MEMS

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MEMS光纤无源传感器监测皮带机异常的研究
《中国设备工程》2025年第9期157-159,共3页王森 刘秉坤 郭述文 
本研究致力于探究微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)光纤无源传感器在皮带机异常监测领域的应用。通过详尽剖析传感器的工作原理和性能特质,我们深入探讨了其在实时监控皮带机运行状态方面的显著优势和实际可行性。光...
关键词：MEMS光纤无源传感器 皮带机异常监测 工作原理 性能特点 
应用于热泵空调系统的MEMS压力温度传感器设计及验证
《微纳电子技术》2025年第5期80-86,共7页许鹏 聂靖宇 王伟忠 李保岭 
为了延长电动汽车的续航能力,热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数(PTC)热敏电阻空调,应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统(MEMS)压阻式压力芯片,采用无引线倒装焊...
关键词：热泵空调系统 压力温度传感器 模块化装配 压阻式微电子机械系统(MEMS) 无引线封装 
碳化硅-玻璃-碳化硅阳极键合界面性能分析
《微纳电子技术》2025年第4期152-159,共8页刘淑文 阴旭 刘翠荣 许兆麒 于秀秀 王强 
国家自然科学基金(52375365)。
碳化硅(SiC)因其优异的高温性能和稳定性,被广泛认为是新一代高温半导体器件封装的理想材料。利用两步阳极键合工艺实现了碳化硅-玻璃-碳化硅的可靠连接。两步键合过程中,第一步和第二步中的峰值电流存在较大差异,尤其在第二步键合过程...
关键词：阳极键合 微电子机械系统(MEMS)封装 碳化硅-玻璃-碳化硅 富碳层 键合强度 
变刚度单轴电容式MEMS加速度计设计
《传感器与微系统》2025年第4期70-73,共4页洪逸飞 武焕臣 汤沛源 刘晨 李磊 
山东省自然科学基金面上项目(ZR2023MA057);国家自然科学基金资助项目(11902182);山东省高校青年创新团队发展计划资助项目(2023KJ150)。
本文提出了一种利用静电弹簧软化效应提高加速度计灵敏度的方法。加速度计采用4组U型弹簧对敏感质量进行支撑,敏感质量上设计了差分电容检测结构和静电调谐结构。实现了结构谐振频率可调,保证了加速度计的结构强度,提高了传感器灵敏度...
关键词：MEMS 电容式加速度计 灵敏度 变刚度 谐响应分析 
MEMS传感器异质材料键合界面的可靠性分析
《合肥工业大学学报(自然科学版)》2025年第4期469-474,共6页袁婷 许高斌 关存贺 马渊明 冯建国 
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008901);安徽省发改委研发创新资助项目(JZ2021AFKJ0050)。
微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)传感器的制备会涉及多种材料的键合,键合过程中不同材料之间由于热膨胀系数不同而产生各种内部应力,当应力大于键合强度时,材料分层从而导致器件失效。为了明确异质材料间微观应力对...
关键词：微机电系统(MEMS)传感器 异质材料 键合界面 热应力 可靠性 
MEMS电热驱动器多场耦合模型及温度特性
《哈尔滨工业大学学报》2025年第4期142-150,共9页谢海鹏 曹云 孔啸宇 朱恒伯 陈旺生 席占稳 
国家自然科学基金(52475062)。
为研究微小尺度下MEMS电热驱动器的温度特性,考虑空气对驱动器动态热平衡的影响,提出了一种基于空气对流传热的电-热-流-固多场耦合模型。根据能量守恒方程以及气体对流换热和热传导等理论,建立MEMS电热驱动器的电-热-流-固多场耦合模型...
关键词：电热驱动器 温度特性 对流换热 电-热-流-固 微机电系统(MEMS) 
用于矢量水听器的应力集中MEMS敏感单元仿真研究
《声学技术》2025年第2期302-308,共7页肖邦 赵荣荣 殷忆昕 
敏感单元作为同振式矢量水听器的核心元件,其小型化将有助于水听器整体体积和质量的减小。采用微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,MEMS)结构是实现敏感单元小型化的有效途径。文章针对一种应力集中的MEMS敏感单元进行仿真研究...
关键词：矢量水听器 敏感单元 悬臂梁 应力集中 仿真分析 微机电系统 
一种基于MEMS陀螺仪的无人机磁传感器校正判别方法
《中国军转民》2025年第8期33-34,共2页狄素素 潘宇光 
在无人机实际应用场景中,MEMS磁传感器易受外界磁场干扰,会导致方向判断错误甚至引起安全事故,因此需对MEMS磁传感器的误差进行实时在线评估。当前绝大多数算法将当地磁场强度作为判断磁传感器是否需要校正的依据,但该方法受地域限制,...
关键词：无人机 MEMS磁传感器 磁场干扰 MEMS陀螺仪 航向角变化量 
北京遥测技术研究所MEMS工程中心
《遥测遥控》2025年第2期F0003-F0003,共1页
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力...
关键词：薄膜压力传感器 遥测技术 角速率传感器 MEMS传感器 MEMS技术 洁净厂房 产品生产线 创新平台 
《传感技术学报》期刊征订
《传感技术学报》2025年第3期F0003-F0003,共1页
《传感技术学报》是由中国微米纳米技术学会和东南大学联合主办,东南大学《传感技术学报》编辑部出版发行的学术性刊物,是我国在介绍传感器理论和应用领域方面较为全面的惟一的学术性刊物,1988年创刊,属大16开月刊。主要刊登传感器、执...
关键词：执行器 MEMS 传感技术学报 传感器 
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