要的钝化材料之一。本文采用PECVD法研究不同沉积衬底温度下n-Cz-Si表面沉积i-a-SiO_(x):H的钝化性能,采用微波光电导(MW-PCD)和射频光电导(RF-PCD)两种方法测试硅片...
关键词：衬底温度 少子寿命 i-a-SiO_(x):H 钝化性能 椭偏仪 
In液滴在GaAs(001)表面扩散行为的研究
《原子与分子物理学报》2023年第2期65-72,共8页赵梦秦 黄泽琛 蒋冲 张丹懿 唐锦程 王一 郭祥 丁召 
国家自然科学基金(61564002,11664005);贵州省科学技术基金(黔科合基础[2020]1Y271);贵州大学培育项目(贵大培育[2019]58号);半导体功率器件可靠性教育部研究中心开放基金(ERCME-KFJJ2019-(07))。
量子点的物理与光电性质主要依赖于其尺寸及密度参数,而量子点的密度、高度等参数又控制着原子在衬底上的成核行为.本文采用液滴外延法在GaAs(001)表面生长金属In液滴,研究了In液滴的扩散运动与衬底温度和沉积速率之间的关系,研究发现,...
关键词：量子点 In液滴 衬底温度 沉积速率 量子环 原子的表面迁移 
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