磁控共溅射

作品数：54被引量：101H指数：5
导出分析报告
相关领域：理学电子电信更多>>
相关作者：郑伟涛周细应胡超权张侃李东阳更多>>
相关机构：吉林大学中国科学院宁波材料技术与工程研究所上海工程技术大学中国科学院更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《西安工程大学学报》《沈阳大学学报（自然科学版）》《功能材料》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划上海市教育委员会重点学科基金天津市自然科学基金更多>>
只显示领域
只显示作品
只显示人物
只显示机构
只显示资助
只显示期刊
只显示主题
相关作者更多
郑伟涛
吉林大学
周细应
上海工程技术大学材...
胡超权
吉林大学
张侃
吉林大学
李东阳
电子科技大学
赵昕
电子科技大学
相关机构更多
相关主题更多